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LC-14型强流氧注入机注入均匀性的背散射分析报告
1
作者
罗晏
唐景庭
+1 位作者
李雪春
卢志恒
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期204-207,共4页
报道了应用双指数函数对大注量氧注入硅的背散射谱进行拟合 ,成功地分离出注入的氧峰 .数据处理结果表明 ,氧注量的均匀性以标准偏差表示为 7.8% ,基本上达到了设计要求 .计算了注氧层和表面硅层的厚度 ,并且还对注量进行了校正 .
关键词
LC-14型强流氧注入机
注入均匀性
背散射分析
SOI材料
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职称材料
题名
LC-14型强流氧注入机注入均匀性的背散射分析报告
1
作者
罗晏
唐景庭
李雪春
卢志恒
机构
北京师范大学低能核物理
研究所
信息产业部电子第四十八研究所
北京师范大学物理学系
出处
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2002年第2期204-207,共4页
基金
国家自然科学基金资助项目 (6 9976 0 0 5 )
教育部重离子物理重点实验室基金资助项目
文摘
报道了应用双指数函数对大注量氧注入硅的背散射谱进行拟合 ,成功地分离出注入的氧峰 .数据处理结果表明 ,氧注量的均匀性以标准偏差表示为 7.8% ,基本上达到了设计要求 .计算了注氧层和表面硅层的厚度 ,并且还对注量进行了校正 .
关键词
LC-14型强流氧注入机
注入均匀性
背散射分析
SOI材料
Keywords
ion implantation
SOI material
RBS analysis
分类号
TN305.3 [电子电信—物理电子学]
TN304.12 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
LC-14型强流氧注入机注入均匀性的背散射分析报告
罗晏
唐景庭
李雪春
卢志恒
《北京师范大学学报（自然科学版）》
CAS
CSCD
北大核心
2002
0
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职称材料
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