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空间用紫外探测及AlGaN探测器的研究进展 被引量:18
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作者 张燕 龚海梅 +7 位作者 白云 陈亮 许金通 汤英文 游达 赵德刚 郭丽伟 李向阳 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1009-1012,共4页
文中介绍了与空间应用有关的紫外探测。首先,介绍了美、欧等西方国家在空间天文以及行星、卫星探测等方面多年来的紫外应用情况,包括卫星探测器上搭载的紫外有效载荷;然后,评述了目前在空间使用的紫外探测器状况,以及在未来的空间应用... 文中介绍了与空间应用有关的紫外探测。首先,介绍了美、欧等西方国家在空间天文以及行星、卫星探测等方面多年来的紫外应用情况,包括卫星探测器上搭载的紫外有效载荷;然后,评述了目前在空间使用的紫外探测器状况,以及在未来的空间应用中极具发展潜力的A lGaN紫外探测器;最后,对A lGaN紫外焦平面探测器国内外近年来的研究进展进行了阐述。 展开更多
关键词 紫外探测 空间应用 ALGAN 焦平面探测器
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Ⅲ族氮化物紫外探测器及其研究进展 被引量:14
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作者 龚海梅 李向阳 +6 位作者 亢勇 许金通 汤英文 李雪 张燕 赵德刚 杨辉 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2005年第11期812-816,共5页
文中简单介绍了紫外波段光电探测的基本特点,包括各波段特点、大气吸收等,并粗略介绍了紫外探测的部分应用。然后对Ⅲ族氮化物宽禁带紫外探测器材料体系的研究进展进行了回顾,重点介绍了包括P型材料的制备、金属半导体接触、材料的蚀刻... 文中简单介绍了紫外波段光电探测的基本特点,包括各波段特点、大气吸收等,并粗略介绍了紫外探测的部分应用。然后对Ⅲ族氮化物宽禁带紫外探测器材料体系的研究进展进行了回顾,重点介绍了包括P型材料的制备、金属半导体接触、材料的蚀刻等方面;最后,对国内外近期的紫外探测器特别是紫外焦平面器件的研究进展作了一些评述。 展开更多
关键词 紫外探测器 氮化镓 铝镓氮 紫外焦平面器件
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超长线列红外探测器杜瓦组件辐射热评估方法研究 被引量:4
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作者 夏晨希 李俊 +1 位作者 孙闻 王小坤 《红外技术》 CSCD 北大核心 2017年第9期794-797,共4页
超长线列红外探测器杜瓦组件大多采用桥式结构力学支撑,利用多点柔性冷链实现冷平台温度均匀。杜瓦组件结构复杂,利用传统辐射热公式计算相对困难。本文针对两种结构的8000元超长线列杜瓦组件,先用ANSYS有限元模拟出两种杜瓦的温度场并... 超长线列红外探测器杜瓦组件大多采用桥式结构力学支撑,利用多点柔性冷链实现冷平台温度均匀。杜瓦组件结构复杂,利用传统辐射热公式计算相对困难。本文针对两种结构的8000元超长线列杜瓦组件,先用ANSYS有限元模拟出两种杜瓦的温度场并提取出辐射热;然后设计实验测试杜瓦内12个典型位置温度,验证了温度场准确性。同时基于材料的热导率和温度梯度计算热流,从而间接计算出辐射热。研究结果表明,有限元仿真辐射热与实验计算辐射热误差在2%左右。 展开更多
关键词 长线列 辐射热 有限元 杜瓦
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Cl2/Ar/BCl3 ICP刻蚀对AlGaN的损伤研究 被引量:1
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作者 陈亮 亢勇 +2 位作者 赵德刚 李向阳 龚海梅 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2008年第3期420-423,共4页
感应耦合等离子体(ICP)刻蚀在AlGaN基紫外探测器台面制作中起着重要作用,初步研究了Cl2/Ar/BCl3ICP刻蚀对AlGaN材料的损伤。运用X射线光电子能谱(XPS)对ICP刻蚀前后的n型Al0.45Ga0.55N表面进行了分析,并对刻蚀后AlGaN材料在N2气中快速... 感应耦合等离子体(ICP)刻蚀在AlGaN基紫外探测器台面制作中起着重要作用,初步研究了Cl2/Ar/BCl3ICP刻蚀对AlGaN材料的损伤。运用X射线光电子能谱(XPS)对ICP刻蚀前后的n型Al0.45Ga0.55N表面进行了分析,并对刻蚀后AlGaN材料在N2气中快速热退火进行了研究。结果表明,在N2气中550°C退火3 min对材料的电学性能有明显的改善作用。 展开更多
关键词 感应耦合等离子体 铝镓氮 X射线光电子能谱 损伤
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"神舟3号"上生长Cd_(1-x)Zn_xTe晶片Zn组分分布的显微荧光研究
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作者 刘劼 李志锋 +3 位作者 沈杰 林杏朝 刘诗嘉 龚海梅 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2005年第2期238-242,共5页
