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关于大学生科技创新实施效果的思考 被引量:19
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作者 殷树娟 《实验技术与管理》 CAS 北大核心 2013年第9期35-37,共3页
随着国家对应用型人才需求的增加,大学生科技创新实践活动在高校中也日益受到重视。以集成电路设计专业大学生科技创新实践活动为例,详细分析大学生科技创新实践活动取得的成果以及存在的问题,并在此基础上,结合我国本科教学现状给出以... 随着国家对应用型人才需求的增加,大学生科技创新实践活动在高校中也日益受到重视。以集成电路设计专业大学生科技创新实践活动为例,详细分析大学生科技创新实践活动取得的成果以及存在的问题,并在此基础上,结合我国本科教学现状给出以应用型创新型人才为培养目标的大学生科技创新实践活动的改革方案。 展开更多
关键词 大学生科技创新 实践教学 应用创新型人才 集成电路设计
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基于递归分析和Stacking集成学习的轴承故障诊断方法
2
作者 黄静静 武文媗 +2 位作者 田宇 王灿 王茂发 《南京信息工程大学学报》 北大核心 2025年第2期235-244,共10页
为了更加有效地挖掘滚动轴承信号中所具有的非线性信息并提高轴承故障诊断的准确率,提出一种基于递归分析和Stacking集成学习的轴承故障诊断方法.通过递归分析理论将轴承信号中的非线性信息映射到二维递归图中,分别从图像识别和递归定... 为了更加有效地挖掘滚动轴承信号中所具有的非线性信息并提高轴承故障诊断的准确率,提出一种基于递归分析和Stacking集成学习的轴承故障诊断方法.通过递归分析理论将轴承信号中的非线性信息映射到二维递归图中,分别从图像识别和递归定量分析的角度出发,对应建立了卷积神经网络和支持向量机两个子模型.使用Stacking方法将两个模型进行集成,可以在一定程度上结合两个模型的不同特点,充分发挥两个不同模型的优势.实验结果表明,该方法可以有效提高轴承振动信号的分类准确率,并在不同负载条件下表现出色且稳定,为轴承故障诊断提供了一种可靠的解决方案. 展开更多
关键词 故障诊断 滚动轴承 递归分析 Stacking集成学习
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基于相似性的个性化联邦学习模型聚合框架 被引量:2
3
作者 武文媗 王灿 +2 位作者 黄静静 吴秋新 秦宇 《计算机应用研究》 北大核心 2025年第1期125-132,共8页
传统联邦学习中经过加权聚合得到的全局模型无法应对跨客户端的数据异构的问题。现有研究通过形成个性化模型应对,但个性化模型如何平衡全局的共性信息和本地的个性信息是一个挑战。针对上述问题,提出了一种个性化联邦学习模型聚合框架F... 传统联邦学习中经过加权聚合得到的全局模型无法应对跨客户端的数据异构的问题。现有研究通过形成个性化模型应对,但个性化模型如何平衡全局的共性信息和本地的个性信息是一个挑战。针对上述问题,提出了一种个性化联邦学习模型聚合框架FedPG(federated learning with personalized global model)。FedPG基于客户端模型的相似性,将归一化后的模型参数变化量的余弦相似度作为模型聚合的个性化权重,从而实现面向客户端的全局模型个性化聚合。通过引入平滑系数,该框架可以灵活地调整模型中共性信息和个性信息的比重。为了降低平滑系数的选择成本,进一步提出调度平滑系数的个性化联邦学习模型聚合框架FedPGS(federated learning with personalized global model and scheduled personalization)。在实验中,FedPG和FedPGS两个框架使得FedAvg、FedProto、FedProx算法在特征分布偏移的数据集上的准确率平均提升1.20~11.50百分点,且使得模型的准确率受恶意设备的影响更小。结果表明,FedPG和FedPGS框架在数据异构和存在恶意设备干扰的情况下能有效提升模型的准确率和鲁棒性。 展开更多
