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线速度对金刚石线锯及硅片表面质量的影响 被引量:6
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作者 郭俊文 苏宇飞 《工具技术》 2019年第11期63-66,共4页
运用ABAQUS有限元分析软件建立金刚石线切割单晶硅的二维模型,并进行了二维切割仿真。通过改变金刚石单颗磨粒的切削速度,分析了单晶硅材料在不连续切割过程的应力场、切削力及不同切削速度对硅材料损伤层的影响。
关键词 金刚石磨粒 二维切割 切削速度 硅材料
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