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历史机遇和我国微电子发展之路 |
王阳元
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《中国集成电路》
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2005 |
19
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2
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MEMS动态测试技术 |
栗大超
冯亚林
傅星
胡晓东
靳世久
郝一龙
胡小唐
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《微纳电子技术》
CAS
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2005 |
6
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3
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MEMS CAD系统IMEE的研究和开发 |
张海霞
郭辉
肖志勇
周荣春
郝一龙
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《微纳电子技术》
CAS
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2003 |
5
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4
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基于谐振原理的硅微机械加速度计 |
贾玉斌
郝一龙
钟莹
张嵘
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《微纳电子技术》
CAS
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2003 |
9
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5
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一种基于简单移位的二——十进制相互转换算法 |
王迎春
吉利久
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《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2003 |
15
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6
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金属剥离与衬底腐蚀等平面自对准OHR技术研究 |
闫桂珍
张大成
李婷
王颖
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《微纳电子技术》
CAS
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2002 |
6
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7
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ICP硅深槽刻蚀中的线宽控制问题研究 |
王成伟
闫桂珍
朱泳
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《微纳电子技术》
CAS
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2003 |
7
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8
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微米尺度下键合强度的评价方法和测试结构 |
阮勇
贺学锋
张大成
王阳元
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《微电子学与计算机》
CSCD
北大核心
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2005 |
5
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9
|
CMOS电路参数的统计优化设计 |
甘学温
冯小敏
肖志广
杜刚
李佑斌
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《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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1999 |
3
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10
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MEMS中的封装技术研究 |
石云波
刘俊
张文栋
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《微纳电子技术》
CAS
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2003 |
6
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11
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微加工干法刻蚀工艺模拟工具的研究现状 |
周荣春
张海霞
郝一龙
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《微纳电子技术》
CAS
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2003 |
7
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12
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一种Au-Si键合强度检测结构与试验 |
王翔
李婷
王玮
王颖
田大宇
张大成
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《微纳电子技术》
CAS
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2003 |
3
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13
|
MEMS隧道加速度计的系统分析与设计 |
董海峰
贾玉斌
郝一龙
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《微纳电子技术》
CAS
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2003 |
6
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14
|
基于硅微加工技术的新型变形反射镜 |
余洪斌
陈海清
张大成
竺子民
李婷
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《强激光与粒子束》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2004 |
3
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15
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一种用于RF MEMS移相器及开关可变电容的复合微桥膜结构 |
缪旻
肖志勇
武国英
金玉丰
郝一龙
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《微纳电子技术》
CAS
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2003 |
2
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16
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多层高深宽比Si深台阶刻蚀方法 |
刘鹏
张大成
李婷
罗葵
田大宇
李静
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《微纳电子技术》
CAS
北大核心
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2009 |
2
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17
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高深宽比深隔离槽的刻蚀技术研究 |
朱泳
闫桂珍
王成伟
王阳元
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《微纳电子技术》
CAS
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2003 |
3
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18
|
薄膜SOI/CMOS的SPICE电路模拟 |
王阳元
奚雪梅
甘学温
程玉华
李映雪
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《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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1994 |
2
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19
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热载流子诱生MOSFET/SOI界面陷阱的正向栅控二极管技术表征 |
何进
张兴
黄如
王阳元
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《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2002 |
2
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20
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场限环结构电压和边界峰值电场分布及环间距优化 |
何进
张兴
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《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
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2003 |
8
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