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光纤法珀腔声传感器理论与仿真分析研究 被引量:3
1
作者 程进 邹小平 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第11期1633-1640,共8页
根据干涉原理,对基于低精细度法珀腔的光纤声传感器的敏感机理进行了理论分析,明确了采用单色光源工作时需要满足正交相位点和小信号的条件。采用ANSYS软件,对敏感声波的振膜进行了预应力振动模态和预应力谐响应有限元分析,仿真了在声... 根据干涉原理,对基于低精细度法珀腔的光纤声传感器的敏感机理进行了理论分析,明确了采用单色光源工作时需要满足正交相位点和小信号的条件。采用ANSYS软件,对敏感声波的振膜进行了预应力振动模态和预应力谐响应有限元分析,仿真了在声波作用下振膜的振动特性,以及其频率响应特性。进一步分析了光纤法珀腔声传感器的灵敏度与材料、结构、光学、电学参量的关系,以及它的动态范围。 展开更多
关键词 光纤声传感器 法珀腔 仿真分析 灵敏度 动态范围
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光纤法-珀腔声传感器温度特性研究
2
作者 程进 王娜 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第12期1276-1281,1288,共7页
利用低精细度法-珀干涉原理,建立了光纤法-珀腔声传感器的温度数学模型,包括干涉光谱随温度变化的关系和声传感器输出信号随温度变化的关系.利用建立的温度数学模型,并通过仿真分析和实验验证,分析了影响光纤法-珀腔声传感器温度特性的... 利用低精细度法-珀干涉原理,建立了光纤法-珀腔声传感器的温度数学模型,包括干涉光谱随温度变化的关系和声传感器输出信号随温度变化的关系.利用建立的温度数学模型,并通过仿真分析和实验验证,分析了影响光纤法-珀腔声传感器温度特性的关键-材料的热膨胀系数差异.提出复合光纤插芯结构,获得较大的热膨胀系数,以补偿腔长的变化,从而使光纤法-珀腔声传感器具有良好温度适应性.对采用复合光纤插芯的光纤法-珀腔声传感器进行了测试,测试结果表明,在-20~+40℃温度范围内,该传感器具有良好的温度适应性. 展开更多
关键词 光纤声传感器 温度特性 热膨胀系数 复合光纤插芯
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气流式水平姿态传感器热敏丝结构的研究 被引量:1
3
作者 杨其锐 朴林华 +2 位作者 赵京京 秦艺 谭家成 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2015年第5期1-3,共3页
文中对比研究了气流式水平姿态传感器二丝和三丝两种热敏感丝结构。利用FLUENT-CFD软件,通过建立模型、划分网格、求解等途径,分别计算了二丝结构和三丝结构的气流式水平姿态传感器在不同倾角和不同热源温度下的敏感元件内的流场。计算... 文中对比研究了气流式水平姿态传感器二丝和三丝两种热敏感丝结构。利用FLUENT-CFD软件,通过建立模型、划分网格、求解等途径,分别计算了二丝结构和三丝结构的气流式水平姿态传感器在不同倾角和不同热源温度下的敏感元件内的流场。计算结果表明,三丝结构传感器对倾角变化的速度灵敏度Δv/Δθ为0.383 1×10^-3m/(s·°),二丝结构的为0.248 7×10^-3m/(s·°);三丝结构传感器的倾角测量范围为0-30°,二丝结构的为0-20°;三丝结构传感器敏感元件内部的速度差变化量随热源温度变化的变化率为0.89×10^-5m/(s·℃),二丝结构的为7.5×10^-5m/(s·℃),三丝结构气流式水平姿态传感器在敏感倾角和温度方面的性能优于二丝结构。 展开更多
关键词 气流式水平姿态传感器 灵敏度 倾角 热源温度
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基于MEMS陀螺的旋转弹用姿态传感器的研制 被引量:3
4
作者 吴立锋 严庆文 +2 位作者 徐鸿卓 孙成祥 张福学 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第5期742-745,共4页