关键词 个性化联邦学习 余弦相似度 数据异构 模型聚合 恶意设备
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一种高品质因子模态局域化MEMS电场传感器
4
作者 王贵杰 储昭志 +5 位作者 杨鹏飞 冉莉芳 彭春荣 李建华 张波 闻小龙 《电子与信息学报》 北大核心 2025年第6期2015-2022,共8页
高性能微机电系统电场传感器是大气电场及非接触电压测量的核心部件,模态局域化效应可显著提升传感器的分辨力等性能,是电场传感器的重要发展方向。然而,基于弱耦合的谐振系统在品质因子较低时会出现模态混叠现象,难以读取有效振幅信息... 高性能微机电系统电场传感器是大气电场及非接触电压测量的核心部件,模态局域化效应可显著提升传感器的分辨力等性能,是电场传感器的重要发展方向。然而,基于弱耦合的谐振系统在品质因子较低时会出现模态混叠现象,难以读取有效振幅信息。该文提出一种高品质因子的新型模态局域化MEMS电场传感结构,采用双端音叉设计和T形系绳固定锚点的结构以减少能量损耗,实现了高品质因子和高分辨力,有效避免了模态混叠现象。对该结构进行了理论分析和数值模拟,制备了传感器原理样机,在10-3Pa气压下对传感器进行了性能测试。测试结果表明,在0~90 kV/m电场强度范围内,电场传感器分辨力达32(V/m)/√Hz,品质因子达42423。 展开更多
关键词 模态局域化 微机电系统 电场传感器 高品质因子 T形系绳 双端音叉
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双金属板高灵敏压电换能器的研究
5
作者 朱永基 王宏伟 于肇贤 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第1期64-67,共4页
为有效提高水声换能器的接收灵敏度,在1-3型压电复合材料的基础上,提出了一种双金属板压电陶瓷柱阵列结构材料,即压电陶瓷柱阵列间不添加聚合物,并在上下端面粘接金属板,从而减少了压电柱间的横向耦合,减小损耗,提高了厚度振动机电耦合... 为有效提高水声换能器的接收灵敏度,在1-3型压电复合材料的基础上,提出了一种双金属板压电陶瓷柱阵列结构材料,即压电陶瓷柱阵列间不添加聚合物,并在上下端面粘接金属板,从而减少了压电柱间的横向耦合,减小损耗,提高了厚度振动机电耦合系数,同时利用声压应力放大作用提高了接收灵敏度。仿真结果表明,该结构的机电耦合系数达到0.67,相比纯压电材料与1-3型压电复合材料,分别提高约52%与9.8%。利用陶瓷切割、打磨基底以及高压粘合金属板等工艺,制备了双金属板结构压电换能器。经水下测量系统测试,发送电压响应达到154.8 dB,接收灵敏度达到-181 dB,与1-3型压电复合材料换能器相比,接收灵敏度有8.5 dB的提高。 展开更多
关键词 压电陶瓷 水声换能器 有限元分析 接收灵敏度
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宽带高频阶梯式复合材料敏感元件的设计
6
作者 魏彤 王宏伟 +1 位作者 于肇贤 井苏杰 《传感技术学报》 北大核心 2025年第1期38-44,共7页
