氩等离子体改性膨润土及其对亚甲基蓝吸附性能的研究

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作者 杨斗豪 任家轩 +4 位作者 见瑞婷 胡怡 朱域铷 李斌 刘忠伟 《真空与低温》 2024年第2期126-133,共8页

膨润土是一种硅酸盐黏土矿物,在机械、冶金、化工、环保等行业有重要应用。通过改变放电气体种类,放电时间等参数得到不同性能的改性膨润土样品,通过吸附亚甲基蓝试验确定了最佳改性条件。对改性后的膨润土进行了FTIR、SEM和XRD、TGA、... 膨润土是一种硅酸盐黏土矿物,在机械、冶金、化工、环保等行业有重要应用。通过改变放电气体种类,放电时间等参数得到不同性能的改性膨润土样品,通过吸附亚甲基蓝试验确定了最佳改性条件。对改性后的膨润土进行了FTIR、SEM和XRD、TGA、BET等分析表征。结果表明,Ar等离子体改性可以提升膨润土的吸附性能。改性后的样品基本骨架保持不变,但比表面积和孔容增大,电位降低。将10 mg Ar等离子体改性的膨润土置于200 mL,20 mg/L的亚甲基蓝溶液中,吸附量可达183 mg/g,而未改性的膨润土的吸附量只有117 mg/g。 展开更多

关键词 低温等离子体 改性膨润土 亚甲基蓝 吸附

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等离子体增强原子层沉积技术制备过渡金属薄膜的研究进展 被引量：3

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作者 田旭 张翔宇 +3 位作者 李杨 刘博文 杨丽珍 刘忠伟 《真空与低温》 2021年第1期20-31,共12页

原子级的处理对应用于计算和数据存储的最先进的电子设备,以及与物联网、人工智能和量子计算相关的新兴技术正变得越来越重要。等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种原子级表面沉积技术,由于其较高的反应活性以及较低的沉积温度日益受... 原子级的处理对应用于计算和数据存储的最先进的电子设备,以及与物联网、人工智能和量子计算相关的新兴技术正变得越来越重要。等离子体增强原子层沉积(PEALD)是一种原子级表面沉积技术,由于其较高的反应活性以及较低的沉积温度日益受到研究者的关注。本文介绍了PEALD技术的基本原理以及相对于其他薄膜沉积技术的优势,之后从前驱体和基底材料的影响等方面介绍了利用PEALD制备Ti、Co、Ni、Cu、Ru、Pd、Ag、Ta、Ir和Pt等过渡金属薄膜以及它们在微电子领域的应用现状,最后进行了总结和展望。 展开更多

关键词 过渡金属薄膜 等离子体增强原子层沉积 低温

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空心阴极N_2等离子体放电光源实现普通PS版感光 被引量：4

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作者 李朝阳 陈强 张广秋 《感光科学与光化学》 EI CSCD 2006年第3期211-217,共7页

本文利用直流空心阴极放电方式产生了一种新型氮气等离子体蓝紫光源,实现了针对传统的预涂感光版(PS版)的感光,当N2气压70 Pa、放电电压580 V、电流1.8 A时,产生的蓝紫光功率密度为0.46 mW/cm2.本文进一步从曝光前后颜色密度值变化、感... 本文利用直流空心阴极放电方式产生了一种新型氮气等离子体蓝紫光源,实现了针对传统的预涂感光版(PS版)的感光,当N2气压70 Pa、放电电压580 V、电流1.8 A时,产生的蓝紫光功率密度为0.46 mW/cm2.本文进一步从曝光前后颜色密度值变化、感光材料红外分析方面,对PS版的曝光效果做了详细的测量. 展开更多

关键词 空心阴极放电 PS版 高频脉冲

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气相沉积技术制备氧化锰薄膜及其组分调控的研究进展 被引量：1

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作者 任家轩 方弘历 +3 位作者 杨斗豪 刘博文 王正铎 刘忠伟 《北京印刷学院学报》 2024年第3期67-72,共6页

本文介绍了利用气相沉积技术,包括物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉积等技术制备氧化锰薄膜以及组分调控的研究现状,重点介绍了等离子体辅助化学气相沉积/原子层沉积氧化锰薄膜的研究进展,对所使用的锰前驱体做了总结,并展望了氧... 本文介绍了利用气相沉积技术,包括物理气相沉积、化学气相沉积、原子层沉积等技术制备氧化锰薄膜以及组分调控的研究现状,重点介绍了等离子体辅助化学气相沉积/原子层沉积氧化锰薄膜的研究进展,对所使用的锰前驱体做了总结,并展望了氧化锰薄膜的发展趋势。 展开更多

关键词 氧化锰薄膜 物理气相沉积 化学气相沉积 原子层沉积

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钴金属薄膜制备研究进展 被引量：5

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作者 张翔宇 田旭 +2 位作者 刘博文 陈强 刘忠伟 《真空与低温》 2020年第5期410-416,共7页