旋转弹姿态参数的测量对于精确制导控制有重要的意义,为了检测旋转弹姿态,研制出一种可检测旋转弹姿态的传感器。利用一只重力加速度计和自行研制的MEMS陀螺作为敏感部件,利用MSC1214对两路信号处理,输出旋转弹的滚动、俯仰和偏航的角... 旋转弹姿态参数的测量对于精确制导控制有重要的意义,为了检测旋转弹姿态,研制出一种可检测旋转弹姿态的传感器。利用一只重力加速度计和自行研制的MEMS陀螺作为敏感部件,利用MSC1214对两路信号处理,输出旋转弹的滚动、俯仰和偏航的角速率。设计了传感器的硬件电路和软件的算法。实验结果表明,该传感器可同时敏感3个角速率,测量结果与实际角速率基本吻合,具有一定的实际应用价值。 展开更多
关键词 旋转弹 MEMS陀螺 俯仰 偏航 角速率
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二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器(英文) 被引量:2
5
作者 张福学 赵启凤 +1 位作者 岳萍 郭亨 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第1期27-30,共4页
论述了气体摆的机理,分析了密闭腔中自然对流气体的浮升力及浮升力与温度变化的关系式。该文给出了二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器的结构原理和信号处理电路,并通过对实际制作的两维微机械气体摆式加速度计和倾角传感器样机进... 论述了气体摆的机理,分析了密闭腔中自然对流气体的浮升力及浮升力与温度变化的关系式。该文给出了二维微机械气体摆式加速度计与倾角传感器的结构原理和信号处理电路,并通过对实际制作的两维微机械气体摆式加速度计和倾角传感器样机进行测试。结果表明,在±7 g和±25°时,两维微机械加速度计和微机械倾角传感器的非线性度均小于1%FS。 展开更多
关键词 气体摆 微机械 加速度计 倾角传感器
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高速旋转飞行体姿态传感器信号解调方法 被引量:1
6
作者 吴立锋 严庆文 +2 位作者 徐鸿卓 张伟 张福学 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第6期28-31,共4页
研制的无驱动结构微机械陀螺可同时敏感高速旋转飞行体滚动角速度、输入角速度(俯仰和偏航角速合成的角速度)信息。为了将合角速度分解成偏航角速度和俯仰角速度,利用加速度计建立了空间基准,通过陀螺和加速度计输出信号的相位差,可确... 研制的无驱动结构微机械陀螺可同时敏感高速旋转飞行体滚动角速度、输入角速度(俯仰和偏航角速合成的角速度)信息。为了将合角速度分解成偏航角速度和俯仰角速度,利用加速度计建立了空间基准,通过陀螺和加速度计输出信号的相位差,可确定飞行体空间偏转方向。阐明了该方法原理,分析了误差因素,对主要误差因素滚动角速度与合速度影响建立了复合影响数学模型,并进行了补偿。结果表明:通过该方法可以确定飞行体空间偏转方向,从而可将俯仰和偏航角速度分解出来。 展开更多
关键词 旋转飞行体 陀螺 俯仰 偏航 角速度
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高精度动态水平姿态传感器系统设计(英文) 被引量:3
7
作者 谈林霞 张福学 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第6期910-914,共5页
水平姿态检测在控制、测量领域发挥着重要作用。实现高精度实时动态检测载体水平姿态既是科技市场的实际需求更是科研工作的挑战,因此设计了高精度动态水平姿态传感器。它主要由微机械倾角传感器、微机械陀螺及其信号处理电路组成,以陀... 水平姿态检测在控制、测量领域发挥着重要作用。实现高精度实时动态检测载体水平姿态既是科技市场的实际需求更是科研工作的挑战,因此设计了高精度动态水平姿态传感器。它主要由微机械倾角传感器、微机械陀螺及其信号处理电路组成,以陀螺来补偿载体行进中带来的各种线加速度干扰,实现移动载体的水平姿态高精度检测。以高精度与实时动态检测为核心,介绍了该系统的总体方案设计,电源转换、敏感信号预处理与模数转换、信号处理及输出的硬件设计和软件处理基本方法,并在设计完成后组装调试。系统测试表明该水平姿态检测系统设计取得预期效果,满足高精度实时动态检测载体水平姿态的设计需求。 展开更多
