NiTi合金生物医用材料表面镀类金刚石薄膜的性能研究 被引量：1

1

作者 任妮 马占吉 +2 位作者 肖更竭 武生虎 程峰 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期44-49,共6页

用脉冲电弧离子镀技术在NiTi合金生物材料表面沉积了类金刚石(DLC)薄膜.研究分析结果表明制备的DLC薄膜是四面体非晶碳薄膜;随着DLC薄膜厚度的增加,薄膜的表面粗糙度增加,薄膜中sp3的含量减少;随着sp3含量的增加,薄膜的纳米硬度升高;划... 用脉冲电弧离子镀技术在NiTi合金生物材料表面沉积了类金刚石(DLC)薄膜.研究分析结果表明制备的DLC薄膜是四面体非晶碳薄膜;随着DLC薄膜厚度的增加,薄膜的表面粗糙度增加,薄膜中sp3的含量减少;随着sp3含量的增加,薄膜的纳米硬度升高;划痕实验表明临界载荷大于0.9 N.研究得出:与NiTi合金相比,DLC薄膜能够有效地降低摩擦系数和磨损.DLC薄膜的摩擦系数主要与薄膜的硬度及薄膜中sp3的含量有关,DLC薄膜的磨损主要是轻微的磨粒磨损及疲劳磨损. 展开更多

关键词 NITI合金 类金刚石薄膜 电弧离子镀

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原子氧处理减小多晶PZT-PMN薄膜漏电流的实验研究

2

作者 杨学龙 陈学康 +1 位作者 郭磊 王兰喜 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第9期774-778,共5页

漏电流是铁电薄膜应用过程中的关键问题。本文通过磁控溅射法制备了结晶性能良好的铌镁锆钛酸铅(PZT-PMN)铁电薄膜,并在室温下用原子氧对其进行处理,研究了原子氧对PZT-PMN薄膜表层微观结构和漏电流的影响。实验结果表明:经原子氧处理后... 漏电流是铁电薄膜应用过程中的关键问题。本文通过磁控溅射法制备了结晶性能良好的铌镁锆钛酸铅(PZT-PMN)铁电薄膜,并在室温下用原子氧对其进行处理,研究了原子氧对PZT-PMN薄膜表层微观结构和漏电流的影响。实验结果表明:经原子氧处理后的PZT-PMN薄膜,①表面粗糙度下降且有非晶层形成;②表层有大量的氧原子进入;③漏电流密度减小了大约一个数量级,外加电压为2.5 V时,未处理样品的漏电流密度为3×10-5A/cm2,处理样品的漏电流密度降为4.5×10-6A/cm2。原子氧对PZT-PMN薄膜内部晶界、缺陷的钝化是薄膜漏电流减小的原因。 展开更多

关键词 PZT-PMN薄膜 原子氧 漏电流 晶界

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Si_2C_mN团簇的结构及稳定性的密度泛函理论研究 被引量：6

3

作者 盖志刚 罗崇泰 +1 位作者 陈焘 张平 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期73-77,共5页

用密度泛函理论（DFT）的B3LYP/6-311G＊方法，对Si2CmN（m=2-10）团簇的几何构型、振动频率和基态能量等性质进行了研究，讨论了化学键的特征和热力学稳定性。振动频率和振动强度被用来判断体系的基态结构。结果表明，m=2-10的团簇为... 用密度泛函理论（DFT）的B3LYP/6-311G＊方法，对Si2CmN（m=2-10）团簇的几何构型、振动频率和基态能量等性质进行了研究，讨论了化学键的特征和热力学稳定性。振动频率和振动强度被用来判断体系的基态结构。结果表明，m=2-10的团簇为线性结构，随着m的增大，团簇的自旋多重度均为2，Si原子在C与N原子形成的线性链端部成键，团簇的基态能量近似线性增大。m为偶数的Si2CmN团簇比m为奇数的更为稳定。 展开更多

关键词 Si2CmN团簇 密度泛函理论 稳定性

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薄膜的应力控制技术研究现状 被引量：16

4

作者 蒋钊 陈学康 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第S1期17-21,共5页

薄膜应力普遍存在于薄膜元器件中,从而影响薄膜器件性能,限制了其良好的应用前景。所以控制薄膜的应力,消除其不良影响,是薄膜生产工艺中不可或缺的技术手段。本文对此详细阐述了几种常用的薄膜应力控制方法,并对以后研究工作的开展提... 薄膜应力普遍存在于薄膜元器件中,从而影响薄膜器件性能,限制了其良好的应用前景。所以控制薄膜的应力,消除其不良影响,是薄膜生产工艺中不可或缺的技术手段。本文对此详细阐述了几种常用的薄膜应力控制方法,并对以后研究工作的开展提出几点要求。 展开更多

