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浅述高纯气体中微量水的分析被引量：3: 1; 作者叶相平《低温与特气》 CAS 2014年第3期33-36,共4页; 叙述了化工生产中电容法分析六氟化硫、四氟化碳,压电晶体法分析超纯气体,光腔衰荡光谱法测定超纯氨中的微量水含量的方法,通过在实验及工作中发现用这三种方法分析高纯气体的水含量可行,能满足产品生产监测的需要。; 关键词微量水分析电容法压电法光腔衰荡光谱法; 在线阅读下载PDF 职称材料

四阀四柱分析流程在检测含氟特种气体中杂质的应用与探索被引量：1: 2; 作者李聪王冲李智《低温与特气》 CAS 2014年第6期31-36,49,共7页; 近些年来含氟特种气体市场需求不断的加大,高纯含氟气体生产工艺数据的分析与产品质量的检测对氦离子气相色谱仪提出了更高的要求,本公司就CF4中NF3杂质及SF6中O2、N2、CF4、CH4、C2F6、SO2F2、C3F8等杂质检测在GC-126PDD四阀四柱分析... 展开更多; 关键词预分离柱 Hayesep R填充柱 NF3杂质六氟化硫(SF6)中杂质 PDHID氦离子化检测器; 在线阅读下载PDF 职称材料

六氟乙烷的制备及纯化方法概述被引量：5: 3; 作者杜汉盛《低温与特气》 CAS 2013年第3期1-4,共4页; 六氟乙烷主要用作集成电路的蚀刻气体和清洗气体,介绍了几种六氟乙烷的制备方法和纯化方法。; 关键词六氟乙烷制备纯化 HFCS 含氯化合物; 在线阅读下载PDF 职称材料

浅谈电子级八氟环丁烷纯化技术被引量：5: 4; 作者陈艳珊廖恒易《低温与特气》 CAS 2014年第6期28-30,共3页; 对现有八氟环丁烷的用途和纯化工艺进行简述,并介绍了公司自主研发的纯化工艺,采用精馏-吸附相结合的工艺,产品符合半导体行业使用要求。; 关键词八氟环丁烷纯化精馏吸附; 在线阅读下载PDF 职称材料

氟碳合成高纯四氟化碳的工艺技术被引量：3: 5; 作者唐忠福《低温与特气》 CAS 2013年第1期32-34,共3页; 随着半导体产业的迅猛发展,对高纯四氟化碳(CF4)的需求日益显现。然而,有关生产高纯CF4的技术报道较少,限制了微电子产业的发展进程。综述了国内外氟碳直接合成四氟化碳的工艺技术,并作出了展望,同时对产品纯化所涉及的碱洗、低温精馏... 展开更多; 关键词四氟化碳合成吸附精馏; 在线阅读下载PDF 职称材料

高纯三氟甲烷的制备工艺被引量：2: 6; 作者袁淑筠廖恒易《低温与特气》 CAS 2014年第6期19-22,共4页; 综述了高纯三氟甲烷的制备工艺,提出了通过精馏加吸附的纯化方法,将含有二氧化碳、三氟一氯甲烷、三氟一溴甲烷、五氟乙烷、二氟一氯甲烷、二氟二氯甲烷等杂质的粗三氟甲烷,提纯到99.999%以上。; 关键词高纯三氟甲烷精馏二氧化碳三氟一氯甲烷二氟一氯甲烷; 在线阅读下载PDF 职称材料

高纯一氧化碳制备方法进展被引量：4: 7; 作者杜汉盛杨林松《低温与特气》 CAS 2012年第2期34-36,50,共4页; 介绍了现有的高纯CO生产技术及其特点,对我公司采用的甲醇裂解工艺进行了描述,并对日后的发展趋势进行了展望。; 关键词高纯一氧化碳制备; 在线阅读下载PDF 职称材料

电子级氟碳类产品生产设备管件的选材被引量：1: 8; 作者马建修《低温与特气》 CAS 2014年第2期17-20,34,共5页; 随着太阳能、半导体、微电子等行业的快速发展,用作等离子刻蚀及清洗气体的电子级氟碳类气体的工业化研究与生产已成为国内外广泛关注的焦点。而生产设备工艺的选材是该类产品能否实现工业化的关键。结合自主研发的成功经验,介绍了氟碳... 展开更多; 关键词电子级氟碳类气体生产设备选材; 在线阅读下载PDF 职称材料

