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海峡两岸半导体有关术语对照表
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作者 朱贻玮 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第12期17-21,共5页
关键词 半导体 集成电路 术语对照表 中国 台湾省
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“十五”计划过半时中国IC芯片制造工艺线建设现状 被引量:1
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作者 朱贻玮 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第9期4-6,共3页
关键词 “十五”计划 中国 IC芯片制造工艺线 现状 集成电路行业
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电化学沉积等表面技术在集成电路制造中的作用 被引量:7
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作者 朱晶 卓鸿俊 朱立群 《中国表面工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期248-256,共9页
集成电路制造也称芯片制造,在整个工业产业链中越来越重要,而电化学沉积(电镀)等表面技术起到非常关键的作用。介绍芯片制造中用到的电化学沉积、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、抛光等表面技术的基本情况和特点,探讨铜互连电... 集成电路制造也称芯片制造,在整个工业产业链中越来越重要,而电化学沉积(电镀)等表面技术起到非常关键的作用。介绍芯片制造中用到的电化学沉积、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)、抛光等表面技术的基本情况和特点,探讨铜互连电镀、化学机械抛光(CMP)、硅通孔(TSV)垂直互连电镀铜填充、芯片表面再布线(RDL)电镀铜工艺、键合凸点(Bump)电镀铜/锡工艺、集成电路引线框架/封装基板的电化学蚀刻工艺等,通过总结电化学沉积等表面技术的发展,深入分析传统电镀技术在集成电路制造中的新特点,推动集成电路制造技术的进步。 展开更多
关键词 集成电路制造 电化学沉积 铜互连电镀 PCB线路板电镀 表面技术
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电子工业中电沉积金镀层的应用与发展 被引量:8
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作者 朱晶 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期256-261,共6页
金镀层具有良好的导电性、耐腐蚀性、稳定性等特点,在半导体、集成电路、电子元器件产品等方面具有重要的应用价值。随着电子产品零件表面镀金的重要性日益提升,国内外一直在提高镀金工艺技术的稳定性、镀层功能性方面进行了大量研究,... 金镀层具有良好的导电性、耐腐蚀性、稳定性等特点,在半导体、集成电路、电子元器件产品等方面具有重要的应用价值。随着电子产品零件表面镀金的重要性日益提升,国内外一直在提高镀金工艺技术的稳定性、镀层功能性方面进行了大量研究,而且在多种电子工业产品中的关键镀金技术研究方面开展的工作也越来越深入。从不同的角度综述了目前电子及相关行业中应用电镀金层及电镀金技术的情况,探讨了电镀金层及电镀金技术在电子工业领域的应用进展,分析了在不同基体材料表面沉积金层的技术(如制作薄膜基板的导带、线路板的接地通孔及上下层互连通孔、键合点、焊盘及空气桥等),介绍了镀金层的主要功能(如抗变色和抗化学腐蚀性能,低的接触电阻和导电性,高温下的抗氧化性能,贮存过程中的焊接性能,物理、机械性能等)。对电子行业现代化带动镀金技术的发展与需求,提出了开发和应用无氰镀金技术以及学科交叉对促进镀金技术发展的趋势,肯定了镀金技术对电子领域科技进步的贡献。 展开更多
关键词 镀金 不同基体 电子工业 镀金功能
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集成电路测试系统延迟线性能分析
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作者 付大伟 王建林 +1 位作者 董宗光 林雨 《现代电子技术》 2003年第24期21-23,共3页
延迟线是集成电路测试系统的关键部件。本文介绍了模拟式延迟线的性能和原理 ,分析了模拟式延迟线由于干扰 ,温漂等因素的影响 ,定时分辨率很高但定时精度难以提高的情况。最后指出延迟线的集成是大势所趋 ,立足CMOS工艺的数字延迟线必... 延迟线是集成电路测试系统的关键部件。本文介绍了模拟式延迟线的性能和原理 ,分析了模拟式延迟线由于干扰 ,温漂等因素的影响 ,定时分辨率很高但定时精度难以提高的情况。最后指出延迟线的集成是大势所趋 ,立足CMOS工艺的数字延迟线必将成为未来测试系统集成化的发展方向。 展开更多
关键词 集成电路测试 延迟线 分辨率 精度 CMOS
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