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北仪迁址启事
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《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期74-74,共1页
关键词 真空技术 迁址 分公司
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北仪迁址启事
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《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期305-305,共1页
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现代真空镀膜机电气控制系统的设计与实现 被引量:2
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作者 丁雪成 冯震宇 +1 位作者 吴丽颖 单允章 《电子测量与仪器学报》 CSCD 2008年第S2期322-325,共4页
真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备。论述了真空镀膜机的发展趋势和总体构成。结合镀膜工艺流程,对电气控制系统软、硬件结构进行了论证分析和相应的设计。同时介绍了PLC的选型,最终实现了以欧姆龙PLC为核心的现代真空... 真空镀膜机是在真空条件下制备薄膜于基体表面的设备。论述了真空镀膜机的发展趋势和总体构成。结合镀膜工艺流程,对电气控制系统软、硬件结构进行了论证分析和相应的设计。同时介绍了PLC的选型,最终实现了以欧姆龙PLC为核心的现代真空镀膜机控制系统。该电气控制系统具有手动/自动控制、故障报警等功能。系统经过了实验室和现场的两步调试,解决了潜在问题。最终生产实践证实了该系统的可行性,实现了工艺要求,满足了客户需求。 展开更多
关键词 PLC 真空镀膜机 电气控制
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YZ-111型压阻真空计的研制
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作者 马志兵 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第2期159-161,共3页
介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计。仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、中央处理单元、按键和显示单元等组成。该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器。信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分... 介绍了一种基于扩散硅传感器的低真空测量仪表YZ-111型压阻真空计。仪表由传感器单元、信号调理单元、A/D采集单元、中央处理单元、按键和显示单元等组成。该仪器采用进口扩散硅压阻式传感器。信号被调理后由高精度数字采集系统采集、分析,直接输出数字信号。配以温度补偿技术,保证它的高精度。通过用高精度真空计校准,并与之比较,其测量结果达到预期。 展开更多
关键词 低真空测量 扩散硅传感器 高精度 达到预期
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机械优化设计理论方法研究综述 被引量:64
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作者 董立立 赵益萍 +2 位作者 梁林泉 朱煜 段广洪 《机床与液压》 北大核心 2010年第15期114-119,共6页
机械优化设计是一种非常重要的现代设计方法,能从众多的设计方案中找出最佳方案,从而大大提高设计的效率和质量。现代工程装备的复杂性使得机械优化设计变得越来越困难,利用新的科学理论探索新的优化设计方法是该研究领域的一个重要方... 机械优化设计是一种非常重要的现代设计方法,能从众多的设计方案中找出最佳方案,从而大大提高设计的效率和质量。现代工程装备的复杂性使得机械优化设计变得越来越困难,利用新的科学理论探索新的优化设计方法是该研究领域的一个重要方面。在综合大量文献的基础上,阐述机械优化设计的含义、目的及必要性,总结机械优化设计的特点,从优化设计数学模型建立和求解算法两方面探讨现代机械优化设计的理论方法和研究现状,并指出该领域中应当进一步研究的问题和发展方向。 展开更多
关键词 机械 优化设计 数学模型 优化方法 智能优化
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金属屏蔽罩对柔性衬底微晶硅太阳电池特性的影响 被引量:2
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作者 刘成 安其 +3 位作者 周丽华 钱子勍 叶晓军 陈鸣波 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第1期124-127,共4页
通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一倍,微晶相至非晶相的硅烷浓度转变点有所变化。将沉积条件应用于... 通过改变硅烷浓度,采用等离子体增强化学气相沉积方法制备了在有无金属屏蔽罩两种情况下的系列微晶硅太阳电池,发现将金属屏蔽罩去除后,本征微晶硅材料的沉积速率提高约一倍,微晶相至非晶相的硅烷浓度转变点有所变化。将沉积条件应用于不锈钢柔性衬底的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池,获得了9.28%(AM0,1353 W/m2)和11.26%(AM1.5,1000W/m2)的光电转换效率。 展开更多
关键词 柔性衬底 屏蔽罩 微晶硅 非晶硅/微晶硅 叠层太阳电池
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