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基于有限元方法的涡轮分子泵转子系统模态分析
被引量：
3
1
作者
王晓冬
孙妍
+1 位作者
方立武
李晓勇
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期411-414,共4页
以FB-一1500型涡轮分子泵为分析原型，依据分子泵转子系统形状、尺寸、材料、支承形式以及质量分布，建立了分子泵转子系统几何模型．采用有限元方法对转子系统进行模态分析，获得了转子系统的临界转速和振型．模态分析结果表明：泵运行...
以FB-一1500型涡轮分子泵为分析原型，依据分子泵转子系统形状、尺寸、材料、支承形式以及质量分布，建立了分子泵转子系统几何模型．采用有限元方法对转子系统进行模态分析，获得了转子系统的临界转速和振型．模态分析结果表明：泵运行在5～6阶固有频率之间，但未完全满足柔性转子安全设计要求，仍然存在安全隐患．提出改进转轴惯性矩、轴承支撑位置来提高转子系统的固有频率，以确保分子泵的安全运行．获得的转子系统模态，对涡轮分子泵启动加速和停车减速过程控制策略制定、减弱或回避共振带来的安全隐患、提高分子泵使用寿命具有参考价值．
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关键词
涡轮分子泵
转子系统
临界转速
模态分析
有限元法
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职称材料
程控无油超高真空排气台的研制
被引量：
3
2
作者
米伦
李晓勇
+1 位作者
王远
李建
《真空与低温》
2005年第3期170-174,共5页
由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制。介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功...
由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制。介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计。排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80。程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求。
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关键词
无油超高真空系统
真空度
程控工艺
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职称材料
题名
基于有限元方法的涡轮分子泵转子系统模态分析
被引量：
3
1
作者
王晓冬
孙妍
方立武
李晓勇
机构
东北大学机械工程与自动化学院
北京利方达真空技术有限责任公司
出处
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014年第3期411-414,共4页
基金
中澳国际合作项目(75113000)
辽宁省自然科学基金资助项目(20102073)
教育部留学回国博士基金资助项目(12933040)
文摘
以FB-一1500型涡轮分子泵为分析原型，依据分子泵转子系统形状、尺寸、材料、支承形式以及质量分布，建立了分子泵转子系统几何模型．采用有限元方法对转子系统进行模态分析，获得了转子系统的临界转速和振型．模态分析结果表明：泵运行在5～6阶固有频率之间，但未完全满足柔性转子安全设计要求，仍然存在安全隐患．提出改进转轴惯性矩、轴承支撑位置来提高转子系统的固有频率，以确保分子泵的安全运行．获得的转子系统模态，对涡轮分子泵启动加速和停车减速过程控制策略制定、减弱或回避共振带来的安全隐患、提高分子泵使用寿命具有参考价值．
关键词
涡轮分子泵
转子系统
临界转速
模态分析
有限元法
Keywords
turbo-molecular pump
rotor system
critical speed
modal analysis
finite-elementmethod
分类号
TB752.27 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
程控无油超高真空排气台的研制
被引量：
3
2
作者
米伦
李晓勇
王远
李建
机构
中国工程物理研究院电子工程研究所
北京利方达真空技术有限责任公司
出处
《真空与低温》
2005年第3期170-174,共5页
文摘
由外冷式吸附泵作为前级泵、溅射离子泵作为主抽真空泵构成无油超高真空系统,采用计算机控制技术,以真空度为工艺进程判据,对器件进行烘烤排气,实现电真空器件的真空排气工艺的自动控制。介绍了无油超高真空系统、控制系统、烘箱与热功率以及软件的设计。排气台为多工位结构,具有气体质谱分析和充气功能;空载时极限真空度优于8×10-7Pa;烘箱烘烤温度为25～600℃,连续可调,恒温精度优于±1%;分析质量数为1～80。程控排气台设计合理,操作简便,计算机控制技术精细了工艺过程控制量,排除了人为因素,其性能稳定可靠,可满足使用要求。
关键词
无油超高真空系统
真空度
程控工艺
Keywords
oil free high vacuum system
vacuum degree
programmed control
分类号
TP273 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TB751 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
基于有限元方法的涡轮分子泵转子系统模态分析
王晓冬
孙妍
方立武
李晓勇
《东北大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2014
3
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下载PDF
职称材料
2
程控无油超高真空排气台的研制
米伦
李晓勇
王远
李建
《真空与低温》
2005
3
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职称材料
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