针对水声换能器的工作带宽问题,提出了一种阶梯式压电复合材料敏感元件。该阶梯式压电复合材料采取降低机械品质因数及多模耦合技术等方法,有效地拓展了工作带宽。采取等效电路法对阶梯式压电复合材料中的单个1-3-2型压电复合材料进行... 针对水声换能器的工作带宽问题,提出了一种阶梯式压电复合材料敏感元件。该阶梯式压电复合材料采取降低机械品质因数及多模耦合技术等方法,有效地拓展了工作带宽。采取等效电路法对阶梯式压电复合材料中的单个1-3-2型压电复合材料进行理论分析,得出其基底厚度尺寸与理论谐振频率的关系。接着采用有限元分析软件对单个1-3-2型压电复合材料及阶梯式压电复合材料进行仿真,得到单个1-3-2型压电复合材料基底厚度及陶瓷小柱横截面积与谐振频率的关系,并将仿真与理论对比,合理设计阶梯式压电复合材料的几何尺寸,并制备了阶梯式压电复合材料敏感元件样品。将该敏感元件灌封为换能器并进行水下测试,测试结果与理论及仿真结果相符,其工作频率范围为143 kHz~239 kHz,带宽达到96 kHz,良好实现多模耦合,极大地拓展了工作带宽。 展开更多
关键词 压电复合材料 宽带 有限元分析 多模耦合
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高灵敏压电换能器敏感元件的研究
7
作者 井苏杰 于肇贤 +1 位作者 王宏伟 邵震 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第4期44-47,共4页
研究了一种高灵敏压电换能器敏感元件的优化问题。通过在1-3-2型压电复合材料的陶瓷小柱阵列间不注入聚合物,并在阵列上表面覆盖金属面板的方式,提升了压电敏感元件的机电耦合系数。通过理论分析,有限元仿真和实验分析了不同厚度的黄铜... 研究了一种高灵敏压电换能器敏感元件的优化问题。通过在1-3-2型压电复合材料的陶瓷小柱阵列间不注入聚合物,并在阵列上表面覆盖金属面板的方式,提升了压电敏感元件的机电耦合系数。通过理论分析,有限元仿真和实验分析了不同厚度的黄铜,硬铝和45#钢材质金属面板对换能器敏感元件谐振频率,反谐振频率,以及机电耦合系数的影响。结果表明:对确定的金属面板材质,随着厚度的增加,其谐振频率和反谐振频率均减小;在厚度为0.4~0.6 mm范围内,用黄铜面板制成的压电敏感元件具有较高的机电耦合系数。 展开更多
关键词 1-3-2型压电复合材料 有限元仿真 机电耦合系数 金属面板
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基于Comsol的螺栓预应力对Tonpilz型换能器的影响
8
作者 兰宇丹 夏丽莉 +1 位作者 王宏伟 于肇贤 《传感器与微系统》 北大核心 2025年第7期71-74,80,共5页
为了研究螺栓预应力对Tonpilz型换能器的影响,使用Comsol有限元分析软件建立了施加预应力和不施加预应力的两种Tonpilz型换能器模型。通过理论计算和有限元仿真确定预应力安全范围值,在安全范围内通过调节预应力大小,观察换能器谐振频... 为了研究螺栓预应力对Tonpilz型换能器的影响,使用Comsol有限元分析软件建立了施加预应力和不施加预应力的两种Tonpilz型换能器模型。通过理论计算和有限元仿真确定预应力安全范围值,在安全范围内通过调节预应力大小,观察换能器谐振频率、发送电压响应及辐射声功率变化。结果表明:预应力安全值为6.3 kN左右,换能器谐振频率为43 kHz,发送电压响应为142 dB,-3 dB带宽为10 kHz。与未施加预应力相比,换能器谐振频率提升了13 kHz,辐射声功率提升了0.32 mW,-3 dB带宽提升了5 kHz。 展开更多
关键词 Tonpilz型换能器 螺栓预应力 Comsol 辐射功率
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收发一体平面圆型换能器的研究
9
作者 刘婷 夏丽莉 +1 位作者 王宏伟 兰宇丹 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期294-302,共9页
