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题名二氯二氢硅终端纯化器的研制
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作者
孙福楠
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机构
化学工业部光明化工研究所
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出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第6期44-46,共3页
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文摘
采用化学改性的吸附剂和络合剂，能够有效地除去气体中的金属和硼、砷、磷等非金属杂质。纯化后的气体经气相色谱分析表明，化学改性的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用。
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关键词
二氯二氢硅
吸附性
络合剂
纯化
半导体器件
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分类号
TN304.052
[电子电信—物理电子学]
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题名国外特种气体(含空分产品)进展
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作者
梁国仑
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机构
化学工业部光明化工研究所
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出处
《低温与特气》
CAS
1986年第3期1-13,共13页
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文摘
电子工业生存的基础是原材料。世界新技术革命是以微电子技术、生物工程、新型材料、新能源、激光、光导通讯、海洋工程和空间科学等为主要标志，其中以微电子技术为核心。西方主要工业发达国家电子工业已从“新兴工业”发展成国民经济的“基干工业”，
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关键词
特种气体
空分产品
产量
氢气分离
纯化技术
硅烷
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分类号
TQ117
[化学工程—无机化工]
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题名硫氰酸钾在超细卤化银颗粒乳剂中的作用
被引量：1
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作者
姚永纯
史念慈
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机构
大连化学工业部光明化工研究所
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出处
《感光科学与光化学》
CSCD
1996年第2期182-185,共4页
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文摘
硫氰酸钾在超细卤化银颗粒乳剂中的作用姚永纯，史念慈（大连化学工业部光明化工研究所，１１６０３１）（华东理工大学精细化工系，上海２００２３７）关键词感光化学，卤化银，乳剂近年来，超细颗粒照相乳剂逐渐受到人们的注意，这是因为全息术和微电子制版材料的广泛应...
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关键词
照相乳剂
卤化银
化学增感
硫氰酸钾
感光度
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分类号
TQ571.9
[化学工程—精细化工]
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题名氧硫化碳中空气和二氧化碳的气相色谱分析探讨
被引量：1
- 4
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作者
胡光烈
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机构
化学工业部光明化工研究所
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出处
《低温与特气》
CAS
1994年第4期39-41,共3页
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文摘
采用气相色谱热导法检测了氧硫化碳中的空气和二氧化碳杂质．
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关键词
气相色谱
热导检测器
氧硫化碳
空气
二氧化碳
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分类号
O657.71
[理学—分析化学]
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题名低温可变小温差热导装置研制
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作者
于翠芬
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机构
化学工业部光明化工研究所
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出处
《低温与特气》
CAS
1988年第2期73-77,共5页
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文摘
低温可变小温差导热系数测量装置,是采用增大热容量的一种蓄冷器作为可变浮动热沉,利用冷介质的蒸发潜热和自动补偿加热功率,使样品两端温度差控制为10±0.5K,从而可方便地测量液氮至常温范围内任意温度下材料的导热系数,并精确地描述λ-T的依变关系。装置的测量误差<5.5%,标准误差<2%。
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关键词
小温差
可变
低温
研制
热导
导热系数
测量装置
加热功率
自动补偿
蒸发潜热
标准误差
蓄冷器
热容量
温度差
介质
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分类号
O513
[理学—低温物理]
TU832.13
[建筑科学—供热、供燃气、通风及空调工程]
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题名浅议科研用物资的计划管理
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作者
邓晓红
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机构
化学工业部大连光明化工研究所
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出处
《中国流通经济》
北大核心
1991年第6期46-46,共1页
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文摘
科学技术的发展水平代表一个国家生产力的发展水平,科研用物资的计划管理是科学技术研究顺利进行的物质保证。科学技术研究的发展,生产力现代化水平的提高,科研用物资的高科技、高性能、多品种,小用量、多变性等特点就越来越显著。因此,保证科研的顺利进行。
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关键词
计划管理
发展水平
物资
生产力现代化
科学技术研究
国家生产力
高性能
科研
高科技
多变性
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分类号
F25
[经济管理—国民经济]
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题名电子气研制国内、外概况及发展趋势
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作者
曾德辉
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机构
化学工业部光明化工研究所
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出处
《低温与特气》
CAS
1986年第2期1-5,16,共6页
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文摘
大规模和超大规模集成电路研制与生产过程中，需要使用多品种、高质量的特种气体。这些气体统称电子气。
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关键词
电子气
发展趋势
蚀刻气
高纯氨
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分类号
TQ117
[化学工程—无机化工]
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