用显微荧光(μPL)方法对在我国"神舟3号"上空间生长的CdZnTe晶片中Zn组分分布的研究。对晶片的单晶"壳"区及未完全熔化的"芯"区中的小结晶区域进行了逐点PL测量.对测得每点的PL谱进行了拟合,得到测量点... 用显微荧光(μPL)方法对在我国"神舟3号"上空间生长的CdZnTe晶片中Zn组分分布的研究。对晶片的单晶"壳"区及未完全熔化的"芯"区中的小结晶区域进行了逐点PL测量.对测得每点的PL谱进行了拟合,得到测量点的禁带宽度参数Eg,其分布对应于CdZnTe中Zn的组分分布。测量结果给出了空间生长品片Zn组分布的变化趋势和统计规律.作为比较,测量并分析了一块采用相同方法在地面生长的CdZnTe 晶片。 展开更多
关键词 显微荧光 CDZNTE Zn组分 平面分布 扫描
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增强短波红外InGaAs探测器透过率的纳米光天线研究
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作者 姚鹏飞 李淘 +2 位作者 李雪 邵秀梅 龚海梅 《红外技术》 CSCD 北大核心 2018年第9期843-846,共4页
过去几十年中,短波红外InGaAs探测器被广泛用于近红外探测系统中,通过将InGaAs光电探测器与纳米光天线结合可以增强光吸收并提高量子效率。然而,这种纳米光天线往往由聚焦离子束或电子束光刻制备而成,制备成本较高。本文介绍了一种更经... 过去几十年中,短波红外InGaAs探测器被广泛用于近红外探测系统中,通过将InGaAs光电探测器与纳米光天线结合可以增强光吸收并提高量子效率。然而,这种纳米光天线往往由聚焦离子束或电子束光刻制备而成,制备成本较高。本文介绍了一种更经济的沉积法来制备纳米光天线。用沉积法制备了纳米Ag颗粒阵列,Ag球平均半径为200 nm。研究了Ag纳米球阵列的表面等离子体效应对InGaAs光电探测器光吸收性能的影响,发现在整个近红外波段,InGaAs光电探测器帽层的透过率均显著提高。并且发现SiO2涂层激发了局域表面等离子体共振,分析了其对波长1?m附近的入射光的透过率增强效应。 展开更多
关键词 InGaAs光电探测器 纳米光天线 表面等离子体
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新型的AlGaN/PZT材料紫外/红外双波段探测器 被引量:6
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作者 张燕 王妮丽 +4 位作者 孙璟兰 韩莉 刘向阳 李向阳 孟祥建 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第2期210-212,255,共4页
提出了一种可以同时同位置探测紫外和红外信号的新型探测结构,分析了该结构的合理性,并对器件工艺进行了设计、分析和验证,制备出了AlGaN/PZT原型器件。该结构以AlGaN多层材料和PZT复合薄膜为基础,利用AlGaN宽禁带半导体的本征吸收和铁... 提出了一种可以同时同位置探测紫外和红外信号的新型探测结构,分析了该结构的合理性,并对器件工艺进行了设计、分析和验证,制备出了AlGaN/PZT原型器件。该结构以AlGaN多层材料和PZT复合薄膜为基础,利用AlGaN宽禁带半导体的本征吸收和铁电薄膜的热电转化功能,实现对紫外和红外信号的电学响应。对该结构中各膜层的透射和吸收进行了测试和分析,在小于6μm的光谱测试范围内,宝石衬底的透过率约为80%,而AlGaN多层外延结构和多孔SiO2隔离层都对红外光吸收很少。结果证明:该结构可以实现不同吸收层对入射光束不同波段的吸收。以AlGaN器件工艺和溶胶-凝胶法制备PZT膜层为基础,研究了器件工艺,并最终研制出了首个AlGaN/PZT探测器件。 展开更多
关键词 探测器 结构模型 透射光谱 铝镓氮/钛酸铝
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两种结构GaN基太阳盲紫外探测器 被引量:4
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作者 李雪 陈俊 +3 位作者 何政 赵德刚 龚海梅 方家熊 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2006年第11期1040-1042,共3页
分别在金属有机化学汽相沉积(MOCVD)生长的i-Al0.33Ga0.67N/AlN/n-GaN和p-Al0.45Ga0.55N/i—Al0.45Ga0.55N/n+-Al0.65Ga0.35N的异质结构上,成功研制了太阳盲区的肖特基型和PIN型紫外探测器。研究结果表明,Au与i—Al0.33Ga0.67... 分别在金属有机化学汽相沉积(MOCVD)生长的i-Al0.33Ga0.67N/AlN/n-GaN和p-Al0.45Ga0.55N/i—Al0.45Ga0.55N/n+-Al0.65Ga0.35N的异质结构上,成功研制了太阳盲区的肖特基型和PIN型紫外探测器。研究结果表明,Au与i—Al0.33Ga0.67N形成了较好的肖特基结,响应波长从250—290nm,峰值(286nm)响应率约为0.08A/W;PIN型紫外探测器的响应波长从230~275nm,峰值(246nm)响应率约为0.02A/W。 展开更多
关键词 太阳盲区 肖特基 PIN 紫外探测器
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