采用圆盘换能器嵌圆环换能器的方式设计了收发一体的平面圆型换能器,其外部圆环换能器发射信号,内部圆盘换能器接收反射信号。分别对负责发射和接收的两个换能器的谐振频率进行理论分析,理论推导了圆盘换能器的接收灵敏度计算公式。利... 采用圆盘换能器嵌圆环换能器的方式设计了收发一体的平面圆型换能器,其外部圆环换能器发射信号,内部圆盘换能器接收反射信号。分别对负责发射和接收的两个换能器的谐振频率进行理论分析,理论推导了圆盘换能器的接收灵敏度计算公式。利用有限元仿真软件确定内部圆盘水听器(接收换能器)的厚度,并调整其半径以改变面积比,从而分析了不同面积比对收发性能的影响。结果表明,当面积比为0.2时,该收发一体换能器的最大发送电压响应为177 dB,接收灵敏度为-166 dB。 展开更多
关键词 收发一体 发射电压响应 接收灵敏度 有限元 圆环换能器 圆盘换能器
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3-2-2新型压电复合材料的有限元仿真
10
作者 黄仁海 夏丽莉 +2 位作者 王宏伟 杨鹏飞 兰宇丹 《压电与声光》 北大核心 2025年第2期312-318,共7页
为了提升发射电压响应和机电耦合系数以提高压电性能,基于1-3型压电复合材料设计了一种3-2-2陶瓷-空气-聚合物新型复合材料。通过分析压电陶瓷阵列的理论机电特性,结合有限元仿真软件对敏感元件进行建模和物理场计算,确定敏感元件的发... 为了提升发射电压响应和机电耦合系数以提高压电性能,基于1-3型压电复合材料设计了一种3-2-2陶瓷-空气-聚合物新型复合材料。通过分析压电陶瓷阵列的理论机电特性,结合有限元仿真软件对敏感元件进行建模和物理场计算,确定敏感元件的发射电压响应和谐振频率,并对比不同尺寸对应的频率差异以确定聚合物最优尺寸。实验结果表明,相对于传统1-3型压电复合材料,3-2-2型新型复合材料换能器的机电耦合系数提高了0.02,发射电压响应提高了2 dB。因此,3-2-2型新型复合材料有望开发出高性能压电换能器。 展开更多
关键词 1-3型压电复合材料 有限元 发射电压响应 3-2-2型新型压电复合材料 有效机电耦合系数
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基于弱耦合谐振器的高分辨力微型电场传感器设计
11
作者 王若航 李晓南 +1 位作者 顾羽 杨鹏飞 《仪表技术与传感器》 北大核心 2025年第6期1-6,12,共7页
基于弱耦合谐振器振动模态的能量集中效应可实现传感器高灵敏检测。为满足实际应用中对电场传感器高灵敏度和高分辨力的需求,提出了一种基于弱耦合谐振器的微型电场传感器结构设计方案。传感器由封装管壳、电场引入结构、微型放电开关... 基于弱耦合谐振器振动模态的能量集中效应可实现传感器高灵敏检测。为满足实际应用中对电场传感器高灵敏度和高分辨力的需求,提出了一种基于弱耦合谐振器的微型电场传感器结构设计方案。传感器由封装管壳、电场引入结构、微型放电开关和三自由度弱耦合谐振系统组成。重点研究了电场引入结构的高灵敏设计方法,为了解决电场感应电极的静电荷积累问题,提出在敏感结构中设计微型放电开关,进一步提高电场传感器的分辨力和零点稳定性。 展开更多
关键词 MEMS 模态局部化现象 电场引入结构 微型放电开关 灵敏度 分辨力
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聚类失效时间带混合效应的加性乘积风险率模型的统计推断
12
作者 亢芳圆 《应用概率统计》 北大核心 2025年第2期179-196,共18页
在生存分析中,会收集到来自不同医院或治疗中心的聚类数据,每个医院或每个治疗中心称为一个类,在同一个类中的个体具有相似性.本文对这种聚类失效时间建立了加性乘积风险率函数模型,对同一类的个体用一个共同的混合效应项表示类内部的... 在生存分析中,会收集到来自不同医院或治疗中心的聚类数据,每个医院或每个治疗中心称为一个类,在同一个类中的个体具有相似性.本文对这种聚类失效时间建立了加性乘积风险率函数模型,对同一类的个体用一个共同的混合效应项表示类内部的相关性.在统计推断中,利用估计方程的方法对参数进行估计,给出了估计量的大样本理论结果和证明,然后进行数值模拟,验证有限样本下的估计量的表现,并将模型和方法应用到实际数据中进行分析. 展开更多