关键词 微机械 倾角传感器 陀螺 水平姿态 动态检测
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无驱动微机械陀螺敏感元件模态分析 被引量:4
8
作者 张增平 张福学 +2 位作者 张伟 刘宇 张宁 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2014年第5期655-659,共5页
鉴于常规微机械陀螺的驱动结构和检测结构往往需要进行频率匹配,造成带宽较窄,工艺复杂的问题,设计了一种新的微机械陀螺,安装于旋转飞行器上,利用飞行器的旋转获得角动量,敏感飞行器的偏航和俯仰横向角速度。由于没有驱动结构,所以结... 鉴于常规微机械陀螺的驱动结构和检测结构往往需要进行频率匹配,造成带宽较窄,工艺复杂的问题,设计了一种新的微机械陀螺,安装于旋转飞行器上,利用飞行器的旋转获得角动量,敏感飞行器的偏航和俯仰横向角速度。由于没有驱动结构,所以结构简单,带宽较宽。首先基于这种巧妙的结构建立了敏感元件的振动方程。根据振动方程,扭转梁是影响质量振动模态和模态频率的关键,同时考虑到应力、残余应力的释放以及工作能力,扭转梁设计成横截面积为矩形的弧形梁,并对其抗扭刚度进行了解析推导和计算,从而确定了敏感元件的固有频率。接着利用有限元分析的方法,对其振动模态进行了仿真,仿真结果表明,敏感元件的第一模态是扭转振动,固有频率相对于解析结果的误差为9.86%。为了进一步验证,设计了静电驱动电容检测的方法,实验测试得到的谐振频率和解析值的相对误差为5.21%。仿真和实验结果与理论计算一致,表明扭转梁的设计是合理的,模态分析是正确的,而且为动态性能评估和结构优化提供了理论依据。 展开更多
关键词 敏感元件 扭转梁 扭转刚度 固有频率
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基于法布里-珀罗干涉仪的高灵敏度光纤传声器 被引量:3
9
作者 赵龙江 冯杰 +2 位作者 程进 冯晖 邹小平 《北京理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第12期1294-1298,共5页
论文系统完整地描述了基于法布里-珀罗干涉仪的高灵敏度光纤传声器的研究,内容包括法布里-珀罗干涉仪、光强度解调和电压输出.根据基本原理分析和计算,通过对结构紧凑传感头、放大的自发辐射(ASE)宽带光源与密波分复用器(DWDM)选配组合... 论文系统完整地描述了基于法布里-珀罗干涉仪的高灵敏度光纤传声器的研究,内容包括法布里-珀罗干涉仪、光强度解调和电压输出.根据基本原理分析和计算,通过对结构紧凑传感头、放大的自发辐射(ASE)宽带光源与密波分复用器(DWDM)选配组合的相干光源以及跨阻和前置放大电路的设计,制作完成了光纤传声器.该光纤传声器具有高灵敏度值为247mV/Pa,在频率范围30Hz^4kHz内的平坦度小于2dB,以及高信噪比和低总谐波失真. 展开更多
关键词 法布里-珀罗干涉仪 光强解调 DWDM 光纤传声器 高灵敏度
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旋转载体驱动的硅微机械陀螺误差研究
10
作者 文江川 王领 +1 位作者 王家光 张福学 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2009年第2期172-174,177,共4页
根据陀螺敏感元件的动力学方程,论证了导致陀螺误差的4个不稳定参数。其中,载体旋转角速度和气体阻尼系数不稳定是主要影响参数。实验结果表明,在低气体阻尼系数情况下,陀螺由于载体旋转角速度不稳定导致输出信号的相对误差高于30%。根... 根据陀螺敏感元件的动力学方程,论证了导致陀螺误差的4个不稳定参数。其中,载体旋转角速度和气体阻尼系数不稳定是主要影响参数。实验结果表明,在低气体阻尼系数情况下,陀螺由于载体旋转角速度不稳定导致输出信号的相对误差高于30%。根据动力学方程建立的二元回归数学模型,得到的相对误差与实验结果相吻合,即理论论证和实验验证相一致。 展开更多
