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采用扫描电镜的ECP技术分析人工合成金刚石晶体中的晶体缺陷 被引量:1
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作者 朱衍勇 廖乾初 《电子显微学报》 CAS CSCD 1995年第5期369-372,共4页
本文应用扫描电镜的ECP技术对人造金刚石晶体表面的位错密度,进行了实验分析,并同位错蚀坑分析技术的测量结果进行了比较。结果表明:如采用临界束流强反作为描述ECP本征衬度的参数,则它同位错密度间存在明显定量的数学关系。... 本文应用扫描电镜的ECP技术对人造金刚石晶体表面的位错密度,进行了实验分析,并同位错蚀坑分析技术的测量结果进行了比较。结果表明:如采用临界束流强反作为描述ECP本征衬度的参数,则它同位错密度间存在明显定量的数学关系。因此上述临界束流强度可用来评价晶体中位错密度的相对变化。 展开更多
关键词 金刚石 ECP技术 蚀坑技术 人造金刚石 晶体缺陷
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