等离子体辅助原子层沉积氧化铝薄膜的研究 被引量：6

1

作者 桑利军 赵桥桥 +3 位作者 胡朝丽 李兴存 雷雯雯 陈强 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第7期1731-1735,共5页

为在室温条件下进行氧化铝薄膜的原子层沉积,自行设计了一套微波回旋共振等离子体辅助原子层沉积装置,以三甲基铝作为铝源前躯体,氧气作为氧化剂,在室温下于氢氟酸溶液中处理过的单晶硅基片上进行了氧化铝薄膜的沉积。利用扫描电子显微... 为在室温条件下进行氧化铝薄膜的原子层沉积,自行设计了一套微波回旋共振等离子体辅助原子层沉积装置,以三甲基铝作为铝源前躯体,氧气作为氧化剂,在室温下于氢氟酸溶液中处理过的单晶硅基片上进行了氧化铝薄膜的沉积。利用扫描电子显微镜、原子力显微镜、高分辨率透射电子显微镜、X-ray射线衍射、X-ray射线光电子能谱等分析手段测试了薄膜的表面形貌和成分,结果表明制备的氧化铝薄膜为非晶态结构,铝、氧元素含量配比接近2/3,同时薄膜表面非常光滑平整而且致密,表面粗糙度<0.4nm。通过高分辨率透射电子显微镜的截面图,可以估算出薄膜厚度约为80nm,界面非常清晰、平整,薄膜质量较高,沉积速率为0.27nm/周期,沉积速率较热沉积大大提高。 展开更多

关键词 电子回旋共振等离子体 三甲基铝(TMA) 原子层沉积 表面形貌 氧化铝 沉积速率

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螺旋波等离子体放电特性的射频补偿朗缪尔单探针测量研究 被引量：4

2

作者 马超 赵高 +2 位作者 刘忠伟 桑利军 陈强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第8期989-993,共5页

采用射频补偿朗缪尔单探针研究了螺旋波放电中功率、气体压强、磁场强度等对等离子体参数的影响。结果表明,随着功率的增大,等离子体密度会出现两次明显的跳跃,分析认为放电模式经历了由容性模式到感性模式和波模式转变过程。实验发现... 采用射频补偿朗缪尔单探针研究了螺旋波放电中功率、气体压强、磁场强度等对等离子体参数的影响。结果表明,随着功率的增大,等离子体密度会出现两次明显的跳跃,分析认为放电模式经历了由容性模式到感性模式和波模式转变过程。实验发现磁场的增大、放电压强的增大都可以使模式转变的功率阈值提前。同时,在天线上端的测量到低场密度峰的存在,并进行了气压和功率的影响的研究,认为低场峰主要是由螺旋波放电模式引起。 展开更多

关键词 螺旋波等离子体 射频补偿探针 模式转变 低场密度峰

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等离子体聚合胺基功能薄膜及其生物性能研究 被引量：3

3

作者 谢芬艳 吴侗 +2 位作者 付亚波 翁静 陈强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期462-466,共5页

本文采用射频(13.56MHz)等离子体技术,以丙烯胺(allylamine)为聚合单体,氩气为辅助气体,进行了合成含胺基生物功能薄膜的研究。利用接触角测定仪(WCA),傅里叶变换红外光谱(FTIR),X-射线光电子能谱(XPS)对功能薄膜的结构、成分进行测试... 本文采用射频(13.56MHz)等离子体技术,以丙烯胺(allylamine)为聚合单体,氩气为辅助气体,进行了合成含胺基生物功能薄膜的研究。利用接触角测定仪(WCA),傅里叶变换红外光谱(FTIR),X-射线光电子能谱(XPS)对功能薄膜的结构、成分进行测试表征。同时,也通过体外细胞培养的方式研究了胺基生物功能薄膜对细胞黏附以及细胞生长的作用,并在倒置显微镜下观察细胞的黏附以及生长情况。研究了不同等离子体参数如功率、工作气压、放电模式、占空比等对聚合功能薄膜表面结构成分、功能团含量以及生物性能的影响。测试结果表明,射频等离子聚合的胺基功能薄膜具有良好的生物相容性,能较好地促进细胞在其表面的黏附和生长。 展开更多