关键词 微机械陀螺 旋转载体 误差分析 回归分析
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用于旋转弹体态测量的硅微机械陀螺理论和实验研究(英文)
11
作者 严庆文 张福学 吴立锋 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第2期210-214,218,共6页
报道了无驱动结构的硅微机械陀螺,该陀螺用于测量旋转弹圆锥运动时的姿态角和姿态角速率。陀螺的结构决定了其可同时敏感旋转弹在滚动、偏航和俯仰3个方向上的角速度。分析了陀螺的敏感机理并提出了陀螺信号的解算方法。通过模拟圆锥运... 报道了无驱动结构的硅微机械陀螺,该陀螺用于测量旋转弹圆锥运动时的姿态角和姿态角速率。陀螺的结构决定了其可同时敏感旋转弹在滚动、偏航和俯仰3个方向上的角速度。分析了陀螺的敏感机理并提出了陀螺信号的解算方法。通过模拟圆锥运动的实验,证明了陀螺敏感机理和解调方法的正确性。最后给出了主要性能指标。 展开更多
关键词 硅微机械陀螺 圆锥运动 旋转弹
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SAW谐振器传播属性的有限元仿真
12
作者 黄小林 曹培 朱嘉林 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2012年第4期501-504,共4页
首先从理论上阐述了声表面波(SAW)谐振器传播属性的有限元分析(FEA)法;然后利用ANSYS软件,对ST切石英晶片的SAW谐振器进行模态分析和谐响应分析;最后处理仿真结果并得到结论:通过合成表面节点横向和纵向的模态位移得出SAW中质点的运动... 首先从理论上阐述了声表面波(SAW)谐振器传播属性的有限元分析(FEA)法;然后利用ANSYS软件,对ST切石英晶片的SAW谐振器进行模态分析和谐响应分析;最后处理仿真结果并得到结论:通过合成表面节点横向和纵向的模态位移得出SAW中质点的运动轨迹是椭圆,通过模态频率和对应的波长算出SAW在ST切石英晶片中的传播速度,通过分析纵向节点模态位移得出SAW的能量集中在距表面2个波长深度的范围内,通过幅频特性图得出谐振器在SAW频率处具有最大的频率响应。这些结论与理论基本一致,为设计SAW器件和研究SAW传感器提供了仿真依据。 展开更多
关键词 声表面波(SAW)谐振器 传播属性 有限元 ST切石英
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基于涡致振动的T型悬臂梁压电俘能结构的仿真与实验研究 被引量:6
13
作者 李莉 林杉杉 +2 位作者 王军 王永耀 于慧慧 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2021年第7期32-37,共6页
为了解决微型传感器等低功耗产品稳定持续的供能问题,提出了一种基于涡致振动的小型单自由度T型悬臂梁压电俘能结构。通过流固耦合和压电耦合仿真,对风速、前置阻流体形状和尺寸以及间距直径比等参数与俘能结构输出电压的关系进行了研究... 为了解决微型传感器等低功耗产品稳定持续的供能问题,提出了一种基于涡致振动的小型单自由度T型悬臂梁压电俘能结构。通过流固耦合和压电耦合仿真,对风速、前置阻流体形状和尺寸以及间距直径比等参数与俘能结构输出电压的关系进行了研究,并与风洞实验数据进行了对比。仿真与实验结果表明,T型悬臂梁压电俘能结构产生的电压随风速的增大而增大。当风速为6.5 m·s-1,阻流体为直径0.02 m、高0.05 m的圆柱体,与压电悬臂梁的间距直径比为2时,实验测得俘能结构产生的电压和输出功率最大分别为1.02 V和1.04μW。仿真和实验结果为实际研制风中涡致振动压电能量收集结构提供了重要参考。 展开更多
关键词 涡致振动 压电能量收集 悬臂梁 ADINA 风洞实验
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无驱动结构微机械陀螺理论分析 被引量:5
14
作者 吴立锋 严庆文 +3 位作者 徐鸿卓 孙成祥 张伟 张福学 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期196-200,共5页
