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脉冲激光沉积溅射工艺对CIGS薄膜成分和结构的影响
被引量：
3
1
作者
何杰
丁铁柱
+1 位作者
李丽丽
韩磊
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期347-351,共5页
采用脉冲激光沉积溅射法在玻璃衬底上制备Cu-In-Ga预制膜,后经硒化、退火处理,得到CIGS薄膜。采用X射线衍射仪表征了薄膜的晶体结构,采用扫描电子显微镜和能量散射谱观察和分析了薄膜的表面形貌和元素成分,采用光电子能谱分析了薄膜表...
采用脉冲激光沉积溅射法在玻璃衬底上制备Cu-In-Ga预制膜,后经硒化、退火处理,得到CIGS薄膜。采用X射线衍射仪表征了薄膜的晶体结构,采用扫描电子显微镜和能量散射谱观察和分析了薄膜的表面形貌和元素成分,采用光电子能谱分析了薄膜表面的化学价态。结果表明,预制膜采用玻璃/In/Cu-Ga的叠层顺序且溅射脉冲数为In靶60000,Cu-Ga靶50000的溅射方式,可制备出沿(112)晶向择优生长的CIGS薄膜。
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关键词
脉冲激光沉积
预制膜
CIGS薄膜
硒化
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职称材料
硒化Cu,In双层膜制备CuInSe_2薄膜
被引量：
1
2
作者
王延来
果世驹
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第7期969-973,共5页
采用超声波电沉积方法在钼衬底上制备了Cu,In双层膜,随后硒化得到了CuInAe_2薄膜。采用扫描电镜(AEM)、能谱仪(EDA)和X射线衍射仪(XRD)研究了薄膜的表面形貌、化学成分和相组成。结果表明:利用超声波电沉积可以得到颗粒细小、均匀致密...
采用超声波电沉积方法在钼衬底上制备了Cu,In双层膜,随后硒化得到了CuInAe_2薄膜。采用扫描电镜(AEM)、能谱仪(EDA)和X射线衍射仪(XRD)研究了薄膜的表面形貌、化学成分和相组成。结果表明:利用超声波电沉积可以得到颗粒细小、均匀致密的Cu层和In层;采用不同的工艺参数可以调节双层膜的Cu/In比率;双层膜在130℃下,退火6h后进行硒化,可得到符合化学计量比的CuInAe_2薄膜。
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关键词
CuInSe2薄膜
超声波电沉积
硒化
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职称材料
SDC/YSZ双层电解质薄膜的制备与特性
被引量：
1
3
作者
苏海莹
贾晓静
+3 位作者
许彦彬
刘华艳
范悦
丁铁柱
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第7期1732-1735,共4页
利用脉冲激光沉积技术(PLD)在MgO单晶片基底上制备Ce_(0.8)Sm_(0.2)O_(2-δ)/ZrO_2∶Y_2O_3(SDC/YSZ)双层电解质薄膜。X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)的结果显示SDC/YSZ双层电解质薄膜沿(111)方向择优生长,随着退火温度的升高,...