近年来,由于钴薄膜具有优良的物理化学性能如低电阻率、高磁各向异性、高催化活性等引起人们的广泛关注。在集成电路领域,基于钴优异的低电阻率特性,钴可以替代铜成为新一代半导体导线材料,在10 nm、7 nm,甚至在5 nm、3 nm芯片制造工艺... 近年来,由于钴薄膜具有优良的物理化学性能如低电阻率、高磁各向异性、高催化活性等引起人们的广泛关注。在集成电路领域,基于钴优异的低电阻率特性,钴可以替代铜成为新一代半导体导线材料,在10 nm、7 nm,甚至在5 nm、3 nm芯片制造工艺下作为互连导线,可以提升导电性、降低功耗并大幅减小芯片体积,使芯片效能更高。目前已经有许多制备钴金属薄膜的研究,本文重点介绍利用化学气相沉积技术、热原子层沉积技术以及等离子体辅助原子层沉积技术制备钴薄膜的研究现状,讨论各种制备方法的优劣,对所使用的前驱体做了总结,并展望了发展趋势。 展开更多

关键词 钴薄膜 化学气相沉积 原子层沉积

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化学检测手段在纸张断代中的应用 被引量：1

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作者 邹齐瑞 方弘历 +3 位作者 刘忠伟 李斌 樊秀微 刘博文 《中华纸业》 CAS 2024年第3期66-69,共4页

通过对不同年代(约1800年、1961年、1978年、1988年、2022年)纸张中造纸化学品的检测鉴别,结合纸张年代与造纸化学品的多方面依附因素分析,对纸张进行断代识别。实验结果表明:造纸化学品在判断纸张年代上有较大的依附性。通过高效液相... 通过对不同年代(约1800年、1961年、1978年、1988年、2022年)纸张中造纸化学品的检测鉴别,结合纸张年代与造纸化学品的多方面依附因素分析,对纸张进行断代识别。实验结果表明:造纸化学品在判断纸张年代上有较大的依附性。通过高效液相色谱分析,1988年和2022年纸样都存在荧光增白剂,这与荧光增白剂在中国造纸行业的使用时间相符合。通过X射线衍射(XRD)技术对纸样的造纸填料进行分析,分别在1961年和2022年纸样中检测到碳酸钙,1988年纸样中检测到滑石粉的存在。通过化学检测法对纸张的胶料进行检测,通过实验得出在1800年、1961年、1978年纸样中存在松香胶料,1988年和2022年纸样存在淀粉,推测可能使用淀粉胶,但动物和大豆等蛋白胶均无显现。通过对纸张进行扫描电子显微镜(SEM)检测,发现SEM结果与实验所推测相吻合,古书籍纸样纤维明显,基本没有填料助剂,其余纸样均存在明显的填料颗粒,且1988年和2022年纸样的填料形态和均匀度更好。结果表明:纸张样品的化学检测和表征测试结果,可以用于纸张断代分析。 展开更多

关键词 纸张断代 造纸化学品 化学检测

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组成无公害低熔玻璃的发展现状 被引量：15

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作者 罗世永 陈强 +1 位作者 杨丽珍 张跃飞 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第8期40-42,54,共4页

低熔玻璃广泛用作封接玻璃和电子浆料中的粘接相。现有低熔玻璃绝大部分为高铅含量玻璃。提出组成中不含 Pb、Hg、Cd、As、Tl、Cr 和放射性元素的玻璃称为组成无公害玻璃,综述了低熔玻璃的发展现状,指出电子产品目前所用含铅玻璃的取代... 低熔玻璃广泛用作封接玻璃和电子浆料中的粘接相。现有低熔玻璃绝大部分为高铅含量玻璃。提出组成中不含 Pb、Hg、Cd、As、Tl、Cr 和放射性元素的玻璃称为组成无公害玻璃,综述了低熔玻璃的发展现状,指出电子产品目前所用含铅玻璃的取代物可能是磷酸盐、矾酸盐、铋酸盐玻璃。建立磷酸盐、矾酸盐、铋酸盐玻璃相关基础理论.发展玻璃形成新理论以及新的材料制备技术是组成无公害低熔玻璃研究与开发的重点。 展开更多

关键词 组成无公害低熔玻璃 封接玻璃 电子浆料 新制备技术 玻璃形成新理论 低熔玻璃 无公害 组成 现状 铋酸盐玻璃

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N2流量对HiPIMS制备Al-N共掺杂ZnO薄膜的性能影响 被引量：1

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作者 李倩 张玉琛 +4 位作者 王正铎 杨丽珍 张海宝 刘忠伟 陈强 《真空与低温》 2019年第6期361-367,共7页