关键词 等离子体聚合 胺基功能薄膜 细胞吸附 体外细胞培养

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射频等离子体聚合SiO_x薄膜的研究 被引量：4

4

作者 韩尔立 陈强 葛袁静 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第6期482-486,共5页

在射频等离子体放电条件下,以六甲基二硅氧烷(Hexamethyldisilone,HMDSO)为单体,氧气为反应气体,在PET薄膜及载玻片上聚合SiOx薄膜。通过红外光谱(FTIR)分析了工作压强、功率、单体氧气比、聚合时间等对聚合薄膜的结构和沉积速度的影响... 在射频等离子体放电条件下,以六甲基二硅氧烷(Hexamethyldisilone,HMDSO)为单体,氧气为反应气体,在PET薄膜及载玻片上聚合SiOx薄膜。通过红外光谱(FTIR)分析了工作压强、功率、单体氧气比、聚合时间等对聚合薄膜的结构和沉积速度的影响;通过扫描电子显微镜(SEM)观察了薄膜的表面形貌;通过表面轮廓仪测试了薄膜厚度,计算了沉积速率并对薄膜的均匀性做了研究。在38℃恒温水浴箱中进行的水蒸汽阻隔实验表明,PET薄膜的阻隔性能得到有效的提高。 展开更多

关键词 水蒸汽阻隔层 等离子体增强化学气相沉积 SIOX薄膜

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RF等离子体聚合类聚氧化乙烯(PEO-like)功能薄膜研究 被引量：2

5

作者 周美丽 陈强 葛袁静 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期412-416,共5页

采用射频等离子体,以乙二醇二甲基醚(Ethylene Glycol Dimethyl Ether)为聚合单体,用氩气作为工作气体,合成类聚氧化乙烯(PEO-like)官能聚合物。实验采用连续和脉冲射频等离子体两种放电模式聚合PEO功能薄膜,研究了等离子体放电参数:等... 采用射频等离子体,以乙二醇二甲基醚(Ethylene Glycol Dimethyl Ether)为聚合单体,用氩气作为工作气体,合成类聚氧化乙烯(PEO-like)官能聚合物。实验采用连续和脉冲射频等离子体两种放电模式聚合PEO功能薄膜,研究了等离子体放电参数:等离子体放电功率、工作气压、放电模式(连续或脉冲)和聚合时间对聚合物表面结构、官能团含量以及表面特性等影响。利用接触角测试仪、表面张力仪、傅里叶变换红外光谱(FTIR)、膜厚仪和X-射线光电子能谱(XPS)等多种手段对聚合薄膜的组成、结构和性能进行了表征。结果表明,较小的功率以及较长的脉冲条件下有利于EO基团的形成。 展开更多

关键词 射频等离子体增强化学气相沉积 乙二醇二甲基醚 类聚氧化乙烯

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等离子体改性纤维布在水泥砂浆中的应用研究 被引量：1

6

作者 陈光良 张跃飞 +1 位作者 张广秋 葛袁静 《混凝土》 CAS CSCD 2003年第11期45-47,共3页

　应用大气下介质阻挡放电等离子体处理铺展在水泥砂浆内的纤维布,研究处理后的纤维布对砂浆抗压和抗冲击性能的影响。结果表明,在砂浆中加入等离子体处理的纤维布,其抗压和抗冲击性能比加未处理纤维布的试样分别提高了7%和108 3%。

关键词 等离子体 表面改性 纤维布 DBD

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电子回旋共振等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究 被引量：1

7

作者 赵桥桥 桑利军 +1 位作者 陈强 李兴存 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第10期975-979,共5页