关键词 薄膜 应力 控制技术

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离子注入空间齿轮传动副用30CrMnSi材料真空摩擦学性能研究 被引量：4

5

作者 蒋钊 周晖 郑军 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期334-339,共6页

通过多种表面测试手段对几种单一及双离子注入空间齿轮传动副用30CrMnSi材料的真空摩擦学性能进行了研究,同时对不同注入条件进行了计算机模拟计算。结果表明,Ti++N+双注入后表面真空摩擦磨损性能相对最好。这主要是由于离子注入引起的... 通过多种表面测试手段对几种单一及双离子注入空间齿轮传动副用30CrMnSi材料的真空摩擦学性能进行了研究,同时对不同注入条件进行了计算机模拟计算。结果表明,Ti++N+双注入后表面真空摩擦磨损性能相对最好。这主要是由于离子注入引起的注入层微观结构变化改变了摩擦磨损机理,从而改善了材料的摩擦学性能。 展开更多

关键词 离子注入 空间齿轮传动副 30CrMnSi 真空摩擦学 摩擦磨损

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密度泛函理论研究SiC_mN团簇 被引量：1

6

作者 盖志刚 罗崇泰 +1 位作者 陈焘 张平 《原子与分子物理学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期849-853,共5页

用密度泛函理论(DFT)的B3LYP/6-311G*方法,对SiC_mN(m=1～7)团簇的几何构型、振动频率和基态能量等性质进行了研究,讨论了化学键的特征和热力学稳定性.振动频率和振动强度被用来判断体系的基态结构.结果表明,m=1～5的团簇为线状结构,m=6... 用密度泛函理论(DFT)的B3LYP/6-311G*方法,对SiC_mN(m=1～7)团簇的几何构型、振动频率和基态能量等性质进行了研究,讨论了化学键的特征和热力学稳定性.振动频率和振动强度被用来判断体系的基态结构.结果表明,m=1～5的团簇为线状结构,m=6、7的团簇为环状结构.m增大过程中,线状团簇自旋多重度均为2,而环状团簇出现2、4和6自旋多重度.能量的二次差分值表明m为奇数的团簇比m为偶数的更为稳定. 展开更多

关键词 SiCmN团簇 密度泛函理论 几何构型 基态

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染料敏化太阳能电池中凝胶电解质的研究 被引量：4

7

作者 陈振宁 赵慨 +1 位作者 吴晓宏 王艳萍 《材料科学与工艺》 CAS CSCD 北大核心 2011年第1期95-98,共4页

为提高染料敏化太阳能电池中电解液的稳定性,对凝胶电解质进行了研究.以1,2-二1甲基-3-丙基咪唑碘(DMPII)作为I-源,以3-甲氧基丙腈作为溶剂,以偏四氟乙烯-六氟丙烯聚合物(P(VDF-HFP))作为胶凝剂,N-甲基苯并咪唑作为添加剂,制备了凝胶电... 为提高染料敏化太阳能电池中电解液的稳定性,对凝胶电解质进行了研究.以1,2-二1甲基-3-丙基咪唑碘(DMPII)作为I-源,以3-甲氧基丙腈作为溶剂,以偏四氟乙烯-六氟丙烯聚合物(P(VDF-HFP))作为胶凝剂,N-甲基苯并咪唑作为添加剂,制备了凝胶电解质.结果表明,随着电解质中DMPII量及碘量的增加,染料敏化太阳能电池的光电转化效率呈现先增大后降低的趋势.当P(VDF-HFP)的质量分数为5%、DMPII及I2的浓度分别为0.8 mol/L及0.04 mol/L时,制备的凝胶电解质染料敏化太阳能电池光电转化效率最高,在100 mW/cm2的模拟太阳光照射下取得开路电压0.703 V,短路电流密度11.81 mA/cm2,填充因子0.618,总的光电转换效率5.13%. 展开更多

