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自润滑衬垫试验数据处理方法及信息系统: 1; 作者陈继刚张进学 +1 位作者范兵利冯小磊《东华大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期478-482,共5页; 针对航空自润滑关节轴承自润滑衬垫试验数据,提出衬垫试验的数据处理方法体系,并具体给出了衬垫磨损数据的平滑处理方法、基于BP神经网络的衬垫磨损时间序列预测方法,以及基于最小二乘支持向量机的衬垫磨损时间序列预测方法,同时,开发... 展开更多; 关键词自润滑衬垫数据处理 BP神经网络最小二乘支持向量机信息系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

离子注入剂量的均匀性检测和校正被引量：7: 2; 作者王迪平伍三忠 +2 位作者孙雪平孙勇王玮琪《微纳电子技术》 CAS 2005年第10期484-486,共3页; 介绍了离子注入机中注入剂量的均匀性检测和校正,着重阐述了均匀性的检测原理、均匀性计算公式、均匀性检测和校正流程及算法。; 关键词离子注入机注入剂量均匀性; 在线阅读下载PDF 职称材料

等离子淋浴在离子注入工艺中的应用被引量：1: 3; 作者彭立波易文杰刘仁杰《微纳电子技术》 CAS 2006年第9期447-450,共4页; 阐述了等离子淋浴技术的工作原理和特点。介绍了在离子注入工艺中采用等离子淋浴来中和晶片表面的电荷积累,可将晶片表面的电荷积累电压控制在安全范围;应用等离子淋浴实现低能离子束的电中性传输,可提高低能离子束的传输效率和束通道... 展开更多; 关键词离子注入等离子淋浴电荷中和传输效率; 在线阅读下载PDF 职称材料

300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计被引量：3: 4; 作者谢均宇杨亚兵孙勇《电子工业专用设备》 2010年第5期26-29,37,共5页; 在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上,阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能;介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路,在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上,引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模... 展开更多; 关键词晶圆传送系统自动控制机械手 TURBO PMAC 有限状态机; 在线阅读下载PDF 职称材料

高能离子注入机离子能量计算方法研究被引量：2: 5; 作者张丛卓祖亮武文杰《电子工艺技术》 2018年第3期160-162,共3页; 主流高能离子注入机基于RF加速结构实现高能离子加速,其离子能量的计算较为复杂。描述了一种基于RF加速结构的高能离子注入机中离子能量的计算方法。该方法基于RF加速原理,使用加速结构的静电场计算数据近似瞬时加速电场,通过简单数值... 展开更多; 关键词离子注入机离子能量射频; 在线阅读下载PDF 职称材料

M5525100-1/UM型大角度离子注入机: 6; 《中国集成电路》 2007年第7期46-47,共2页; 1、产品及其简介 M5525100—1／UM型大角度离子注入机可满足100纳米，8英寸集成电路制造工艺的要求，适合源漏区的大角度晕、袋、栅阈值调整、阱等注入，可获得良好的注入均匀性、重复性。M5525100—1／UN型大角度离子注入机突破了离... 展开更多; 关键词离子注入机大角度集成电路制造工艺 M型电源系统总体设计可靠性设计辅助系统; 在线阅读下载PDF 职称材料