介绍了以三甲基铝为前驱体、氢气为还原剂,在微波电子回旋共振等离子体装置中进行了等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究。确定了影响薄膜结构、表面形貌、和性能的因素。其中薄膜的晶体结构采用X射线衍射表征、原子力显微镜表征薄... 介绍了以三甲基铝为前驱体、氢气为还原剂,在微波电子回旋共振等离子体装置中进行了等离子体辅助原子层沉积金属铝薄膜的研究。确定了影响薄膜结构、表面形貌、和性能的因素。其中薄膜的晶体结构采用X射线衍射表征、原子力显微镜表征薄膜的表面形貌、傅里叶红外变换仪研究薄膜的成分组成,而薄膜性能表面电阻用四探针电阻仪进行测量。实验得到电子回旋共振等离子体可以有效辅助原子层沉积技术制备金属铝薄膜,微波功率对铝薄膜性能有一定的影响;薄膜的后退火处理对其性能影响较大,在氢气氛围中退火处理后铝薄膜的表面电阻有显著的降低,接近其体电阻值。 展开更多

关键词 原子层沉积 微波电子回旋共振 退火 表面电阻

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辉光放电离子渗金属的等离子体发射光谱诊断

8

作者 付亚波 张跃飞 +3 位作者 张广秋 高原 王建忠 隗晓云 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期114-117,共4页

利用发射光谱法对离子渗金属中辉光等离子体的电子温度进行了诊断。实验以氮气为工作气体,通过对放电时氮离子两条特征谱线强度的相对标定,测量了电子温度随放电气压40 Pa^80 Pa和电压500 V^1000 V的变化。并探讨了电子温度随气压和电... 利用发射光谱法对离子渗金属中辉光等离子体的电子温度进行了诊断。实验以氮气为工作气体,通过对放电时氮离子两条特征谱线强度的相对标定,测量了电子温度随放电气压40 Pa^80 Pa和电压500 V^1000 V的变化。并探讨了电子温度随气压和电压变化的原因。结果表明,该放电为典型的反常辉光等离子体放电,电子温度在1 eV^15 eV之间变化,且随工作气压和电压的的升高迅速增大,这与实际观测的放电效果相符合,实验结果表明,发射光谱法是测量离子渗金属中等离子体参数的一种有效手段。 展开更多

关键词 辉光放电 等离子体参数 发射光谱诊断

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自由基刻蚀多晶硅及氟原子密度检测的研究

9

作者 高远 李筝 +3 位作者 曹勇 桑利军 刘博文 刘忠伟 《真空科学与技术学报》 北大核心 2025年第7期584-591,共8页

随着集成电路特征尺寸的不断缩小,传统刻蚀技术在选择性和物理损伤控制等方面面临挑战。自由基刻蚀技术具有高精度、低刻蚀损伤等优点,在微纳加工中具有重要应用价值与广阔的应用前景。研究利用自由基刻蚀技术,以CF_(4)/O_(2)/He混合气... 随着集成电路特征尺寸的不断缩小,传统刻蚀技术在选择性和物理损伤控制等方面面临挑战。自由基刻蚀技术具有高精度、低刻蚀损伤等优点,在微纳加工中具有重要应用价值与广阔的应用前景。研究利用自由基刻蚀技术,以CF_(4)/O_(2)/He混合气体为放电气体,系统研究了放电参数,如输入功率与气体流量对多晶硅刻蚀速率和F原子密度的影响。使用Ar作为标定气体定量测定刻蚀过程中的F原子密度。结果表明,F原子密度和刻蚀速率均随功率或CF_(4)流量的增加呈现先上升后趋于平稳的趋势;适当增加He或O_(2)比例可以提高刻蚀速率,但过高的He或O_(2)流量会导致F原子密度减少和刻蚀速率下降。研究揭示了自由基刻蚀过程中的关键参数,为优化刻蚀工艺提供了理论指导。 展开更多

关键词 多晶硅 自由基刻蚀 刻蚀速率 F 原子密度

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纯铜表面双层辉光离子渗钛合金层的摩擦磨损性能 被引量：7

10

作者 张跃飞 袁庆龙 +2 位作者 陈飞 苏永安 徐重 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第4期292-295,共4页

