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CRD的特性和硅外延层质量控制 被引量:1
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作者 洪云翔 张浙源 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1994年第3期28-31,共4页
本文分析了CRD特性和外延层质量的关系,并报导了改善外延层质量的方法和措施。由于外延层晶格结构以及外延层厚和电阻率的均匀性提高,使CRD的I_H值精确控制和击穿电压V_B值提高有了明显的进展。
关键词 半导体器件 恒流二极管 外延层
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HVIC中的高压器件——RESURF结构LDMOSFET
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作者 徐家权 郎金荣 +1 位作者 叶润涛 朱大中 《浙江大学学报(自然科学版)》 CSCD 1993年第1期26-34,共9页
RESURF(减小表面电场)结构的LDMOSFET(水平沟道二次扩散MOS场效应晶体管)是HVIC(高压集成电路)中较为理想的高压输出器件。本文对RESURF结构的LDMOSFET进行了理论与计算机分析,为探求该器件的设计依据及其与双极器件相兼容的工艺方案,... RESURF(减小表面电场)结构的LDMOSFET(水平沟道二次扩散MOS场效应晶体管)是HVIC(高压集成电路)中较为理想的高压输出器件。本文对RESURF结构的LDMOSFET进行了理论与计算机分析,为探求该器件的设计依据及其与双极器件相兼容的工艺方案,设计了一个包含有NPN,PNP晶体管及不同漂移区长度的RESURF试验模型,并进行了工艺流片,获得了耐压为350V与低压双极器件相兼容的高压RESURF结构的LDMOSFET。 展开更多
关键词 高压器件 高压IC 功率IC HVIC
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加强失效分析,提高产品可靠性
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作者 魏艳梅 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第5期67-68,共2页
通过对一批七专电路键合点严重腐蚀的失效分析,提出了相应的改进措施,使产品的可靠性得到了保障。
关键词 可靠性 失效分析 半导体器件 理化实验
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