关键词 染料敏化太阳能电池 凝胶电解质 1 2-二甲基-3-丙基咪唑碘 光电转化效率

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基于导电聚合物的非制冷辐射热探测技术研究 被引量：1

8

作者 李璟文 陈学康 +1 位作者 曹生珠 王兰喜 《红外技术》 CSCD 北大核心 2010年第7期403-407,共5页

非制冷辐射热探测技术的发展使在室温下进行红外探测成为可能,目前的热探测一般采用无机材料。探讨了导电聚合物聚乙烯二氧噻吩:聚对苯乙烯磺酸(PEDOT:PSS)作为非制冷辐射热探测器敏感材料的可行性,研究了其热敏特性和红外吸收特性,制备... 非制冷辐射热探测技术的发展使在室温下进行红外探测成为可能,目前的热探测一般采用无机材料。探讨了导电聚合物聚乙烯二氧噻吩:聚对苯乙烯磺酸(PEDOT:PSS)作为非制冷辐射热探测器敏感材料的可行性,研究了其热敏特性和红外吸收特性,制备了PEDOT:PSS自支撑悬空微桥单元,并进行了初步测试,在室温下,预计该热探测器响应时间约为12 ms,探测度D*可达3×1010 cm?Hz1/2?W-1,在响应时间与无机材料热探测器相当的情况下,探测度高一个量级以上。 展开更多

关键词 非制冷辐射热探测 导电聚合物PEDOT:PSS 极远红外 亚毫米波

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聚合物表面接枝改性方法和影响因素 被引量：8

9

作者 陈炯枢 陈学康 刘相 《科学技术与工程》 2007年第9期1997-2002,2007,共7页

阐述聚合物表面光引发接枝、辐射接枝、化学接枝等方面近年来的进展,对该项技术的发展提出了一些看法。

关键词 聚合物 表面接枝改性方法 影响因素

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多靶连续卷绕镀膜机溅射室布气均匀性研究 被引量：2

10

作者 冯煜东 王艺 +2 位作者 王志民 速小梅 赵慨 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期40-43,共4页

大面积柔性基底上连续磁控卷绕溅射镀膜技术高速发展.本文主要描述了该类设备在镀膜均匀性方面的不足和关键因素,并着重通过理论计算分析了抽气结构对溅射室压力均匀性的影响,最后提出了优化的充气与抽气管道设计.通过试验证明所设计的... 大面积柔性基底上连续磁控卷绕溅射镀膜技术高速发展.本文主要描述了该类设备在镀膜均匀性方面的不足和关键因素,并着重通过理论计算分析了抽气结构对溅射室压力均匀性的影响,最后提出了优化的充气与抽气管道设计.通过试验证明所设计的可调整的抽气结构能够很好满足镀膜均匀性要求. 展开更多

关键词 磁控溅射 质量流量 流导 抽速 分子流 粘滞流

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连续型衍射透镜激光直写技术研究 被引量：1

11

作者 刘宏开 罗崇泰 +2 位作者 王多书 陈焘 叶自煜 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2006年第z2期53-56,共4页

研究了不同于台阶形式的具有连续浮雕结构的衍射聚光透镜的激光直写工艺。简要描述了光致抗蚀剂的曝光和显影,对激光直写工艺的机理和工艺过程进行阐述.利用 CLWS-300W/C 极坐标激光直写设备制作出了具有良好面形微结构和较高衍射效率... 研究了不同于台阶形式的具有连续浮雕结构的衍射聚光透镜的激光直写工艺。简要描述了光致抗蚀剂的曝光和显影,对激光直写工艺的机理和工艺过程进行阐述.利用 CLWS-300W/C 极坐标激光直写设备制作出了具有良好面形微结构和较高衍射效率的连续型衍射透镜。研究表明,激光直写技术直写精度高,加工工艺灵活,利用计算机的控制,能够根据光学设计产生的浮雕分布数据制作复杂的、任意形状和外形的微型浮雕结构,非常适合于高精度微光学元件的加工制作. 展开更多

关键词 连续型衍射透镜 光致抗蚀剂 激光直写 连续型浮雕结构 微光学元件

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离子束轰击对电子束蒸发制备二氧化钛薄膜应力的影响 被引量：11

12

作者 陈焘 罗崇泰 +1 位作者 王多书 刘宏开 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期164-167,共4页