采用双层辉光离子渗金属技术,在纯铜表面形成含钛的合金渗层;采用扫描电子显微镜观察分析磨损表面形貌,并分析了磨损机理.结果表明:纯铜表面经离子渗钛后形成了以金属间化合物Cu4Ti和含钛的α固溶体为主的合金渗层,从而使表面强度提高,... 采用双层辉光离子渗金属技术,在纯铜表面形成含钛的合金渗层;采用扫描电子显微镜观察分析磨损表面形貌,并分析了磨损机理.结果表明:纯铜表面经离子渗钛后形成了以金属间化合物Cu4Ti和含钛的α固溶体为主的合金渗层,从而使表面强度提高,磨损性能明显改善;纯铜磨损表面呈撕裂特征,而离子渗钛试样仅发生轻微擦伤. 展开更多

关键词 纯铜 离子渗钛 摩擦磨损性能

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多腔耦合微波表面波PECVD法沉积DLC薄膜研究 被引量：3

11

作者 赵曼曼 桑利军 +3 位作者 周美丽 杨丽珍 刘忠伟 陈强 《核聚变与等离子体物理》 CAS CSCD 北大核心 2018年第3期368-372,共5页

报道了利用多腔耦合微波表面波等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)薄膜。通过发射光谱(OES)测量,对Ar等离子体中的各种放电参数以及全部四个腔室内放电的均匀性作出评估。采用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度;薄膜的... 报道了利用多腔耦合微波表面波等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法制备类金刚石(DLC)薄膜。通过发射光谱(OES)测量,对Ar等离子体中的各种放电参数以及全部四个腔室内放电的均匀性作出评估。采用表面轮廓仪测量了薄膜的厚度;薄膜的表面形貌、组成结构通过原子力显微镜(AFM)、激光拉曼光谱和X射线衍射光谱(XPS)进行了表征。在12.5μm厚度的有机薄膜聚酯(PET)表面沉积一定厚度DLC后,通过测量水蒸气透过率(WVTR)对DLC薄膜的阻隔性能进行了研究。结果表明,这种多腔耦合微波表面波等离子体装置,不仅能够实现四个腔室同时相对均匀的放电,也能够实现单个腔室的轴向均匀放电。制备的DLC薄膜结构致密、成分均匀,可以使PET薄膜阻隔性能提高约20倍。 展开更多

关键词 微波表面波 发射光谱 类金刚石 薄膜

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离子源辅助电子束沉积凹印版耐磨层 被引量：2

12

作者 张跃飞 王正铎 +3 位作者 付亚波 陈强 张广秋 葛袁静 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期317-320,共4页

针对凹印版电镀存在的污染和高能耗,采用射频感应偶合(ICP)离子源辅助电子束沉积硬质铬耐磨层,通过控制离子源参数和加入过渡层来提高薄膜与基体的结合力和显微硬度。利用扫描电镜、原子力显微镜、显微硬度计、划痕仪、表面轮廓仪,摩擦... 针对凹印版电镀存在的污染和高能耗,采用射频感应偶合(ICP)离子源辅助电子束沉积硬质铬耐磨层,通过控制离子源参数和加入过渡层来提高薄膜与基体的结合力和显微硬度。利用扫描电镜、原子力显微镜、显微硬度计、划痕仪、表面轮廓仪,摩擦磨损仪对膜层的组织结构和性能进行了研究,探讨了在薄膜沉积过程中,离子源工艺参数对薄膜界面结合机理,组织结构和性能的影响。 展开更多

