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仿真技术在半导体和集成电路生产流程优化中的应用
被引量：
1
1
作者
闵春燕
王岩峰
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第10期33-36,共4页
半导体和集成电路制造是一个流程高度复杂,资金高度密集的加工过程。集成电路制造的特殊性表现在产品工序的繁多,对设备的高利用率要求,和“再进入”(Re-entry)的流程特点。这种特殊的工艺流程特点决定了半导体集成电路工序中的排队优...
半导体和集成电路制造是一个流程高度复杂,资金高度密集的加工过程。集成电路制造的特殊性表现在产品工序的繁多,对设备的高利用率要求,和“再进入”(Re-entry)的流程特点。这种特殊的工艺流程特点决定了半导体集成电路工序中的排队优化选择策略比其他制造行业更为复杂,对生产效率和制造周期有更直接的影响。本文通过EXTEND仿真软件对英特尔的一个微型晶圆试验台进行初步研究,来说明计算机仿真手段在半导体集成电路生产流程优化中的作用。
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关键词
仿真技术
半导体
集成电路
EXTEND软件包
制造工艺流程
排队策略
制造周期
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职称材料
题名
仿真技术在半导体和集成电路生产流程优化中的应用
被引量：
1
1
作者
闵春燕
王岩峰
机构
浙江大学应用数学系计算机图形图象研究所
刃之
砺
信息
科技
(
上海
)
公司
出处
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003年第10期33-36,共4页
文摘
半导体和集成电路制造是一个流程高度复杂,资金高度密集的加工过程。集成电路制造的特殊性表现在产品工序的繁多,对设备的高利用率要求,和“再进入”(Re-entry)的流程特点。这种特殊的工艺流程特点决定了半导体集成电路工序中的排队优化选择策略比其他制造行业更为复杂,对生产效率和制造周期有更直接的影响。本文通过EXTEND仿真软件对英特尔的一个微型晶圆试验台进行初步研究,来说明计算机仿真手段在半导体集成电路生产流程优化中的作用。
关键词
仿真技术
半导体
集成电路
EXTEND软件包
制造工艺流程
排队策略
制造周期
Keywords
EXTEND
simulation
semiconductor and IC manufacturing
production sequencing
queuing policies
cycle time reduction
分类号
TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]
TN305 [电子电信—物理电子学]
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作者
出处
发文年
被引量
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1
仿真技术在半导体和集成电路生产流程优化中的应用
闵春燕
王岩峰
《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
2003
1
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