关键词 聚类失效时间 混合效应 加性乘积模型 估计方程
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基于模态局部化效应的高分辨力微型电场传感器
13
作者 王若航 杨鹏飞 +2 位作者 顾羽 李晓南 彭春荣 《仪器仪表学报》 北大核心 2025年第4期65-76,共12页
模态局部化效应是提高MEMS物理量传感器灵敏度和分辨力的有效途径。然而,由于没有深入研究电场引入方法,导致目前已报道的模态局部化MEMS电场传感器的分辨力没有达到弱电场探测需求。为此,基于模态局部化效应提出一种高分辨力MEMS电场... 模态局部化效应是提高MEMS物理量传感器灵敏度和分辨力的有效途径。然而,由于没有深入研究电场引入方法,导致目前已报道的模态局部化MEMS电场传感器的分辨力没有达到弱电场探测需求。为此,基于模态局部化效应提出一种高分辨力MEMS电场传感器。传感器主要由电场引入结构、三自由度弱耦合谐振系统及封装基座构成,采用浮动分立式高分辨力电场引入结构设计方案,建立理论模型优化结构参数;以三自由度弱耦合谐振器振幅比的算术平方根作为电场传感器的输出,解决非线性输出问题;基于有限元仿真,分析了传感器的振动模态,并研究了电场感应电极的旋转对电场测量带来的影响。在真空条件下对已制备的电场传感器样片进行测试,结果表明:在0~7 kV/m待测电场范围内,传感器的灵敏度为0.068/(kV·m^(-1)),本底噪声为0.0121(V·m^(-1))/Hz;传感器的分辨力优于0.4 V/m,是目前国内外报道的最好水平。此外,在待测电场中旋转电场感应电极,对其灵敏度进行测试;并对传感器的三自由度弱耦合谐振器的模态局部化现象进行深入研究,发现可以通过驱动和扰动不同谐振器控制模态局部化现象发生在特定的谐振器和特定的模态上。 展开更多
关键词 MEMS 模态局部化现象 电场引入结构 灵敏度 分辨力
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基于“5E”的集成电路设计实验教学探索 被引量:4
14
作者 殷树娟 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2024年第11期153-157,共5页
在集成电路设计实验教学中,引入“5E”(Engagement(吸引),Exploration(探究),Explanation(解释),Elaboration(拓展),Evaluation(评价))教学理念,以工程项目为依托,形成“吸引→探索→解释→拓展→评价”的闭环反馈,构建以学生为主体的... 在集成电路设计实验教学中,引入“5E”(Engagement(吸引),Exploration(探究),Explanation(解释),Elaboration(拓展),Evaluation(评价))教学理念,以工程项目为依托,形成“吸引→探索→解释→拓展→评价”的闭环反馈,构建以学生为主体的实验教学模式。在集成电路设计流程框架下,创设工程项目情境并采用“小组协作+个人操作”的混合探究形式,培养学生工程实践能力和主观创造性,基于实验结果拓展理论教学内容并回归工程项目应用,有利于提升学生理论水平和应用创新思维。“过程+结果”导向的分阶段评价方式贯穿闭环反馈的4个阶段,实现全过程、多元化的评价目标,满足了当今社会对于集成电路创新型应用型人才培养的需求。 展开更多
关键词 “5E”教学理念 集成电路设计 工程应用 实践创新 多元化评价
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基于区块链的工业物联网隐私保护协作学习系统 被引量:3
15
作者 林峰斌 王灿 +3 位作者 吴秋新 李涵 秦宇 龚钢军 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2024年第8期2270-2276,共7页
