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数字微镜器件(DMD)杂散光特性测试方法及装置
被引量：
3
1
作者
姚雪峰
高毅
+5 位作者
龙兵
于晨阳
李文昊
于宏柱
张靖
李晓天
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期339-347,共9页
为了获得数字微镜器件(DMD)的真实光学特性,提出了微镜单元杂散光分布测试方法,并搭建实验装置对2×2阵列区域微镜单元的杂散光分布情况进行测试。提出了一种杂散光测试方法,并针对微镜单元尺寸小、配置方式灵活的特点,设计了汇聚...
为了获得数字微镜器件(DMD)的真实光学特性,提出了微镜单元杂散光分布测试方法,并搭建实验装置对2×2阵列区域微镜单元的杂散光分布情况进行测试。提出了一种杂散光测试方法,并针对微镜单元尺寸小、配置方式灵活的特点,设计了汇聚光斑大小连续可调的照明系统以及可以对微镜单元清晰成像的成像系统。通过实验得到了2×2阵列区域微镜单元的杂散光分布情况。测试结果表明,单个微镜单元中心孔道位置附近反射的能量较强,靠近边缘位置反射的能量则相对较弱。此外,测试区域之外的微镜单元也会反射一部分能量,测试区域内微镜单元杂散光绝对强度最大值出现在中心孔道附近,其灰度值为6.86,紧邻测试区域微镜单元杂散光绝对强度最大值同样也出现在中心孔道附近,其灰度值为4.01,由此可以说明中心孔道位置附近的杂散光较强;测试区域内微镜单元的杂散光相对强度相对较弱,从测试区域边缘开始急剧增大,经过大约两个微镜单元后达到峰值,数值为293.5%,此后开始急剧下降。
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关键词
数字微镜器件
微镜单元
杂散光分析
成像特性
精密测量
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职称材料
题名
数字微镜器件(DMD)杂散光特性测试方法及装置
被引量：
3
1
作者
姚雪峰
高毅
龙兵
于晨阳
李文昊
于宏柱
张靖
李晓天
机构
中国科
学院
长春光学精密机械与物理研究所
中国
刑事
警察学院
痕迹
检验
鉴定技术公安部
重点
实验室
刑事
检验
四川省
高校
重点
实验室
(
四川
警察学院
)
中国电子科技集团公司第十研究所
中国科
学院
大学
出处
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期339-347,共9页
基金
吉林省科技发展计划项目(No.20210203053SF,No.20190302047GX,No.20190201104JC,No.20200404197YY)
刑事检验四川高校重点实验室开放课题(No.2019ZD02)
+3 种基金
国家自然科学基金项目(No.61975255,No.U2006209,No.61505204)
公安部科技强警基础工作专项项目(No.GABJC04)
辽宁省教育厅重大科研经费项目(No.ZGXJ2020002)
中国刑事警察学院科研基金项目(No.D2019036)。
文摘
为了获得数字微镜器件(DMD)的真实光学特性,提出了微镜单元杂散光分布测试方法,并搭建实验装置对2×2阵列区域微镜单元的杂散光分布情况进行测试。提出了一种杂散光测试方法,并针对微镜单元尺寸小、配置方式灵活的特点,设计了汇聚光斑大小连续可调的照明系统以及可以对微镜单元清晰成像的成像系统。通过实验得到了2×2阵列区域微镜单元的杂散光分布情况。测试结果表明,单个微镜单元中心孔道位置附近反射的能量较强,靠近边缘位置反射的能量则相对较弱。此外,测试区域之外的微镜单元也会反射一部分能量,测试区域内微镜单元杂散光绝对强度最大值出现在中心孔道附近,其灰度值为6.86,紧邻测试区域微镜单元杂散光绝对强度最大值同样也出现在中心孔道附近,其灰度值为4.01,由此可以说明中心孔道位置附近的杂散光较强;测试区域内微镜单元的杂散光相对强度相对较弱,从测试区域边缘开始急剧增大,经过大约两个微镜单元后达到峰值,数值为293.5%,此后开始急剧下降。
关键词
数字微镜器件
微镜单元
杂散光分析
成像特性
精密测量
Keywords
DMD
micro-mirror unit
stray light analysis
imaging properties
precision measurement
分类号
TP394.1 [自动化与计算机技术—计算机应用技术]
TH691.9 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
数字微镜器件(DMD)杂散光特性测试方法及装置
姚雪峰
高毅
龙兵
于晨阳
李文昊
于宏柱
张靖
李晓天
《中国光学》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
3
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职称材料
已选择
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引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
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