-
题名低热导率玻璃基MEMS热式流速传感器制备与研究
- 1
-
-
作者
唐晨
胡建成
柴秋艳
金庆辉
邹杰
简家文
-
机构
宁波大学信息科学与工程学院
余姚市银环流量仪表有限公司
-
出处
《传感器与微系统》
北大核心
2025年第11期52-56,共5页
-
基金
浙江省基础公益研究计划项目(LGG22F010017)
宁波市重点研发计划项目(2022Z093,2022Z092)
国家自然科学基金面上项目(61971251)。
-
文摘
面向气体的低流速测量,在低热导率玻璃基底上采用剥离工艺制备蛇形铂(Pt)薄膜作为热敏电阻,构成了热分布型微机电系统(MEMS)流速传感器。传感器尺寸为10 mm×10 mm,在室温条件下,传感器加热电阻为247Ω,测温电阻为419.7Ω。测温电阻具有良好的温度—阻值线性度(R^(2)≥0.999)。通过改变加热电阻与测温电阻之间的间距,可实现0~1.0 m/s的测量范围,其中,在0~0.4 m/s低流速段有较高的灵敏度。传感器具有机械结构简单、尺寸小、成本低、可批量制造等优点,可广泛应用在小微流速测量领域。
-
关键词
低流速气体
玻璃基底
热式流速传感器
-
Keywords
low flow rate gas
glass substrate
thermal flow rate sensor
-
分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
-
题名基于HART协议的金属管浮子流量计
被引量：1
- 2
-
-
作者
郑永军
李文军
梁国伟
胡建成
-
机构
中国计量学院计量测试工程学院
余姚市银环流量仪表有限公司
-
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2010年第2期95-97,共3页
-
基金
国家质检总局科技计划资助项目(2006QK66)
-
文摘
介绍一种基于HART协议的金属管浮子流量计的设计方案。应用磁阻传感器测量金属管浮子的角位移,利用HT2015和AD421实现HART协议通信物理层,并叙述了MSP430单片机的软件编程,实现了各项功能和HART通信。
-
关键词
金属管浮子流量计
HART协议
磁阻传感器
-
Keywords
metal tube rotameter
HART protocol
magnetic resistive sensor
-
分类号
TP212.6
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
-