关键词 离子源辅助沉积 过渡层 离子轰击 附着牢度

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氮化镍薄膜的制备及应用

13

作者 方弘历 任家轩 +3 位作者 严建军 刘博文 桑利军 刘忠伟 《印刷与数字媒体技术研究》 北大核心 2025年第1期1-13,27,共14页

氮化镍薄膜是一种具有良好导电性和化学稳定性的功能材料,在催化、电化学储能、传感器等领域具有广泛的应用前景。制备氮化镍薄膜的方法主要包括物理气相沉积法(PVD)、化学气相沉积法(CVD)、溶液凝胶法(Sol-Gel)以及热分解法等。氮化镍... 氮化镍薄膜是一种具有良好导电性和化学稳定性的功能材料,在催化、电化学储能、传感器等领域具有广泛的应用前景。制备氮化镍薄膜的方法主要包括物理气相沉积法(PVD)、化学气相沉积法(CVD)、溶液凝胶法(Sol-Gel)以及热分解法等。氮化镍薄膜表现出优异的电催化性能,尤其在氢气析出反应(HER)和氧气还原反应(ORR)中表现突出。此外,氮化镍薄膜还可以作为超级电容器的电极材料,提供高的比电容和强的循环稳定性。同时,氮化镍薄膜的导电性和磁性使其在传感器和磁性存储器件中也具有潜在应用。本文介绍了氮化镍薄膜制备工艺的研究进展,探讨了氮化镍薄膜在能源和电催化领域中的应用,为氮化镍薄膜的制备与发展提供了参考。 展开更多

关键词 氮化镍 化学气相沉积 物理气相沉积

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电子束蒸发镀铬制备凹印版材耐磨层的研究 被引量：2

14

作者 张跃飞 张广秋 +2 位作者 王正铎 葛袁静 陈强 《表面技术》 EI CAS CSCD 2005年第2期27-29,34,共4页

　利用电子束蒸发镀技术在铜表面沉积铬层,并对制备的工艺,涂层的性能行了初步研究。结果显示,采用低电压(6kV)和低束流(50mA、60mA))蒸镀时,沉积速度适中,所得的膜层呈银白色且光亮,内应力较小,无开裂现象,镀层厚度均匀,硬度较高,且与... 　利用电子束蒸发镀技术在铜表面沉积铬层,并对制备的工艺,涂层的性能行了初步研究。结果显示,采用低电压(6kV)和低束流(50mA、60mA))蒸镀时,沉积速度适中,所得的膜层呈银白色且光亮,内应力较小,无开裂现象,镀层厚度均匀,硬度较高,且与基体结合良好。适当控制电子枪的工艺参数和烘烤时间可以增加薄膜与基体的结合力。 展开更多

关键词 电子束蒸发镀 凹印 粗糙度 结合力

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大气压射频单介质阻挡放电中放电通道收缩现象的研究 被引量：1

15

作者 毛志国 刘忠伟 +1 位作者 李森 陈强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第6期485-489,共5页

大气压射频辉光放电产生的等离子体具有温和的温度、较好的稳定性和较强的化学活性而广泛应用于工业生产、生物处理等领域。为提高工作效率、增加放电均匀性,应避免产生放电收缩现象。为此,设计了一个带水冷铜电极的射频单介质阻挡放电... 大气压射频辉光放电产生的等离子体具有温和的温度、较好的稳定性和较强的化学活性而广泛应用于工业生产、生物处理等领域。为提高工作效率、增加放电均匀性,应避免产生放电收缩现象。为此,设计了一个带水冷铜电极的射频单介质阻挡放电系统,在大气压下研究氮气和氩气放电收缩形成的机制。纳秒级ICCD相机拍摄的放电图像揭示出在大气压下氮气和氩气放电中明显存在放电通道收缩现象,在放电周期内放电通道形状保持不变,但在不同位置的发光强度随射频电源的频率作周期性变化。通过分析放电图像的三维时空分辨图和二维时间分辨图,发现上下电极表面附近的发光强度在一个射频周期内交替出现一个峰,但峰出现时间上为非对称。这不同于射频裸电极放电,也不同于射频双介质阻挡放电。分析认为发光强度峰在一个射频周期内交替出现的时间非对称性是由于非对称电极表面电荷积累和二次电子发射差异造成。 展开更多

关键词 射频单介质阻挡放电 放电通道 时空特性 表面电荷 二次电子发射

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大气压氦气射频介质阻挡辉光放电的均匀性研究

16

作者 毛志国 朱强 +2 位作者 李森 刘忠伟 陈强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第6期762-766,共5页