应用欧拉动力学基本方程,对无驱动结构的硅微机械陀螺进行了理论分析,推导出陀螺在俯仰和偏航角速度同时存在情况下的动力学方程,建立了陀螺输出信号的数学模型。理论分析了陀螺输出信号的特点以及与俯仰、偏航角速度的关系。最后,通过... 应用欧拉动力学基本方程,对无驱动结构的硅微机械陀螺进行了理论分析,推导出陀螺在俯仰和偏航角速度同时存在情况下的动力学方程,建立了陀螺输出信号的数学模型。理论分析了陀螺输出信号的特点以及与俯仰、偏航角速度的关系。最后,通过实物仿真实验,验证了推导的正确性,为无驱动结构陀螺的应用提供了理论指导。 展开更多
关键词 微机械陀螺 动力学方程 频谱分析 俯仰 偏航 角速度
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有限元法分析1-3型压电复合材料换能器 被引量:6
15
作者 李莉 王丽坤 秦雷 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2015年第3期441-445,共5页
1-3型压电复合材料圆柱型换能器由薄片状1-3型压电复合材料沿金属薄壁圆管周期排列粘贴而成。根据换能器实际结构和1-3型压电复合材料等效参数模型,利用有限元法在ANSYS中分别建立了两种仿真模型。为验证等效参数模型的可靠性,实验通过... 1-3型压电复合材料圆柱型换能器由薄片状1-3型压电复合材料沿金属薄壁圆管周期排列粘贴而成。根据换能器实际结构和1-3型压电复合材料等效参数模型,利用有限元法在ANSYS中分别建立了两种仿真模型。为验证等效参数模型的可靠性,实验通过改变模型结构尺寸,使换能器内半径从20mm变化到50mm,每5mm作为一个数据点进行建模。仿真计算相同结构尺寸下两种模型的径向振动频率,比较显示两种模型仿真结果接近,平均相对误差仅2.3%。因此,可利用模型II代替模型I对1-3型压电复合材料圆柱型换能器进行仿真分析,从而简化建模和计算。在此基础上,利用模型II分别模拟了该种换能器在空气和水中径向振动频率附近的导纳、发射电压响应和接收电压灵敏度等性能。 展开更多
关键词 水声换能器 1-3型压电复合材料 圆柱形换能器 建模 有限元仿真
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无驱动硅微机械陀螺 被引量:6
16
作者 张福学 张伟 严庆文 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2008年第6期660-663,共4页
报道了无驱动结构硅微机械陀螺,推导了输出电压方程。从方程表达式可看出,该陀螺输出信号包含旋转载体的偏航和俯仰角速度及自旋角速度的信息。通过实验说明如何在输出信号中提取相关信息,即输出信号的频率表示载体自旋角速度的平均值,... 报道了无驱动结构硅微机械陀螺,推导了输出电压方程。从方程表达式可看出,该陀螺输出信号包含旋转载体的偏航和俯仰角速度及自旋角速度的信息。通过实验说明如何在输出信号中提取相关信息,即输出信号的频率表示载体自旋角速度的平均值,输出信号的包络表示载体偏航和俯仰角速度大小的瞬时值,输出信号的极性由输出波形的相位超前和滞后确定。最后给出该陀螺目前所达到的主要性能指标。 展开更多
关键词 陀螺 微机械 角速度
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Cymbal单元的薄型低频宽带水声发射换能器设计 被引量:4
17
作者 唐俊 秦雷 王同庆 《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期281-285,共5页
为了研究安装方便、便于携带的薄型低频发射换能器,使用有限元法对Cymbal换能器单元的设计结构进行了仿真分析,并将换能器单元的谐振频率与实际测量值进行了比较.将Cymbal换能器单元进行阵列,设计了一种新型的低于10 kHz薄板型水声发射... 为了研究安装方便、便于携带的薄型低频发射换能器,使用有限元法对Cymbal换能器单元的设计结构进行了仿真分析,并将换能器单元的谐振频率与实际测量值进行了比较.将Cymbal换能器单元进行阵列,设计了一种新型的低于10 kHz薄板型水声发射换能器,对一个厚度为25 mm、辐射面积78.5 cm2的薄板发射换能器实验模型进行了测量与标定.研究结果表明,通过阵列Cymbal换能器单元构建的发射换能器是一种工作在10 kHz以下的薄型低频宽带水声换能器,其发射声源级比尺寸类似的1-3型压电复合材料换能器高20 dB. 展开更多