在硅基底上用电子束蒸发方法制备了二氧化钛薄膜。通过XRD、AFM和薄膜应力测试仪研究了离子束轰击对薄膜应力的影响规律。结果表明沉积温度为323K、沉积速率为0.2nm.s-1时,二氧化钛薄膜具有较小的应力值,平均应力为48.2MPa。用能量为11... 在硅基底上用电子束蒸发方法制备了二氧化钛薄膜。通过XRD、AFM和薄膜应力测试仪研究了离子束轰击对薄膜应力的影响规律。结果表明沉积温度为323K、沉积速率为0.2nm.s-1时,二氧化钛薄膜具有较小的应力值,平均应力为48.2MPa。用能量为113eV的离子束轰击300s时,平均应力由72.9MPa的张应力变为16.7MPa的压应力。二氧化钛薄膜的微观结构变化是影响薄膜应力的主要因素。 展开更多

关键词 二氧化钛 离子束轰击 张应力 压应力 薄膜

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星载光学遥感仪器激光防护薄膜技术 被引量：7

13

作者 熊玉卿 罗崇泰 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第6期902-905,共4页

激光武器的迅速发展使得激光防护技术研究成为必要,目前,破坏卫星上的遥感仪器是激光反卫星的一个主要可能途径。为了有效防护星载遥感仪器,利用光学薄膜方法,可以对氧碘激光进行防护的薄膜,在不影响遥感仪器正常工作的条件下,可将遥感... 激光武器的迅速发展使得激光防护技术研究成为必要,目前,破坏卫星上的遥感仪器是激光反卫星的一个主要可能途径。为了有效防护星载遥感仪器,利用光学薄膜方法,可以对氧碘激光进行防护的薄膜,在不影响遥感仪器正常工作的条件下,可将遥感仪器的激光损伤或致盲阈值提高80倍,大幅度提高了遥感仪器的生存能力。 展开更多

关键词 遥感仪器 激光防护 薄膜 损伤阈值

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有机半导体器件的真空镀膜技术

14

作者 冯煜东 张福甲 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第z1期75-78,共4页

重点论述了在P-Si基底上通过真空沉积技术制备PTCDA/P-Si光电探测器的制备工艺和光电性能.所制备的PTCDA/P-SI有机光电探测器具有良好的稳定性及可靠性,总体性能高于进口的无机半导体光电探测器.

关键词 有机半导体 真空沉积 光电探测器

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直流磁控反应溅射法制备工艺参数对TiO_2薄膜光催化性能的影响(英文)

15

作者 赵琳 邱家稳 何延春 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期857-861,共5页

采用直流磁控反应溅射法在未加热衬底上沉积TiO2薄膜,以紫外灯为光源进行了薄膜光催化降解亚甲基蓝溶液的实验,研究了沉积工艺参数和后处理退火温度对薄膜光催化性能的影响。结果表明:经过500℃退火、厚度较大的薄膜样品光催化效率较高... 采用直流磁控反应溅射法在未加热衬底上沉积TiO2薄膜,以紫外灯为光源进行了薄膜光催化降解亚甲基蓝溶液的实验,研究了沉积工艺参数和后处理退火温度对薄膜光催化性能的影响。结果表明:经过500℃退火、厚度较大的薄膜样品光催化效率较高;膜厚基本相同的样品,沉积时电源功率较小、Ar/O2流量比例较小的薄膜光催化效率较高。 展开更多

关键词 TIO2薄膜 磁控溅射 光催化 制备工艺参数

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薄膜型ESR结构分析与优化

16

作者 韩闯 陈学康 +1 位作者 曹生珠 王熙元 《科学技术与工程》 2009年第14期3954-3959,共6页

对ESR进行了理论分析,并进行计算机模拟分析。在此基础上提出了两种改进的ESR面型结构。模拟结果表明,最可行和有效的提高元件性能的手段是降低电极间距。文章分析了两种新的面型结构,其中两端固支模型下拉电压降为原来的60%左右。四悬... 对ESR进行了理论分析,并进行计算机模拟分析。在此基础上提出了两种改进的ESR面型结构。模拟结果表明,最可行和有效的提高元件性能的手段是降低电极间距。文章分析了两种新的面型结构,其中两端固支模型下拉电压降为原来的60%左右。四悬臂梁结构的下拉电压仅为10V左右。 展开更多

关键词 模拟 ANSYS 等效核电阻(ESR) 下拉电压

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