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题名一种新型压阻式硅微仿生矢量水听器的设计
被引量:24
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作者
乔慧
刘俊
张斌珍
张文栋
熊继军
薛晨阳
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机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
加州伯克利大学机械工程系
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第2期301-304,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(50405025,50535030)
新世纪优秀人才支持计划资助(NCET-04-0259)
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文摘
介绍了一种新型的基于压阻效应的硅微仿生矢量水听器,详细叙述了该矢量水听器的结构设计方法,利用有限元软件ANSYS对矢量水听器结构进行了模态分析,采用振动台标定与低频校准装置测试相结合的方法对水听器进行测试,并给出了检测单元的加速度频响特性曲线和声压灵敏度曲线,以及矢量水听器在水下测试的接收灵敏度曲线和指向性图的测试结果。通过此实验方法,不仅验证了该矢量水听器设计的合理性,而且验证了它适用于低频检测,应用于水声探测具有一定的可行性。实验证明,该矢量水听器的接收灵敏度在500Hz时达到-189.6dB(0dB=1V/μPa),并具有良好的"8"字形的指向性。
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关键词
矢量水听器
压阻式
接收灵敏度
指向性
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Keywords
vector hydrophone
piezoresistive ~ receiving sensitivity
directional pattern
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分类号
TB565.1
[交通运输工程—水声工程]
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题名单质量块的单轴集成惯性测量器件的设计
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作者
马宗敏
石云波
刘俊
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机构
中北大学电子测试技术国家重点实验室
加州伯克利大学机械工程系
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出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2008年第4期600-603,共4页
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基金
新世纪优秀人才支持计划资助(NCET-04-0259)
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文摘
介绍了一种单质量块的单轴集成惯性测量器件的结构,提出一种可以利用一个敏感头同时测量某一方向加速度和陀螺信号的集成测量结构形式;同时建立了单轴集成测量器件的模型,并运用计算机辅助软件对其进行仿真,对惯性测量器件的加速度信号和陀螺信号的产生及仿真进行了阐述;最后,为了保证器件有高的成品率,对测量器件的版图进行了优化设计和修改;为了保证高的检测精度,还就测量器件的后续处理电路进行了研究。
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关键词
单轴集成
建模
仿真
版图
处理电路
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Keywords
signal-axis integrated
modeling
simulation
process map
process circuit
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分类号
TP212.12
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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