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题名旋转载体用硅微机械陀螺的相位研究
被引量:1
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作者
王领
张金科
张福学
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机构
北京信息工程学院传感技术研究中心北京市传感器重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第7期427-429,437,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60472011)
北京市传感器重点实验室资助项目(53062017)
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文摘
介绍了利用旋转载体自身旋转作为驱动力的硅微机械陀螺的相位提取技术。当陀螺的敏感轴平行于载体偏转平面时,硅摆所受的哥氏力最大,输出为正弦信号的峰值;当它的敏感轴和偏转平面垂直时,输出为正弦信号的零值。因此,以载体的自转信号为基准,通过比较输出信号波峰在输入基准坐标中相位的变化可知敏感轴的方向,进而能够确定旋转平面及载体在空间中的偏转方向。
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关键词
旋转载体
硅微机械
陀螺仪
相位
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Keywords
rotating carrier
silicon micromachined
gyroscope
phase
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分类号
V241.5
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺
被引量:17
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作者
张福学
王宏伟
张伟
毛旭
张楠
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机构
北京信息工程学院传感技术研究中心北京市传感器重点实验室
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2005年第2期109-117,共9页
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基金
国家自然科学基金资助项目(60272001)
北京市自然科学基金资助项目(4032010)
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文摘
提出了一种利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺的结构原理,建立了这种陀螺的数学模型并分析计算了该陀螺的结构动力学参数。理论研究和计算机模拟表明,利用旋转载体自身角速度驱动的硅微机械陀螺结构原理正确。
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关键词
旋转载体
微机械
陀螺
角速度
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Keywords
rotating substrate
micro mechanic
gyro
angular rate
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名电化学还原法制备氧化铅纳米棒
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作者
任鹏飞
邹小平
程进
张红丹
李飞
朱光
王茂发
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机构
北京信息工程学院传感技术研究中心北京市传感器重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2007年第7期120-122,共3页
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基金
北京市留学归国人员科技活动择优资助项目(66062021)
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文摘
用电化学还原法制备出氧化铅纳米棒,用SEM、TEM、EDS和XRD研究其微观形貌和晶体结构。实验过程中发现电流密度是影响氧化铅纳米棒生成质量的主要因素。研究结果表明,用电化学还原法制备氧化铅纳米棒的最佳电流密度是30mA/cm2,所制备的氧化铅纳米棒是单晶结构。
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关键词
氧化铅纳米棒
电化学还原
电流密度
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Keywords
lead oxide nanorod
electrochemical reduction
current density
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分类号
TB383
[一般工业技术—材料科学与工程]
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