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基于MEMS技术的微型电场传感器设计与仿真 被引量:8
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作者 裴强 夏善红 +2 位作者 龚超 白强 陈绍凤 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期388-390,共3页
报道了一种新型的基于MEMS技术的微型电场传感器。该传感器采用半导体微加工工艺制备 ,具有体积小、重量轻、功耗低等优点。阐述了传感器的工作原理 ,描述了设计方案 。
关键词 MEMS技术 微型电场传感器 设计 仿真 半导体微加工工艺 工作原理
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高精度光纤光栅传感技术及其在地球物理勘探、地震观测和海洋领域中的应用 被引量:21
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作者 张文涛 黄稳柱 李芳 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期90-104,共15页
随着特种光纤光栅刻写制作技术以及信号解调技术的发展,光纤光栅传感器的测量精度和测量频带不断得到提升,这大大促进了其在地球物理勘探、地震观测以及海洋观测等具有高精度探测需求的领域中的应用。当前,高精度宽频带光纤光栅传感器... 随着特种光纤光栅刻写制作技术以及信号解调技术的发展,光纤光栅传感器的测量精度和测量频带不断得到提升,这大大促进了其在地球物理勘探、地震观测以及海洋观测等具有高精度探测需求的领域中的应用。当前,高精度宽频带光纤光栅传感器的发展依然面临一些核心器件与关键技术方面的挑战,包括高精细度光纤光栅谐振腔、低噪声窄线宽可调谐激光光源等核心器件,高精度宽频带光纤光栅波长解调技术、大规模组网技术、高灵敏度信号拾取探头设计等关键技术。本文首先介绍了高精度光纤光栅传感技术的发展概况,然后重点阐述高精度光纤光栅传感系统所需的核心器件与关键技术,并对其在地球物理勘探、地震观测和海洋观测中的应用情况进行分析探讨,最后对高精度光纤光栅传感技术及其应用作了展望。本文旨在分析总结高精度光纤光栅传感技术及其应用中涉及的一些核心技术和急需解决的关键问题,以期为该项技术的发展和应用提供借鉴。 展开更多
关键词 光纤光栅传感器 高精度 地球物理勘探 地震观测 海洋观测
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一种基于微加工技术的微型电场传感器的设计与制造 被引量:5
3
作者 陶虎 彭春荣 +3 位作者 陈贤祥 白强 陈绍凤 夏善红 《电子器件》 CAS 2006年第3期639-642,共4页
一种新型的,以压电陶瓷条为驱动、硅为屏蔽和感应电极的微型电场传感器。此种传感器利用了新型的电场感应模式,采用微加工技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低。本文阐述了... 一种新型的,以压电陶瓷条为驱动、硅为屏蔽和感应电极的微型电场传感器。此种传感器利用了新型的电场感应模式,采用微加工技术制造,使其具备体积小、重量轻、功耗低、便于与其它器件集成等特点,而且制作工艺简单,成本较低。本文阐述了此种传感器的工作原理,并通过计算机模拟验证了可行性,同时描述了新型传感器的结构设计和加工工艺过程。实验数据表明,新型电场传感器的分辨率达到250 V/m。 展开更多
关键词 电场传感器 微加工技术 压电陶瓷
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基于MEMS技术的安培酶免疫传感器研究 被引量:3
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作者 边超 许媛媛 +3 位作者 孙红光 张虹 陈绍凤 夏善红 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2006年第11期2195-2198,共4页
该文采用MEMS工艺制备可集成安培酶免疫传感器,用于人免疫球蛋白IgG的检测。该传感器以硅作为基底,铂作为电极,工作电极敏感面积1mm2。SU-8胶形成的微反应池结构使该传感器试剂用量仅为μl量级。聚吡咯作为酶与电极之间的电子转移基体... 该文采用MEMS工艺制备可集成安培酶免疫传感器,用于人免疫球蛋白IgG的检测。该传感器以硅作为基底,铂作为电极,工作电极敏感面积1mm2。SU-8胶形成的微反应池结构使该传感器试剂用量仅为μl量级。聚吡咯作为酶与电极之间的电子转移基体聚合于工作电极敏感表面,戊二醛作为交联剂进行抗体(羊抗人IgG)的固定。抗体与酶标抗体(辣根过氧化物酶HRP标羊抗人IgG)对人IgG进行特异性夹心识别,通过检测酶标HRP对底物H2O2催化产生的电流信号实现免疫检测。该传感器工作电压?0.3V,检测下限5ng/ml,线性范围5~255ng/ml,响应时间3min,具有响应快、下限低、试剂用量少、微型化、便于集成等优点。 展开更多
关键词 安培酶免疫传感器 MEMS 聚吡咯 IGG
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基于导电聚合膜及MEMS技术的安培免疫传感器 被引量:1
5
作者 边超 许媛媛 +1 位作者 陈绍凤 夏善红 《电子器件》 CAS 2007年第1期22-25,共4页