为了在保护数据隐私的前提下,充分利用异构的工业物联网节点数据训练高精度模型,提出了一种基于区块链的隐私保护两阶段协作学习系统。首先,使用分组联邦学习框架,根据参与节点的算力将其划分为不同组,每组通过联邦学习训练一个适合其... 为了在保护数据隐私的前提下,充分利用异构的工业物联网节点数据训练高精度模型,提出了一种基于区块链的隐私保护两阶段协作学习系统。首先,使用分组联邦学习框架,根据参与节点的算力将其划分为不同组,每组通过联邦学习训练一个适合其算力的全局模型;其次,引入分割学习,使节点能够与移动边缘计算服务器协作训练更大规模的模型,并采用差分隐私技术进一步保护数据隐私,将训练好的模型存储在区块链上,通过区块链的共识算法进一步防止恶意节点的攻击,保护模型安全;最后,为了结合多个异构全局模型的优点并进一步提高模型精度,使用每个全局模型的特征提取器从用户数据中提取特征,并将这些特征用作训练集训练更高精度的复杂模型。实验结果表明,该系统在Fashion-MNIST和CIFAR-10数据集上的性能优于传统联邦学习的性能,能够应用于工业物联网场景中以获得高精度模型。 展开更多
关键词 区块链 工业物联网 隐私保护 协作学习 联邦学习 分割学习
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基于联邦学习的医疗数据共享与隐私保护 被引量:3
16
作者 刘振涛 李涵 +1 位作者 吴浪 秦宇 《计算机工程与设计》 北大核心 2024年第9期2577-2583,共7页
针对医疗数据共享中的“数据孤岛”问题,提出一个基于联邦学习的医疗数据共享与隐私保护方案。利用差分隐私技术对各个医疗机构的本地模型参数添加噪声,解决参数泄露的问题;全局模型通过编写的智能合约聚合并上传区块链,避免过度依赖中... 针对医疗数据共享中的“数据孤岛”问题,提出一个基于联邦学习的医疗数据共享与隐私保护方案。利用差分隐私技术对各个医疗机构的本地模型参数添加噪声,解决参数泄露的问题;全局模型通过编写的智能合约聚合并上传区块链,避免过度依赖中心聚合服务器;针对提出的隐私保护方案对差分隐私噪声的添加位置进行实验和讨论。实验结果表明,该方案可以在去中心化的同时保护数据的隐私,达到了较高的准确度,找到了合适的噪声添加位置。 展开更多
关键词 联邦学习 多层区块链 医疗数据共享 差分隐私 聚合 智能合约 隐私保护
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一种改进型1-3-2压电复合材料的研究 被引量:2
17
作者 井苏杰 于肇贤 王宏伟 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第2期223-226,共4页
高质量的压电换能器需要具备较高的机电耦合系数和灵敏度。该文在传统型1-3-2压电复合材料的基础上提出了一种改进型1-3-2压电材料,提高了压电换能器的机电耦合系数和换能器的接收灵敏度。通过有限元仿真分析了不同间距对改进型1-3-2压... 高质量的压电换能器需要具备较高的机电耦合系数和灵敏度。该文在传统型1-3-2压电复合材料的基础上提出了一种改进型1-3-2压电材料,提高了压电换能器的机电耦合系数和换能器的接收灵敏度。通过有限元仿真分析了不同间距对改进型1-3-2压电材料敏感元件的谐振频率、反谐振频率及机电耦合系数的影响,并与传统1-3-2型压电复合材料进行了对比。结果表明,与传统型1-3-2压电复合材料相比,在相同间距条件下,改进型压电材料的机电耦合系数约大0.03。制做的3种不同间距改进型压电材料表明,间距为1 mm的改进型压电材料的机电耦合系数较大,约为0.68。 展开更多
关键词 不同间距 1-3-2型压电复合材料 改进型 谐振频率 反谐振频率 机电耦合系数
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面向车联网的联邦学习模型定制框架及算法改进 被引量:1
18
作者 李翰奇 王小妮 +4 位作者 吴秋新 王灿 吴浪 杜俊龙 秦宇 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2024年第5期1328-1337,共10页