锗烷合成工艺及用途概述被引量：1: 9; 作者陈艳珊刘兴斌《低温与特气》 CAS 2013年第6期33-36,43,共5页; 锗烷主要用于半导体、光伏太阳能和集成电路行业,是制造高纯锗和各种硅锗合金的重要原材料。主要介绍了锗烷的合成方法:化学还原法、电化学反应法、等离子合成法。同时介绍了锗烷的性质和用途。; 关键词锗烷合成用途; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名浅述高纯气体中微量水的分析被引量：3: 1; 作者叶相平; 机构佛山市华特气体有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2014年第3期33-36,共4页; 文摘叙述了化工生产中电容法分析六氟化硫、四氟化碳,压电晶体法分析超纯气体,光腔衰荡光谱法测定超纯氨中的微量水含量的方法,通过在实验及工作中发现用这三种方法分析高纯气体的水含量可行,能满足产品生产监测的需要。; 关键词微量水分析电容法压电法光腔衰荡光谱法; Keywords trace water capacitance method piezoelectric method optical cavity ring-down spectroscopy; 分类号 O659 [理学—分析化学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名四阀四柱分析流程在检测含氟特种气体中杂质的应用与探索被引量：1: 2; 作者李聪王冲李智; 机构杭州克柔姆色谱科技有限公司佛山市华特气体有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2014年第6期31-36,49,共7页; 文摘近些年来含氟特种气体市场需求不断的加大,高纯含氟气体生产工艺数据的分析与产品质量的检测对氦离子气相色谱仪提出了更高的要求,本公司就CF4中NF3杂质及SF6中O2、N2、CF4、CH4、C2F6、SO2F2、C3F8等杂质检测在GC-126PDD四阀四柱分析流程上得到很好的解决。; 关键词预分离柱 Hayesep R填充柱 NF3杂质六氟化硫(SF6)中杂质 PDHID氦离子化检测器; Keywords pre separation column Hayesep R packed column NF3impurity impurities in sulfur hexafluoride pulsed dis-charge helium Ionization detector; 分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名六氟乙烷的制备及纯化方法概述被引量：5: 3; 作者杜汉盛; 机构佛山市华特气体有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2013年第3期1-4,共4页; 文摘六氟乙烷主要用作集成电路的蚀刻气体和清洗气体,介绍了几种六氟乙烷的制备方法和纯化方法。; 关键词六氟乙烷制备纯化 HFCS 含氯化合物; Keywords hexafluoroethane produce purify HFCs chlorine compounds; 分类号 TQ222.23 [化学工程—有机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名浅谈电子级八氟环丁烷纯化技术被引量：5: 4; 作者陈艳珊廖恒易; 机构佛山市华特气体有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2014年第6期28-30,共3页; 文摘对现有八氟环丁烷的用途和纯化工艺进行简述,并介绍了公司自主研发的纯化工艺,采用精馏-吸附相结合的工艺,产品符合半导体行业使用要求。; 关键词八氟环丁烷纯化精馏吸附; Keywords octafluorocyclobutane purification distillation adsorption; 分类号 TQ232 [化学工程—有机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氟碳合成高纯四氟化碳的工艺技术被引量：3: 5; 作者唐忠福; 机构佛山市华特气体有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2013年第1期32-34,共3页; 文摘随着半导体产业的迅猛发展,对高纯四氟化碳(CF4)的需求日益显现。然而,有关生产高纯CF4的技术报道较少,限制了微电子产业的发展进程。综述了国内外氟碳直接合成四氟化碳的工艺技术,并作出了展望,同时对产品纯化所涉及的碱洗、低温精馏、吸附等方法进行了概述。根据本公司现行的生产工艺,生产的高纯CF4质量好且成本低,可以满足国内市场的需要。