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抛光型SLAM系统灵敏度研究
1
作者
严真旭
温济
+1 位作者
王亚非
袁敬闳
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2007年第3期360-362,共3页
以片式电子材料元器件作为无损检测分析对象,以提高激光扫描声学显微镜(SLAM)系统灵敏度为目标,详细分析了入射声波在抛光型分层介质中的传播规律,建立了抛光型样品自由界面动态波纹振幅数学模型。经综合分析获得了提高系统响应的方法,...
以片式电子材料元器件作为无损检测分析对象,以提高激光扫描声学显微镜(SLAM)系统灵敏度为目标,详细分析了入射声波在抛光型分层介质中的传播规律,建立了抛光型样品自由界面动态波纹振幅数学模型。经综合分析获得了提高系统响应的方法,为进一步改进SLAM提供了理论依据。
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关键词
灵敏度
激光扫描声学显微镜
全内反射角
抛光
分层介质
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职称材料
题名
抛光型SLAM系统灵敏度研究
1
作者
严真旭
温济
王亚非
袁敬闳
机构
信息产业部军用电子元器件行业管理发展研究中心
电子
科技大学光电
信息
学院
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2007年第3期360-362,共3页
文摘
以片式电子材料元器件作为无损检测分析对象,以提高激光扫描声学显微镜(SLAM)系统灵敏度为目标,详细分析了入射声波在抛光型分层介质中的传播规律,建立了抛光型样品自由界面动态波纹振幅数学模型。经综合分析获得了提高系统响应的方法,为进一步改进SLAM提供了理论依据。
关键词
灵敏度
激光扫描声学显微镜
全内反射角
抛光
分层介质
Keywords
sensitivity
scanning laser acoustic microscope （SLAM）
total internal reflection angle
polishing
layered-media
分类号
O426.2 [理学—声学]
TN249 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
抛光型SLAM系统灵敏度研究
严真旭
温济
王亚非
袁敬闳
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2007
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