期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
双磁悬浮泵串联技术在超精细清洗机中的应用
被引量：
1
1
作者
张磊
吴仪
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第7期549-553,共5页
化学药液供给系统是晶片清洗机的重要功能单元。其特殊的使用环境,要求动力泵应该具备耐化学腐蚀、不产生污染颗粒、外形尺寸小、而且输出的压力较高和流量较大等特性。重点介绍了磁悬浮泵在65 nm超精细清洗机化学药液供给系统中的使用...
化学药液供给系统是晶片清洗机的重要功能单元。其特殊的使用环境,要求动力泵应该具备耐化学腐蚀、不产生污染颗粒、外形尺寸小、而且输出的压力较高和流量较大等特性。重点介绍了磁悬浮泵在65 nm超精细清洗机化学药液供给系统中的使用情况,包括磁悬浮泵的结构特点、性能参数、控制方式、双泵串联的控制方法以及自主开发的压力-速度闭环控制器,避免了因为环境电磁干扰对速度信号（0～5 V）采集引入的误差。结果显示,药液压力建立快速、无超调,到达目标压力后泵转速稳定,压力闭环控制精度小于工艺压力设定值的1%。
展开更多
关键词
清洗机
磁悬浮泵
双泵串联
压力控制
闭环控制
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
双磁悬浮泵串联技术在超精细清洗机中的应用
被引量：
1
1
作者
张磊
吴仪
机构
清华大学
博士后
流动站
北京七星华创电子股份有限公司博士后工作站
北京
七
星华
创
电子
股份有限公司
集成电路工艺设备研发中心
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2014年第7期549-553,共5页
基金
国家科技重大专项资助项目(2009ZX02005-001)
文摘
化学药液供给系统是晶片清洗机的重要功能单元。其特殊的使用环境,要求动力泵应该具备耐化学腐蚀、不产生污染颗粒、外形尺寸小、而且输出的压力较高和流量较大等特性。重点介绍了磁悬浮泵在65 nm超精细清洗机化学药液供给系统中的使用情况,包括磁悬浮泵的结构特点、性能参数、控制方式、双泵串联的控制方法以及自主开发的压力-速度闭环控制器,避免了因为环境电磁干扰对速度信号（0～5 V）采集引入的误差。结果显示,药液压力建立快速、无超调,到达目标压力后泵转速稳定,压力闭环控制精度小于工艺压力设定值的1%。
关键词
清洗机
磁悬浮泵
双泵串联
压力控制
闭环控制
Keywords
clean tool
magnetically levitated pump
double pumps in series
pressure control
closed loop control
分类号
TP29 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
TN305 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
双磁悬浮泵串联技术在超精细清洗机中的应用
张磊
吴仪
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2014
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