为了研究大气压射频介质阻挡辉光放电的时空特性,采用一个表面覆盖有石英介质的铜电极和一个自制水电极的放电系统,在氦气中获得了大面积和较大电极间距下的辉光放电。对ICCD高速相机拍摄的径向放电图像和轴向放电图像分析揭示了射频介... 为了研究大气压射频介质阻挡辉光放电的时空特性,采用一个表面覆盖有石英介质的铜电极和一个自制水电极的放电系统,在氦气中获得了大面积和较大电极间距下的辉光放电。对ICCD高速相机拍摄的径向放电图像和轴向放电图像分析揭示了射频介质阻挡辉光放电不仅具有较好的径向均匀性,而且具有很好的轴向均匀性,并不存在沿径向的发展。这是不同于中频介质阻挡辉光放电的一个显著特征。此外,注意到射频介质阻挡辉光放电在径向和轴向上的发展均与射频周期有很强的关联性。分析认为这是由于空间电荷在射频介质阻挡辉光放电的形成和发展中发挥主导作用。因此,可以认为射频介质阻挡辉光放电所具备非常好的径向和轴向均匀性,与中频介质阻挡辉光放电相比,可能会更有利于工业生产中进行均匀薄膜沉积和对薄膜表面改性处理等。 展开更多

关键词 射频介质阻挡辉光放电 均匀性 空间电荷 表面电荷

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原子层沉积Al_2O_3纳米管弯曲模量的原位研究 被引量：2

17

作者 孙成东秀 马晋遥 +2 位作者 杨丽珍 陈强 张跃飞 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第1期1-7,共7页

本文使用原子层沉积技术以及模板法制备了厚度、成分和结构精确可控的氧化铝纳米管,结合SEM、TEM、SAED和XPS分析,可知所得为非晶态氧化铝纳米管状结构且薄膜致密无针孔,沉积速率为0.11 nm/cycle,实现了纳米管壁厚在纳米尺度精确可控制... 本文使用原子层沉积技术以及模板法制备了厚度、成分和结构精确可控的氧化铝纳米管,结合SEM、TEM、SAED和XPS分析,可知所得为非晶态氧化铝纳米管状结构且薄膜致密无针孔,沉积速率为0.11 nm/cycle,实现了纳米管壁厚在纳米尺度精确可控制备。进一步使用自主设计的SEM/SPM(扫描电子显微镜/扫描探针显微镜)联合测试系统,对氧化铝纳米管进行了原位三点弯曲实验研究。结果表明外半径在50 nm左右的氧化铝纳米管的杨氏模量范围在400~600 GPa之间,且杨氏模量值随着纳米管壁厚的增大而递减。 展开更多

关键词 氧化铝纳米管 原子层沉积 SEM/SPM联合测试系统 杨氏模量 三点弯曲

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低温ALD沉积Al掺杂TiO_2薄膜性能的研究及在钙钛矿太阳电池上的应用

18

作者 刘文雅 张龙 +3 位作者 廖丽萍 刘忠伟 王东栋 陈强 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期705-709,共5页

以四异丙醇钛、三甲基铝和去离子水分别为钛源、铝源和氧源,低温条件下用原子层沉积(ALD)技术在FTO导电玻璃上制备TiO_2薄膜和掺杂不同比例元素Al的TiO_2(ATO)薄膜,并将其作为光阳极用于平面钙钛矿太阳电池。测量TiO_2和不同Al比例掺杂... 以四异丙醇钛、三甲基铝和去离子水分别为钛源、铝源和氧源,低温条件下用原子层沉积(ALD)技术在FTO导电玻璃上制备TiO_2薄膜和掺杂不同比例元素Al的TiO_2(ATO)薄膜,并将其作为光阳极用于平面钙钛矿太阳电池。测量TiO_2和不同Al比例掺杂的ATO薄膜X射线衍射,研究掺杂比对TiO_2晶格的影响。同时,以FTO导电玻璃为基底在TiO_2(或ATO)薄膜上沉积Al做电极制备FTO/TiO_2/Al和FTO/ATO/Al,测量它们的I-V曲线,研究Al掺杂对TiO_2薄膜导电性能的影响。最后,以TiO_2和掺杂比为1:120制备的ATO为光阳极,组装成钙钛矿太阳电池器件FTO/TiO_2(或FTO/ATO)/CH_3NH_3PbI_(3-x)Cl_x/spiro-OMETAD/Au,测量电池J-V特性曲线。与TiO_2为光阳极器件相比,掺杂比为1:120的ATO基器件开路电压从0.89提高到1.01 V,填充因子从59%提高到64%,光电转换效率由9.26%提高到11.31%。发现少量Al掺杂不会改变TiO_2薄膜晶型结构,但是会改变TiO_2电阻。 展开更多

