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磁悬浮分子泵转子径向位移波动抑制机理的研究
1
作者
温福强
宋铠钰
+2 位作者
孙灵豪
刘强
张嘉伟
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第7期542-549,共8页
针对高转速下磁悬浮分子泵径向位移波动量大极易失稳的问题,提出一种基于磁悬浮分子泵转子结构抑制其径向位移波动的方法。以一台1.5 kW,27720 r/min高速磁悬浮分子泵为例,建立三维计算模型,利用有限元法对转子刚体模态、弯曲模态、临...
针对高转速下磁悬浮分子泵径向位移波动量大极易失稳的问题,提出一种基于磁悬浮分子泵转子结构抑制其径向位移波动的方法。以一台1.5 kW,27720 r/min高速磁悬浮分子泵为例,建立三维计算模型,利用有限元法对转子刚体模态、弯曲模态、临界转速以及挠性支承进行耦合求解,确定转子径向位移波动频率与转速间的变化规律,在此基础上,对磁悬浮分子泵转子结构变化对其径向位移波动的影响进行分析研究,揭示影响磁悬浮分子泵转子径向位移波动的机理,确定磁悬浮分子泵转子径向位移波动频率与转子轴向长度之间的解析关系,通过与研制样机在全转速范围内径向位移波动试验对比分析,验证了仿真计算的准确性。此方法可抑制磁悬浮分子泵转子位移波动频率量在80 Hz以上,为高速磁悬浮分子泵设计提供参考。
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关键词
磁悬浮分子泵
振动
位移波动
有限元
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职称材料
细长管内真空压力分布的算法研究和工程实践
2
作者
陈林
邓高飞
+4 位作者
杨红
刘伟健
王浩为
罗守庚
白文龙
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第5期377-382,共6页
研究针对细长真空管在实际工况中存在的远端压力计算复杂、耗时较长以及管内压力难以测量等技术难题,采用理论推导、数值模拟与实验测试相结合的方法,系统研究了细长真空管内的压力分布规律。结果表明:细长管两端的压差与管路的几何参...
研究针对细长真空管在实际工况中存在的远端压力计算复杂、耗时较长以及管内压力难以测量等技术难题,采用理论推导、数值模拟与实验测试相结合的方法,系统研究了细长真空管内的压力分布规律。结果表明:细长管两端的压差与管路的几何参数相关;且细长真空管内的压力呈现典型的抛物线分布特征,其中泵口侧压力梯度变化最为显著;通过缩短管道长度或增大管径可有效优化管内压力分布。研究成果为真空系统的优化设计提供了理论依据和技术支撑,对提高抽气效率、优化细长管内的真空压力分布以及保证工艺一致性具有重要的工程应用价值。
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关键词
细长管
压力分布
压力梯度
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职称材料
题名
磁悬浮分子泵转子径向位移波动抑制机理的研究
1
作者
温福强
宋铠钰
孙灵豪
刘强
张嘉伟
机构
北京中科九微科技有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第7期542-549,共8页
基金
国家科技重大专项项目。
文摘
针对高转速下磁悬浮分子泵径向位移波动量大极易失稳的问题,提出一种基于磁悬浮分子泵转子结构抑制其径向位移波动的方法。以一台1.5 kW,27720 r/min高速磁悬浮分子泵为例,建立三维计算模型,利用有限元法对转子刚体模态、弯曲模态、临界转速以及挠性支承进行耦合求解,确定转子径向位移波动频率与转速间的变化规律,在此基础上,对磁悬浮分子泵转子结构变化对其径向位移波动的影响进行分析研究,揭示影响磁悬浮分子泵转子径向位移波动的机理,确定磁悬浮分子泵转子径向位移波动频率与转子轴向长度之间的解析关系,通过与研制样机在全转速范围内径向位移波动试验对比分析,验证了仿真计算的准确性。此方法可抑制磁悬浮分子泵转子位移波动频率量在80 Hz以上,为高速磁悬浮分子泵设计提供参考。
关键词
磁悬浮分子泵
振动
位移波动
有限元
Keywords
Magnetic levitation molecular pump
Vibration
Radial displacement fluctuation
Finite element
分类号
TH133 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
细长管内真空压力分布的算法研究和工程实践
2
作者
陈林
邓高飞
杨红
刘伟健
王浩为
罗守庚
白文龙
机构
北京中科九微科技有限公司
出处
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025年第5期377-382,共6页
文摘
研究针对细长真空管在实际工况中存在的远端压力计算复杂、耗时较长以及管内压力难以测量等技术难题,采用理论推导、数值模拟与实验测试相结合的方法,系统研究了细长真空管内的压力分布规律。结果表明:细长管两端的压差与管路的几何参数相关;且细长真空管内的压力呈现典型的抛物线分布特征,其中泵口侧压力梯度变化最为显著;通过缩短管道长度或增大管径可有效优化管内压力分布。研究成果为真空系统的优化设计提供了理论依据和技术支撑,对提高抽气效率、优化细长管内的真空压力分布以及保证工艺一致性具有重要的工程应用价值。
关键词
细长管
压力分布
压力梯度
Keywords
Slender tube
Pressure distribution
Pressure gradient
分类号
TB71 [一般工业技术—真空技术]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
磁悬浮分子泵转子径向位移波动抑制机理的研究
温福强
宋铠钰
孙灵豪
刘强
张嘉伟
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025
0
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职称材料
2
细长管内真空压力分布的算法研究和工程实践
陈林
邓高飞
杨红
刘伟健
王浩为
罗守庚
白文龙
《真空科学与技术学报》
北大核心
2025
0
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职称材料
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