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电弧离子镀多层Ti/TiN厚膜组织和力学性能研究
被引量：
9
1
作者
马占吉
武生虎
+2 位作者
肖更竭
任妮
赵栋才
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
2008年第3期26-29,共4页
采用电弧离子镀技术在钛合金(Ti6Al4V)上制备了Ti/TiN/┄/Ti/TiN多层厚膜,膜层厚度为21.6μm～25.6μm,对不同Ti/TiN调制周期的多层膜物相、形貌、附着力和硬度进行了分析。结果表明:随膜层中Ti比例增加,膜层附着力增加,但膜层维氏硬度...
采用电弧离子镀技术在钛合金(Ti6Al4V)上制备了Ti/TiN/┄/Ti/TiN多层厚膜,膜层厚度为21.6μm～25.6μm,对不同Ti/TiN调制周期的多层膜物相、形貌、附着力和硬度进行了分析。结果表明:随膜层中Ti比例增加,膜层附着力增加,但膜层维氏硬度变化不大。
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关键词
电弧离子镀技术
Ti/TiN多层膜
附着力
硬度
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职称材料
题名
电弧离子镀多层Ti/TiN厚膜组织和力学性能研究
被引量：
9
1
作者
马占吉
武生虎
肖更竭
任妮
赵栋才
机构
兰州物理研究所表面工程技术国防重点实验室
出处
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
2008年第3期26-29,共4页
文摘
采用电弧离子镀技术在钛合金(Ti6Al4V)上制备了Ti/TiN/┄/Ti/TiN多层厚膜,膜层厚度为21.6μm～25.6μm,对不同Ti/TiN调制周期的多层膜物相、形貌、附着力和硬度进行了分析。结果表明:随膜层中Ti比例增加,膜层附着力增加,但膜层维氏硬度变化不大。
关键词
电弧离子镀技术
Ti/TiN多层膜
附着力
硬度
Keywords
arc ion plating deposition technology
Ti/TiN multilayered thin film
adhesion, hardness
分类号
TG174.444 [金属学及工艺—金属表面处理]
TH140 [一般工业技术—材料科学与工程]
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1
电弧离子镀多层Ti/TiN厚膜组织和力学性能研究
马占吉
武生虎
肖更竭
任妮
赵栋才
《中国表面工程》
EI
CAS
CSCD
2008
9
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