关键词 低温ALD Al掺杂TiO_2 光阳极 钙钛矿太阳电池 性能

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聚乙烯薄膜表面沉积纳米SiO_x涂层的阻隔性能 被引量：9

19

作者 桑利军 王敏 +2 位作者 陈强 刘忠伟 王正铎 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第3期36-41,共6页

为了提高药品包装用聚乙烯(PE)薄膜的阻隔性能,利用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以氧气(O2)和六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为氧化性气体和硅源单体,在PE薄膜表面沉积一层纳米厚度的柔性SiOx涂层。采用傅里叶变换红外吸收光谱、原子力... 为了提高药品包装用聚乙烯(PE)薄膜的阻隔性能,利用射频等离子体增强化学气相沉积技术,以氧气(O2)和六甲基二硅氧烷(HMDSO)作为氧化性气体和硅源单体,在PE薄膜表面沉积一层纳米厚度的柔性SiOx涂层。采用傅里叶变换红外吸收光谱、原子力显微镜和气体透过率测试仪对SiOx涂层的化学结构成分、表面微观形貌和气体阻隔性能进行表征。结果表明:SiOx涂层的化学结构和表面形貌对其阻隔性能有显著的影响。沉积工艺参数对SiOx涂层的阻隔性能起到了至关重要的作用。经过参数优化后制备的SiOx涂层可以有效地提高PE薄膜对氧气的阻隔性能,当射频功率为50 W,氧气和六甲基二硅氧烷的比例为2∶1,沉积气压为20Pa时制备的SiOx涂层的透氧值可从原膜的3 000mL/(m2·d)降低到30mL/(m2·d),对氧气的阻隔率可以提高100倍。 展开更多

关键词 射频等离子体 SiOx涂层 PE薄膜 气体透过率

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大气压氦气/氮气和氩气/氮气射频介质阻挡放电六边形斑图特性比较 被引量：5

20

作者 毛志国 朱强 +2 位作者 李森 刘忠伟 陈强 《高电压技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第9期2910-2915,共6页

为研究放电参数对射频介质阻挡放电的放电模式和斑图特性的影响,通过分析活性粒子在放电中所发挥的作用来探究放电机制的差异,采用一个表面覆盖有石英介质的铜电极和一个自制水电极的放电系统,在大气压氦气/氮气混合气体和氩气/氮气混... 为研究放电参数对射频介质阻挡放电的放电模式和斑图特性的影响,通过分析活性粒子在放电中所发挥的作用来探究放电机制的差异,采用一个表面覆盖有石英介质的铜电极和一个自制水电极的放电系统,在大气压氦气/氮气混合气体和氩气/氮气混合气体射频介质阻挡放电中获得了六边形斑图,并研究了电源功率、氮气流量对斑图特性的影响。通过比较两种放电形成的斑图发现:氦气/氮气混合气体中形成六边形斑图所需电源功率更高且具有更强的辉光背景。利用发射光谱诊断技术揭示了放电形成的活性粒子,分析认为亚稳态粒子通过Penning电离或Penning激发在放电中发挥了关键性作用。这不仅有助于深入理解射频介质阻挡放电的物理机制,还对斑图动力学的研究有参考价值。 展开更多

关键词 射频介质阻挡放电 六边形斑图 亚稳态粒子 Penning电离 空间电荷 表面电荷

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