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湿度传感器 被引量:3
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作者 张余丰 《电测与仪表》 北大核心 1989年第9期44-46,共3页
氧化铝薄膜湿度传感器是最新型的水分传感器,能够测出超微量水分,有广泛的应用领域。本文介绍了氧化铝湿度计的原理和构成。
关键词 湿度传感器 传感器 氧化铝薄膜
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