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洁净室的洁净度影响因素分析及改进措施被引量：2: 1; 作者赵华赵伟李端林《洁净与空调技术》 2014年第3期1-4,共4页; 通过日常积累的大量数据对于上送侧回的乱流洁净室的洁净度影响因素及影响效果进行了分析,并据此提出了此类洁净室的日常运行中的改进措施。; 关键词洁净度乱流回风不畅改善影响因素; 在线阅读下载PDF 职称材料

8英寸100纳米高密度等离子刻蚀机(NMC508A): 2; 《中国集成电路》 2007年第8期27-27,29,共2页; NMC508A等离子体硅刻蚀系统是适用于8英寸集成电路生产线，面向逻辑和存储等多种电路制造的先进电感耦合等离子体多反应室刻蚀系统。该系统采用了多项专利技术，具有CD（关键尺寸）控制均匀性高、刻蚀低损伤、高产能、低消耗及多腔室多... 展开更多; 关键词等离子刻蚀机电感耦合等离子体高密度纳米集成电路专利技术关键尺寸生产线; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于机械自锁原理设计的新型毛巾织机起圈机构: 3; 作者宋智燕《纺织器材》 2016年第4期22-24,共3页; 为了通过机械结构设计,解决毛巾喷气织机在打纬过程中因机构位置发生偏移而影响毛圈起圈高度的问题,在对布动式起圈机构的起毛圈原理进行介绍的基础上,对打纬过程中影响机构稳定性的原因进行了分析,利用机械机构自锁原理对毛巾喷气织机... 展开更多; 关键词毛巾喷气织机毛圈布动式筘动式起圈机构自锁原理逆向力; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种新型多层三维织造方法: 4; 作者宋智燕《纺织器材》 2016年第B10期20-21,共2页; 为了解决多剑杆双纬引入法无法织造30~50层多层三维织物的难题，分析了现有三维织机织造三维织物的现状及针织边技术的缺陷，提出了一种新型多层三维织造方法，详细介绍自然锁边工艺的成形过程。指出：新型多层三维织造方法能实现自动... 展开更多; 关键词三维织机多层三维织物织造针织边技术逐层引纬自然锁边; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名洁净室的洁净度影响因素分析及改进措施被引量：2: 1; 作者赵华赵伟李端林; 机构北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司宏碁电脑有限公司上海分公司; 出处《洁净与空调技术》 2014年第3期1-4,共4页; 文摘通过日常积累的大量数据对于上送侧回的乱流洁净室的洁净度影响因素及影响效果进行了分析,并据此提出了此类洁净室的日常运行中的改进措施。; 关键词洁净度乱流回风不畅改善影响因素; Keywords Cleanliness Turbulent flow Poor return air Improvement Affecting Factor; 分类号 TN305.97 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名8英寸100纳米高密度等离子刻蚀机(NMC508A): 2; 机构北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司; 出处《中国集成电路》 2007年第8期27-27,29,共2页; 文摘 NMC508A等离子体硅刻蚀系统是适用于8英寸集成电路生产线，面向逻辑和存储等多种电路制造的先进电感耦合等离子体多反应室刻蚀系统。该系统采用了多项专利技术，具有CD（关键尺寸）控制均匀性高、刻蚀低损伤、高产能、低消耗及多腔室多种工艺集成等特点。; 关键词等离子刻蚀机电感耦合等离子体高密度纳米集成电路专利技术关键尺寸生产线; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于机械自锁原理设计的新型毛巾织机起圈机构: 3; 作者宋智燕; 机构北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司; 出处《纺织器材》 2016年第4期22-24,共3页; 文摘为了通过机械结构设计,解决毛巾喷气织机在打纬过程中因机构位置发生偏移而影响毛圈起圈高度的问题,在对布动式起圈机构的起毛圈原理进行介绍的基础上,对打纬过程中影响机构稳定性的原因进行了分析,利用机械机构自锁原理对毛巾喷气织机的起圈机构进行了重新设计。指出:新型起圈机构结构简单,易加工、装配,成本低廉,能被毛巾喷气织机普遍采用,毛巾织物质量稳定,市场前景广阔。; 关键词毛巾喷气织机毛圈布动式筘动式起圈机构自锁原理逆向力; Keywords towel air-jet loom loop cloth motion reed motion loop forming mechanism self-lock mechanism reverse force; 分类号 TS103.12 [轻工技术与工程—纺织工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种新型多层三维织造方法: 4; 作者宋智燕; 机构北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司; 出处《纺织器材》 2016年第B10期20-21,共2页; 文摘为了解决多剑杆双纬引入法无法织造30~50层多层三维织物的难题，分析了现有三维织机织造三维织物的现状及针织边技术的缺陷，提出了一种新型多层三维织造方法，详细介绍自然锁边工艺的成形过程。指出：新型多层三维织造方法能实现自动化织造并解决多层织物的锁边问题；其自然锁边工艺简化了织机机构，可提高织机对织物品种的适应性、织物质量以及织物利用率。; 关键词三维织机多层三维织物织造针织边技术逐层引纬自然锁边; Keywords 3D loom multi-layer 3D fabric weaving selvage technology weft-in by layer natu-ral seaming; 分类号 TS105.1 [轻工技术与工程—纺织工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料