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线速度对金刚石线锯及硅片表面质量的影响
被引量:
6
1
作者
郭俊文
苏宇飞
《工具技术》
2019年第11期63-66,共4页
运用ABAQUS有限元分析软件建立金刚石线切割单晶硅的二维模型,并进行了二维切割仿真。通过改变金刚石单颗磨粒的切削速度,分析了单晶硅材料在不连续切割过程的应力场、切削力及不同切削速度对硅材料损伤层的影响。
关键词
金刚石磨粒
二维切割
切削速度
硅材料
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职称材料
题名
线速度对金刚石线锯及硅片表面质量的影响
被引量:
6
1
作者
郭俊文
苏宇飞
机构
内蒙古
中环光伏材料有限公司
内蒙古呼和浩特供电局武川分局
出处
《工具技术》
2019年第11期63-66,共4页
文摘
运用ABAQUS有限元分析软件建立金刚石线切割单晶硅的二维模型,并进行了二维切割仿真。通过改变金刚石单颗磨粒的切削速度,分析了单晶硅材料在不连续切割过程的应力场、切削力及不同切削速度对硅材料损伤层的影响。
关键词
金刚石磨粒
二维切割
切削速度
硅材料
Keywords
diamond grit
two dimensional cutting
cutting speed
silicon materials
分类号
TG717 [金属学及工艺—刀具与模具]
TH161 [机械工程—机械制造及自动化]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
线速度对金刚石线锯及硅片表面质量的影响
郭俊文
苏宇飞
《工具技术》
2019
6
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参考文献
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