关键词 CYMBAL换能器 谐振特性 压电复合材料
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无驱动结构硅微机械陀螺的原理分析和性能测试 被引量:2
18
作者 张福学 严庆文 +1 位作者 吴立锋 张伟 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期16-24,共9页
提出了一种利用旋转载体自旋角速度驱动的硅微机械陀螺的结构原理,建立了这种陀螺的数学模型并分析计算了该陀螺的结构动力学参数。理论研究和试验表明,利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺结构原理正确。通过陀螺性能测试,陀螺... 提出了一种利用旋转载体自旋角速度驱动的硅微机械陀螺的结构原理,建立了这种陀螺的数学模型并分析计算了该陀螺的结构动力学参数。理论研究和试验表明,利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺结构原理正确。通过陀螺性能测试,陀螺输出电压与输入角速度成正比。 展开更多
关键词 旋转载体 微机械 陀螺 角速度
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一种适用于旋转弹单通道控制的硅微机械陀螺仪 被引量:2
19
作者 严庆文 张福学 +1 位作者 吴立锋 刘宇 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2009年第5期599-603,共5页
单通道控制是一种简单实用的旋转弹控制方式。通过控制旋转弹的舵面偏转方向,可减小弹体受横向角速率的影响,提高旋转弹的命中率。针对单通道控制方式,提出了一种可用于提供控制信号的硅微机械陀螺仪。陀螺仪无驱动部分,体积小,结构简... 单通道控制是一种简单实用的旋转弹控制方式。通过控制旋转弹的舵面偏转方向,可减小弹体受横向角速率的影响,提高旋转弹的命中率。针对单通道控制方式,提出了一种可用于提供控制信号的硅微机械陀螺仪。陀螺仪无驱动部分,体积小,结构简单。其输出的正弦调幅信号的频率与旋转弹自旋频率相等,幅值与输入横向角速率呈线性关系。通过对陀螺仪输出信号进行线性化处理,可得到用于控制旋转弹舵面换相的等幅不等宽脉冲调宽信号。通过舵面在弹体自旋一周内的四次换相,可同时完成对导弹俯仰和偏航两个方向的控制。 展开更多
关键词 微机械 陀螺仪 旋转弹 单通道控制
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无驱动结构硅微机械陀螺冲击响应信号分析 被引量:1
20
作者 严庆文 张福学 +2 位作者 刘宇 赵辉 张振平 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第5期611-616,共6页
介绍了一种用于旋转飞行器单通道控制的无驱动结构硅微机械陀螺。陀螺利用旋转飞行器的滚转作为驱动,敏感任意方向的横向角速度。在陀螺冲击试验中,陀螺冲击响应信号的幅度和宽度较大。在实际应用中,幅度超过1.5 V、宽度超过100 ms的冲... 介绍了一种用于旋转飞行器单通道控制的无驱动结构硅微机械陀螺。陀螺利用旋转飞行器的滚转作为驱动,敏感任意方向的横向角速度。在陀螺冲击试验中,陀螺冲击响应信号的幅度和宽度较大。在实际应用中,幅度超过1.5 V、宽度超过100 ms的冲击响应信号有能力阻塞旋转飞行器控制信号通道,影响旋转飞行器正常飞行。对陀螺冲击响应信号产生的原因进行了分析,分析表明,由于陀螺摆片偏心,陀螺在受到厚度方向的冲击时摆片绕扭转梁发生了偏摆。提出了通过增加陀螺扭转梁厚度的方法,减小陀螺在单位冲击加速度下的摆角幅度。通过实验证明,如果陀螺扭转梁增厚从48μm增加到75μm,陀螺冲击响应信号的幅度和宽度将减小约18倍。 展开更多
关键词 微机械陀螺 冲击响应信号 旋转飞行器 单通道控制
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