针对车联网联邦学习服务难以满足用户训练个性化模型的需求,提出一种创新性的车联网联邦学习模型定制化服务框架。该框架采用了一种融合设备贡献度和数据集相似性的联邦学习聚合算法,实现了个性化联邦学习。该算法通过不同权重分配方式... 针对车联网联邦学习服务难以满足用户训练个性化模型的需求,提出一种创新性的车联网联邦学习模型定制化服务框架。该框架采用了一种融合设备贡献度和数据集相似性的联邦学习聚合算法,实现了个性化联邦学习。该算法通过不同权重分配方式和相似性计算,使得不同用户可以根据自己的需求和数据特征,选择合适的模型训练方案。该框架还提出了一种双重抽样验证方法,解决了模型性能和可信度问题;此外,利用智能合约支持数据协作,保障了数据的安全性。实验结果表明,提出算法在大多数实验场景中表现出较高的准确率,该框架可以显著提高车联网服务的个性化水平,同时保证模型的准确性和可靠性。 展开更多
关键词 车联网 联邦学习 模型定制 智能合约 聚合算法
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3-2型陶瓷-空气复合材料振动状态的研究 被引量:1
19
作者 井苏杰 于肇贤 +2 位作者 王宏伟 邵震 李林诺 《压电与声光》 CAS 北大核心 2024年第5期716-721,共6页
3-2型陶瓷-空气复合材料是在1-3型压电复合材料的结构基础上改进而来。3-2型压电材料由PZT-5A和空气复合而成。首先使用ANSYS有限元仿真软件的模态分析研究了3-2型压电复合材料做厚度伸缩振动。其次通过谐响应分析了敏感元件在正弦信号... 3-2型陶瓷-空气复合材料是在1-3型压电复合材料的结构基础上改进而来。3-2型压电材料由PZT-5A和空气复合而成。首先使用ANSYS有限元仿真软件的模态分析研究了3-2型压电复合材料做厚度伸缩振动。其次通过谐响应分析了敏感元件在正弦信号激励下的稳态响应,讨论了压电材料陶瓷体积分数对其振动特性的影响,研究了不同体积分数压电陶瓷材料在厚度振动谐振频率下的振动位移。最后通过实验制备了3-2型压电材料的实物样品,使用激光测振仪测量压电振子的振动状况,并对仿真数据进行验证。结果表明,在正弦信号激励下,3-2型复合材料的振动模态为厚度伸缩振动,振动位移最大值为3.840 nm(单位电压下),陶瓷体积占比的变化不会对振动位移产生太大影响。 展开更多
关键词 3-2型陶瓷-空气复合材料 模态分析 谐频响应分析 振动状态
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梳齿结构深刻蚀工艺改进 被引量:1
20
作者 杜广森 张富强 徐锡金 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2024年第2期49-51,56,共4页
梳齿型谐振式传感器对谐振器梳齿的形貌有很高的要求,需要梳齿侧壁很好的垂直度、粗糙度以及片间均匀性等。采用感应耦合等离子体(ICP)深硅刻蚀工艺对具有深宽比较大的梳齿结构进行深刻蚀研究。影响深硅刻蚀的主要因素包括SF_(6)和C_(4)... 梳齿型谐振式传感器对谐振器梳齿的形貌有很高的要求,需要梳齿侧壁很好的垂直度、粗糙度以及片间均匀性等。采用感应耦合等离子体(ICP)深硅刻蚀工艺对具有深宽比较大的梳齿结构进行深刻蚀研究。影响深硅刻蚀的主要因素包括SF_(6)和C_(4)F_(8)气体流量、腔室压力、刻蚀与钝化保护时间、下基板功率等工艺参数,着重研究了片间均匀性、垂直度、粗糙度等影响结构性能的几个方面,得到了宽4.5μm、深70μm的梳齿结构,垂直度为89.7°,侧壁粗糙度46 nm,均匀性1.2%的优化工艺,为高精度MEMS梳齿型传感器的制作提供了基础。 展开更多
关键词 深刻蚀 刻蚀速率 均匀性 粗糙度
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