离子注入机减速偏转模块设计及仿真计算研究: 7; 作者张丛李红赛岳腾《电子工业专用设备》 2018年第3期35-39,共5页; 展示了一种应用于低能大束流离子注入机的消除能量污染的减速偏转模块的设计及仿真计算结果,重点介绍了设计思路和对一些关键因素相关的仿真计算结果的分析。仿真计算结果表明所设计的减速偏转模块具有足够的离子束控制能力。; 关键词离子注入机低能减速能量污染; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名自润滑衬垫试验数据处理方法及信息系统: 1; 作者陈继刚张进学范兵利冯小磊; 机构燕山大学机械工程学院燕山大学航空自润滑关节轴承共性技术重点实验室北京中科信电子装备有限公司; 出处《东华大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心 2013年第4期478-482,共5页; 文摘针对航空自润滑关节轴承自润滑衬垫试验数据,提出衬垫试验的数据处理方法体系,并具体给出了衬垫磨损数据的平滑处理方法、基于BP神经网络的衬垫磨损时间序列预测方法,以及基于最小二乘支持向量机的衬垫磨损时间序列预测方法,同时,开发了自润滑衬垫试验数据处理信息系统.通过预测数据与试验数据的对比,验证了预测方法的正确性,信息系统能够有效提高衬垫试验数据的处理水平.; 关键词自润滑衬垫数据处理 BP神经网络最小二乘支持向量机信息系统; Keywords self-lubricating liner data processing BP neural network least square support vectormachine information system; 分类号 TH133.31 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离子注入剂量的均匀性检测和校正被引量：7: 2; 作者王迪平伍三忠孙雪平孙勇王玮琪; 机构北京中科信电子装备有限公司; 出处《微纳电子技术》 CAS 2005年第10期484-486,共3页; 文摘介绍了离子注入机中注入剂量的均匀性检测和校正,着重阐述了均匀性的检测原理、均匀性计算公式、均匀性检测和校正流程及算法。; 关键词离子注入机注入剂量均匀性; Keywords ion implanter implanting dose uniformity; 分类号 TN405.3 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名等离子淋浴在离子注入工艺中的应用被引量：1: 3; 作者彭立波易文杰刘仁杰; 机构北京中科信电子装备有限公司; 出处《微纳电子技术》 CAS 2006年第9期447-450,共4页; 文摘阐述了等离子淋浴技术的工作原理和特点。介绍了在离子注入工艺中采用等离子淋浴来中和晶片表面的电荷积累,可将晶片表面的电荷积累电压控制在安全范围;应用等离子淋浴实现低能离子束的电中性传输,可提高低能离子束的传输效率和束通道的最大传输束流。最后介绍了国外在这两方面的研究应用情况。; 关键词离子注入等离子淋浴电荷中和传输效率; Keywords ion implantation plasma flood charge neutralization transport efficiency; 分类号 TN305.3 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计被引量：3: 4; 作者谢均宇杨亚兵孙勇; 机构北京中科信电子装备有限公司; 出处《电子工业专用设备》 2010年第5期26-29,37,共5页; 文摘在实现了高效晶圆传输全自动控制的基础上,阐述了靶室晶圆传送系统运动部件的结构和各自的功能;介绍了整个晶圆传输控制系统的设计思路,在采用高性能多轴运动控制卡和机械手模块的硬件基础上,引用了有限状态机对系统软件进行了智能化模型设计。; 关键词晶圆传送系统自动控制机械手 TURBO PMAC 有限状态机; Keywords Wafer Transmitter Ion Implanter; 分类号 TN305.3 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高能离子注入机离子能量计算方法研究被引量：2: 5; 作者张丛卓祖亮武文杰; 机构北京中科信电子装备有限公司; 出处《电子工艺技术》 2018年第3期160-162,共3页; 文摘主流高能离子注入机基于RF加速结构实现高能离子加速,其离子能量的计算较为复杂。描述了一种基于RF加速结构的高能离子注入机中离子能量的计算方法。该方法基于RF加速原理,使用加速结构的静电场计算数据近似瞬时加速电场,通过简单数值方法实现离子能量快速计算。计算结果与实验结果和设备标称参数的对比显示,该方法计算精度能够满足指导设备调试的要求。; 关键词离子注入机离子能量射频; Keywords ion implanter ion energy RF; 分类号 TN60 [电子电信—电路与系统]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名M5525100-1/UM型大角度离子注入机: 6; 机构北京中科信电子装备有限公司; 出处《中国集成电路》 2007年第7期46-47,共2页; 文摘 1、产品及其简介 M5525100—1／UM型大角度离子注入机可满足100纳米，8英寸集成电路制造工艺的要求，适合源漏区的大角度晕、袋、栅阈值调整、阱等注入，可获得良好的注入均匀性、重复性。M5525100—1／UN型大角度离子注入机突破了离子注入机设计与制造的关键技术，在离子注入机的总体设计与集成、自动化与可靠性设计等核心技术上取得突破。整机包括束线系统、电源系统、靶室系统、辅助系统、控制系统等五大系统。; 关键词离子注入机大角度集成电路制造工艺 M型电源系统总体设计可靠性设计辅助系统; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名离子注入机减速偏转模块设计及仿真计算研究: 7; 作者张丛李红赛岳腾; 机构北京中科信电子装备有限公司; 出处《电子工业专用设备》 2018年第3期35-39,共5页; 文摘展示了一种应用于低能大束流离子注入机的消除能量污染的减速偏转模块的设计及仿真计算结果,重点介绍了设计思路和对一些关键因素相关的仿真计算结果的分析。仿真计算结果表明所设计的减速偏转模块具有足够的离子束控制能力。; 关键词离子注入机低能减速能量污染; Keywords Ion implanter Low energy Deceleration Energy contamination; 分类号 TN305.3 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	自润滑衬垫试验数据处理方法及信息系统	陈继刚张进学范兵利冯小磊	《东华大学学报（自然科学版）》 CAS CSCD 北大核心	2013	0	在线阅读下载PDF 职称材料
2	离子注入剂量的均匀性检测和校正	王迪平伍三忠孙雪平孙勇王玮琪	《微纳电子技术》 CAS	2005	7	在线阅读下载PDF 职称材料
3	等离子淋浴在离子注入工艺中的应用	彭立波易文杰刘仁杰	《微纳电子技术》 CAS	2006	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	300mm离子注入机靶室晶圆传输控制系统设计	谢均宇杨亚兵孙勇	《电子工业专用设备》	2010	3	在线阅读下载PDF 职称材料
5	高能离子注入机离子能量计算方法研究	张丛卓祖亮武文杰	《电子工艺技术》	2018	2	在线阅读下载PDF 职称材料
6	M5525100-1/UM型大角度离子注入机		《中国集成电路》	2007	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	离子注入机减速偏转模块设计及仿真计算研究	张丛李红赛岳腾	《电子工业专用设备》	2018	0	在线阅读下载PDF 职称材料