; 关键词四氟化碳合成吸附精馏; Keywords tetrafluoromethane synthesis adsorption rectification; 分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高纯三氟甲烷的制备工艺被引量：2: 6; 作者袁淑筠廖恒易; 机构佛山市华特气体有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2014年第6期19-22,共4页; 文摘综述了高纯三氟甲烷的制备工艺,提出了通过精馏加吸附的纯化方法,将含有二氧化碳、三氟一氯甲烷、三氟一溴甲烷、五氟乙烷、二氟一氯甲烷、二氟二氯甲烷等杂质的粗三氟甲烷,提纯到99.999%以上。; 关键词高纯三氟甲烷精馏二氧化碳三氟一氯甲烷二氟一氯甲烷; Keywords high-purity trifluoromethane rectification carbon dioxide chlorotrifluoromethane monochlorodifluoromethane; 分类号 TQ222.213 [化学工程—有机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名高纯一氧化碳制备方法进展被引量：4: 7; 作者杜汉盛杨林松; 机构佛山市华特气体有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2012年第2期34-36,50,共4页; 文摘介绍了现有的高纯CO生产技术及其特点,对我公司采用的甲醇裂解工艺进行了描述,并对日后的发展趋势进行了展望。; 关键词高纯一氧化碳制备; Keywords high-purity carbon monoxide preparation; 分类号 TQ127.12 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名电子级氟碳类产品生产设备管件的选材被引量：1: 8; 作者马建修; 机构佛山市华特气体有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2014年第2期17-20,34,共5页; 文摘随着太阳能、半导体、微电子等行业的快速发展,用作等离子刻蚀及清洗气体的电子级氟碳类气体的工业化研究与生产已成为国内外广泛关注的焦点。而生产设备工艺的选材是该类产品能否实现工业化的关键。结合自主研发的成功经验,介绍了氟碳类电子级气体工艺的设备选材原则,着重针对各个工段的生产要求,对设备、管件的选材、阀门选择进行了详细地阐述,同时对生产过程中的其他注意事项进行了补充和强调。; 关键词电子级氟碳类气体生产设备选材; Keywords electronic grade fluorocarbons production equipment selection; 分类号 TQ117 [化学工程—无机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名锗烷合成工艺及用途概述被引量：1: 9; 作者陈艳珊刘兴斌; 机构佛山市华特气体有限公司大连岩谷气体机具有限公司; 出处《低温与特气》 CAS 2013年第6期33-36,43,共5页; 文摘锗烷主要用于半导体、光伏太阳能和集成电路行业,是制造高纯锗和各种硅锗合金的重要原材料。主要介绍了锗烷的合成方法:化学还原法、电化学反应法、等离子合成法。同时介绍了锗烷的性质和用途。; 关键词锗烷合成用途; Keywords germane synthesis application; 分类号 TQ264.2 [化学工程—有机化工]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	浅述高纯气体中微量水的分析	叶相平	《低温与特气》 CAS	2014	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	四阀四柱分析流程在检测含氟特种气体中杂质的应用与探索	李聪王冲李智	《低温与特气》 CAS	2014	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	六氟乙烷的制备及纯化方法概述	杜汉盛	《低温与特气》 CAS	2013	5	在线阅读下载PDF 职称材料
4	浅谈电子级八氟环丁烷纯化技术	陈艳珊廖恒易	《低温与特气》 CAS	2014	5	在线阅读下载PDF 职称材料
5	氟碳合成高纯四氟化碳的工艺技术	唐忠福	《低温与特气》 CAS	2013	3	在线阅读下载PDF 职称材料
6	高纯三氟甲烷的制备工艺	袁淑筠廖恒易	《低温与特气》 CAS	2014	2	在线阅读下载PDF 职称材料
7	高纯一氧化碳制备方法进展	杜汉盛杨林松	《低温与特气》 CAS	2012	4	在线阅读下载PDF 职称材料
8	电子级氟碳类产品生产设备管件的选材	马建修	《低温与特气》 CAS	2014	1	在线阅读下载PDF 职称材料
9	锗烷合成工艺及用途概述	陈艳珊刘兴斌	《低温与特气》 CAS	2013	1	在线阅读下载PDF 职称材料