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关于发展我国半导体设备制造业的思考
被引量：
2
1
作者
王勃华
《集成电路应用》
2003年第8期1-5,共5页
我国半导体设备制造业的基本情况半导体专用设备是支撑半导体和集成电路产业健康发展的基础,是半导体生产工艺的高度物化,是现代高新技术应用的集中体现,被誉为信息产业心脏的集成电路产业。
关键词
中国
半导体设备制造业
市场前景
行业建设
体制改革
集成电路产业
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职称材料
题名
关于发展我国半导体设备制造业的思考
被引量：
2
1
作者
王勃华
机构
信息产业部电子信息产品管理公司
出处
《集成电路应用》
2003年第8期1-5,共5页
文摘
我国半导体设备制造业的基本情况半导体专用设备是支撑半导体和集成电路产业健康发展的基础,是半导体生产工艺的高度物化,是现代高新技术应用的集中体现,被誉为信息产业心脏的集成电路产业。
关键词
中国
半导体设备制造业
市场前景
行业建设
体制改革
集成电路产业
分类号
F426.63 [经济管理—产业经济]
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作者
出处
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1
关于发展我国半导体设备制造业的思考
王勃华
《集成电路应用》
2003
2
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