利用脉冲激光沉积技术(PLD)在MgO单晶片基底上制备Ce_(0.8)Sm_(0.2)O_(2-δ)/ZrO_2∶Y_2O_3(SDC/YSZ)双层电解质薄膜。X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)的结果显示SDC/YSZ双层电解质薄膜沿(111)方向择优生长,随着退火温度的升高,薄膜变得均匀致密,结晶度得到改善,(111)衍射峰强度变大,择优生长取向明显;电化学测量表明,SDC/YSZ双层电解质薄膜的离子电导率比单层YSZ薄膜的离子电导率高。
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关键词
固体氧化物燃料电池(SOFC)
SDC/YSZ双层电解质
离子电导率
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职称材料
题名
脉冲激光沉积溅射工艺对CIGS薄膜成分和结构的影响
被引量：
3
1
作者
何杰
丁铁柱
李丽丽
韩磊
机构
内蒙古大学物理科学与技术学院内蒙古自治区高等学校半导体光伏技术重点实验室
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012年第4期347-351,共5页
基金
内蒙古自然科学重点项目(2010Zd01)
内蒙古高等学校自然科学重点项目(NJ09002)
文摘
采用脉冲激光沉积溅射法在玻璃衬底上制备Cu-In-Ga预制膜,后经硒化、退火处理,得到CIGS薄膜。采用X射线衍射仪表征了薄膜的晶体结构,采用扫描电子显微镜和能量散射谱观察和分析了薄膜的表面形貌和元素成分,采用光电子能谱分析了薄膜表面的化学价态。结果表明,预制膜采用玻璃/In/Cu-Ga的叠层顺序且溅射脉冲数为In靶60000,Cu-Ga靶50000的溅射方式,可制备出沿(112)晶向择优生长的CIGS薄膜。
关键词
脉冲激光沉积
预制膜
CIGS薄膜
硒化
Keywords
Pulsed laser deposition
Precursor layer
CIGS thin films
Selenization
分类号
TM615 [电气工程—电力系统及自动化]
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职称材料
题名
硒化Cu,In双层膜制备CuInSe_2薄膜
被引量：
1
2
作者
王延来
果世驹
机构
内蒙古大学物理科学与技术学院内蒙古自治区高等学校半导体光伏技术重点实验室
北京科技
大学
粉末冶金研究所
出处
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011年第7期969-973,共5页
基金
内蒙古大学高层次人才引进科研启动项目(Z20090144
Z20090120)
文摘
采用超声波电沉积方法在钼衬底上制备了Cu,In双层膜,随后硒化得到了CuInAe_2薄膜。采用扫描电镜(AEM)、能谱仪(EDA)和X射线衍射仪(XRD)研究了薄膜的表面形貌、化学成分和相组成。结果表明:利用超声波电沉积可以得到颗粒细小、均匀致密的Cu层和In层;采用不同的工艺参数可以调节双层膜的Cu/In比率;双层膜在130℃下,退火6h后进行硒化,可得到符合化学计量比的CuInAe_2薄膜。
关键词
CuInSe2薄膜
超声波电沉积
硒化
Keywords
CuInSe2 thin film
uhrasonic-electrodepositing
selenization
分类号
O484.1 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
SDC/YSZ双层电解质薄膜的制备与特性
被引量：
1
3
作者
苏海莹
贾晓静
许彦彬
刘华艳
范悦
丁铁柱
机构
内蒙古大学
物理
科学与
技术
学院
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第7期1732-1735,共4页
基金
国家自然科学基金(11264025)
文摘
利用脉冲激光沉积技术(PLD)在MgO单晶片基底上制备Ce_(0.8)Sm_(0.2)O_(2-δ)/ZrO_2∶Y_2O_3(SDC/YSZ)双层电解质薄膜。X射线衍射仪(XRD)和扫描电子显微镜(SEM)的结果显示SDC/YSZ双层电解质薄膜沿(111)方向择优生长,随着退火温度的升高,薄膜变得均匀致密,结晶度得到改善,(111)衍射峰强度变大,择优生长取向明显;电化学测量表明,SDC/YSZ双层电解质薄膜的离子电导率比单层YSZ薄膜的离子电导率高。
关键词
固体氧化物燃料电池(SOFC)
SDC/YSZ双层电解质
离子电导率
Keywords
SOFC
SDC/YSZ bilayer electrolyte
ion conductivity
分类号
O484 [理学—固体物理]
TM911.4 [电气工程—电力电子与电力传动]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
脉冲激光沉积溅射工艺对CIGS薄膜成分和结构的影响
何杰
丁铁柱
李丽丽
韩磊
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2012
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
硒化Cu,In双层膜制备CuInSe_2薄膜
王延来
果世驹
《太阳能学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
SDC/YSZ双层电解质薄膜的制备与特性
苏海莹
贾晓静
许彦彬
刘华艳
范悦
丁铁柱
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
1
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职称材料
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