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题名近地空间下X/EUV透射光栅的热力学有限元分析
被引量：1
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作者
宋曦
朱效立
韦飞
谢常青
谢二庆
刘明
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机构
兰州大学物理学院电子材料与器件工程研究所
中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室
中国科学院空间科学与应用研究中心
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出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期91-96,122,共7页
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基金
国家基础科学重大研究计划项目(2007CB935302)
国家重大专项资助项目(2008ZX02051-005)
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文摘
为了实现极紫外透射光栅光谱仪在近地空间的应用,针对其核心色散元件2000线/毫米X/EUV透射光栅,本文采用有限元方法建立了机械模型并对其热学性能和耦合特性进行计算机模拟计算,通过模拟热膨胀系数不同的材料构成的薄膜光栅在近地空间受到太阳辐照后的温度场,得到该光栅表面的热形变分布。结果表明,在高真空热环境下,该透射光栅表面形变量平均可达0.56μm,而影响光栅周期的纵向形变平均值则为71.5nm。由于热形变会对光栅衍射效率产生重要影响并导致光谱仪精度和性能的下降,利用有限元分析模拟的结果,进一步优化光栅的封装和设计制作,使其栅线处纵向热形变趋近于零,为2000线/毫米X/EUV透射光栅在太阳极紫外辐射探测器上得到应用提供了科学依据和有效支持。
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关键词
近地空间
X/EUV
透射光栅
有限元
热形变
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Keywords
terrestrial space
X/EUV
transmission grating
finite element
thermal deformation
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分类号
TN253
[电子电信—物理电子学]
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