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金刚石的射频喷射等离子体化学气相沉积及其Ni-N掺杂的研究
1
作者
石彦超
李彬
+6 位作者
李佳君
左勇刚
白旸
刘浩
孙占峰
马殿理
陈广超
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期2670-2678,共9页
对自行设计的RF喷射等离子体增强化学气相沉积系统(RF plasma jet CVD)进行了电子温度和电子密度的模拟计算分析。在优化的参数下进行了金刚石膜体的制备,并应用光发射谱技术(OES)在线分析了等离子体的成分。通过Raman、XRD和SEM分析了...
对自行设计的RF喷射等离子体增强化学气相沉积系统(RF plasma jet CVD)进行了电子温度和电子密度的模拟计算分析。在优化的参数下进行了金刚石膜体的制备,并应用光发射谱技术(OES)在线分析了等离子体的成分。通过Raman、XRD和SEM分析了沉积样品的成分、晶体结构和形貌。通过在反应气体中加入NH3,并利用载气技术将含有Ni元素的金属有机物引入到沉积区,进行了Ni、N共掺杂沉积。利用XPS以及PL谱分析了掺杂样品的化学价键和光致发光特性,结果发现Ni-N价键的存在以及在800 nm附近的光发射峰。
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关键词
化学气相沉积
射频喷射等离子体
金刚石
Ni-N掺杂
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职称材料
题名
金刚石的射频喷射等离子体化学气相沉积及其Ni-N掺杂的研究
1
作者
石彦超
李彬
李佳君
左勇刚
白旸
刘浩
孙占峰
马殿理
陈广超
机构
中国科学院大学材料科学与光电技术学院
电子显微技术联合实验室
北京
科技大学冶金与生态学院
北京中科科仪有限公司
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第10期2670-2678,共9页
基金
国家自然科学基金(51272281)
中科院百人计划和中科院装备研制项目(yz201356)
文摘
对自行设计的RF喷射等离子体增强化学气相沉积系统(RF plasma jet CVD)进行了电子温度和电子密度的模拟计算分析。在优化的参数下进行了金刚石膜体的制备,并应用光发射谱技术(OES)在线分析了等离子体的成分。通过Raman、XRD和SEM分析了沉积样品的成分、晶体结构和形貌。通过在反应气体中加入NH3,并利用载气技术将含有Ni元素的金属有机物引入到沉积区,进行了Ni、N共掺杂沉积。利用XPS以及PL谱分析了掺杂样品的化学价键和光致发光特性,结果发现Ni-N价键的存在以及在800 nm附近的光发射峰。
关键词
化学气相沉积
射频喷射等离子体
金刚石
Ni-N掺杂
Keywords
CVD
RF pasma jet
diamond
Ni-N doping
分类号
O482.31 [理学—固体物理]
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出处
发文年
被引量
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1
金刚石的射频喷射等离子体化学气相沉积及其Ni-N掺杂的研究
石彦超
李彬
李佳君
左勇刚
白旸
刘浩
孙占峰
马殿理
陈广超
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
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