采用高功率脉冲反应磁控溅射(HiPIMS)在玻璃基底上沉积Al-N共掺氧化锌(ZnO)薄膜,研究氮气(N2)流量对Al-N共掺杂ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌和电学性质的影响。测量结果表明,N2流量对掺杂的ZnO薄膜电导率类型转变和光电性能有很大影响:... 采用高功率脉冲反应磁控溅射(HiPIMS)在玻璃基底上沉积Al-N共掺氧化锌(ZnO)薄膜,研究氮气(N2)流量对Al-N共掺杂ZnO薄膜的晶体结构、表面形貌和电学性质的影响。测量结果表明,N2流量对掺杂的ZnO薄膜电导率类型转变和光电性能有很大影响:当N2流量为8 mL/min时,掺杂ZnO薄膜在可见光波段透过率大于85%,薄膜导电类型为n型;随着N2流量的增加,薄膜经历n-p-n型的转变过程。当N2流量为20 mL/min时,掺杂的ZnO结晶性最好,晶体缺陷少、XRD衍射峰半峰宽(FWHM)最小、表面粗糙度也低,为p-ZnO。薄膜电学性能测量显示:载流子浓度、迁移率、电阻率分别为5.47×10^17 cm^-3、2.7 cm^2/Vs、4.51Ωcm。 展开更多

关键词 高功率脉冲反应磁控溅射 氧化锌 Al-N共掺 p型导电

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ALD沉积Al掺杂TiO_2光阳极对钙钛矿太阳能电池中电子传输层影响

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作者 曲浩 刘文雅 +2 位作者 王东栋 张春梅 陈强 《北京印刷学院学报》 2017年第8期48-50,55,共4页

本文采用热原子层沉积技术(T-ALD)在氟化透明导电玻璃(FTO)上制备不同Al掺杂比例的TiO_2(ATO)应用于平面钙钛矿太阳能电池的电子传输层。结果表明,当Al:TiO_2掺杂浓度为1:100时,器件能达到最高13.13%的效率,而采用TiO_2作为电子传输层... 本文采用热原子层沉积技术(T-ALD)在氟化透明导电玻璃(FTO)上制备不同Al掺杂比例的TiO_2(ATO)应用于平面钙钛矿太阳能电池的电子传输层。结果表明,当Al:TiO_2掺杂浓度为1:100时,器件能达到最高13.13%的效率,而采用TiO_2作为电子传输层的器件,效率仅为10.43%。通过荧光光谱(PL),x-ray光电子能谱(x-ray photoelectron spectroscopy,XPS),薄膜电阻(I-V)等对样品的分析,我们认为Al掺杂TiO_2作为电子传输层有效地降低了薄膜的电阻、表面缺陷,最终提高钙钛矿太阳能电池的光电特性。 展开更多

关键词 电子传输层 太阳能电池 TiO2 AL掺杂 沉积技术 钙钛矿 光阳极 ALD

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超薄、连续PVDF铁电薄膜的制备与表征

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作者 张龙 王东栋 +1 位作者 张春梅 杨丽珍 《北京印刷学院学报》 2015年第6期65-68,共4页

为了改善旋涂法制备纳米级超薄PVDF铁电薄膜的致密性和连续性,研究基体的表面处理对PVDF成膜性的影响,进行了对基体表面处理、改变PVDF溶剂成分、旋涂后的退火温度等对超薄PVDF铁电薄膜的连续性、表面形貌及其成分结构的影响研究。研究... 为了改善旋涂法制备纳米级超薄PVDF铁电薄膜的致密性和连续性,研究基体的表面处理对PVDF成膜性的影响,进行了对基体表面处理、改变PVDF溶剂成分、旋涂后的退火温度等对超薄PVDF铁电薄膜的连续性、表面形貌及其成分结构的影响研究。研究对硅和玻璃基底表面处理,紫外(UV)和氧等离子体辐照,改变基底的表面能后PVDF在基底上铺展特性。薄膜的表面形貌通过KEYENCE VHX-600超景深三维视频显微镜、扫描电子显微镜(SEM)和原子力显微镜(AFM)观察,采用傅里叶变换红外光谱(FTIR)和X射线衍射(XRD)对薄膜结构进行表征。结果表明:基底经过氧等离子处理可使质量分数为0.2%的PVDF溶液在硅和玻璃基体上形成超薄、连续的PVDF铁电薄膜。 展开更多

关键词 聚偏氟乙烯 超薄连续 铁电薄膜 氧等离子体

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感应耦合化学气相沉积高速制备微晶硅薄膜

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作者 陈玖香 王伟仲 +1 位作者 程志贤 陈强 《北京印刷学院学报》 2013年第2期63-65,69,共4页

采用新型内置低感应天线电感耦合化学气相沉积系统沉积P型微晶硅薄膜,使用郎缪尔探针对等离子体参数进行诊断。研究发现离子密度(Ni)可以达到1011-1012cm-3,而电子温度(Te)约在2eV,且随着功率的增大略有下降。P型微晶硅薄膜沉积在玻璃... 采用新型内置低感应天线电感耦合化学气相沉积系统沉积P型微晶硅薄膜,使用郎缪尔探针对等离子体参数进行诊断。研究发现离子密度(Ni)可以达到1011-1012cm-3,而电子温度(Te)约在2eV,且随着功率的增大略有下降。P型微晶硅薄膜沉积在玻璃衬底上,研究了功率和气压对其结构和性能的影响。通过在一定SiH4∶B2H6∶H2流量比例下优化工艺参数,结果能在高沉积速率1nm/s的条件下制备高品质微晶硅薄膜。 展开更多

关键词 电感耦合化学气相沉积 等离子体参数 微晶硅薄膜 沉积速率

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