研究采用微电子机械系统(MEMS)技术在硅基底上制备可集成微型安培免疫传感器,用于人免疫球蛋白(IgG)的检测.该传感器包括两个铂电极以及SU-8胶形成的微反应池和敏感池.工作电极的敏感表面首先聚合聚吡咯膜,然后通过戊二醛的交... 研究采用微电子机械系统(MEMS)技术在硅基底上制备可集成微型安培免疫传感器,用于人免疫球蛋白(IgG)的检测.该传感器包括两个铂电极以及SU-8胶形成的微反应池和敏感池.工作电极的敏感表面首先聚合聚吡咯膜,然后通过戊二醛的交联作用实现抗体的固定.最后通过夹心法实现对IgG的检测.该传感器检测线性范围5-255ng/mL,响应时间3min具有线性好、响应快、试剂用量少、微型化、便于集成等优点. 展开更多
关键词 安培免疫传感器 MEMS 聚吡咯 戊二醛 IGG
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新型PMNT材料红外光传感器数字化低功耗输出技术 被引量:1
6
作者 谢峰 景为平 +1 位作者 鲁华祥 李言谨 《核电子学与探测技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期1236-1240,共5页
红外探测器进入商业市场的最大障碍是致冷。它不仅使系统成本提高,而且操作不便[1]。我国科学家最新发现的以PMNT为代表的弛豫铁电单晶在热扩散系数、物化性能等方面具有优异的热释电综合性能,可应用于非致冷器件,用其制成的传感器具有... 红外探测器进入商业市场的最大障碍是致冷。它不仅使系统成本提高,而且操作不便[1]。我国科学家最新发现的以PMNT为代表的弛豫铁电单晶在热扩散系数、物化性能等方面具有优异的热释电综合性能,可应用于非致冷器件,用其制成的传感器具有结构简单,功耗低,系统成本低等优点,具有非常诱人的广泛应用前景。目前,基于弛豫铁电单晶这种新型热释电材料红外光传感器和配套的读出电路芯片正在积极研究[2]。同时将读出电路信号转化成数字信号,可以完成原来读出电路所不能完成的信号的存储、变换、去噪声和数字化传输等方便于应用的功能。所以人们希望把红外焦平面模拟信号转换为数字信号来处理。较低功耗和较低的系统成本是这种新型PMNT材料红外光传感器的优势。 展开更多
关键词 弛豫铁电单晶 低频 传感器 数字化技术
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一种压电驱动单屏蔽电极3维电场传感芯片
7
作者 彭思敏 夏善红 +7 位作者 刘向明 高雅浩 张洲威 张巍 邢学斌 刘语斐 毋正伟 彭春荣 《电子与信息学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第4期1513-1520,共8页
为降低激励电压和串扰噪声,实现高灵敏3维电场检测,该文提出一种压电驱动单屏蔽电极3维电场传感芯片。其敏感结构由1组可动屏蔽电极和4组固定感应电极构成,固定感应电极两两对称,在压电驱动结构作用下可动屏蔽电极垂直振动,4组感应电极... 为降低激励电压和串扰噪声,实现高灵敏3维电场检测,该文提出一种压电驱动单屏蔽电极3维电场传感芯片。其敏感结构由1组可动屏蔽电极和4组固定感应电极构成,固定感应电极两两对称,在压电驱动结构作用下可动屏蔽电极垂直振动,4组感应电极在待测电场作用下产生周期性的感应电流,通过测量4组感应电极的感应电流,并经过差分求和解耦方法可分别获得x,y,z坐标轴方向的电场分量。该文通过有限元仿真设计了3维电场传感芯片结构,分析了其测量的可行性,对关键结构参数进行优化设计,并设计了敏感芯片加工工艺流程。对研制的芯片进行了实验测试,结果表明,单屏蔽电极3维电场传感芯片在0~50 kV/m电场强度范围内,x,y,z 3轴输出灵敏度分别为0.2214 mV/(kV/m),0.3580 mV/(kV/m),2.1768 mV/(kV/m),3维电场的最大测量误差小于5.3%。 展开更多
关键词 单屏蔽电极 3维 电场 垂直振动
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利用表面等离子谐振生物传感器检测磺胺二甲嘧啶的方法研究 被引量:13
8
作者 李辉 崔大付 +4 位作者 王于杰 蔡浩原 王军波 郑自攀 陈兴 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期288-292,共5页
动物源性食品中的兽药残留对人类的健康具有潜在的危害。这项研究利用SPR生物传感器免疫法检测磺胺二甲嘧啶。实验对抗原在芯片表面的固定条件以及抗体的浓度进行了优化,实验中所构建的标准曲线的检测限(LOD)约为0.7ng/ml,检测范围为0.7... 动物源性食品中的兽药残留对人类的健康具有潜在的危害。这项研究利用SPR生物传感器免疫法检测磺胺二甲嘧啶。实验对抗原在芯片表面的固定条件以及抗体的浓度进行了优化,实验中所构建的标准曲线的检测限(LOD)约为0.7ng/ml,检测范围为0.7~10ng/ml。对抗体的特异性和稳定性进行了研究。SPR-2004传感器为中国科学院电子学研究所自行研制的生化分析仪,为单通道双参数型,可以通过使用参照表面来消除折射率和基质效应的影响,从而提高数据的准确性,并缩短检测时间。 展开更多
关键词 表面等离子谐振 生物传感器 参照表面 磺胺二甲嘧啶
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小型三维电场传感器设计与测试 被引量:13
9
作者 张星 白强 +2 位作者 夏善红 郑凤杰 陈绍凤 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第4期1002-1004,共3页
目前电场传感器只能探测大气电场强度矢量一维或者二维方向分量,尚无法精确地反映空中电场强度大小。该文介绍一种结构新颖的小型三维空中电场传感器,由轴向(Z)和径向(X,Y)三路电场测量单元和驱动单元以及电路单元组成,用于探测电场强... 目前电场传感器只能探测大气电场强度矢量一维或者二维方向分量,尚无法精确地反映空中电场强度大小。该文介绍一种结构新颖的小型三维空中电场传感器,由轴向(Z)和径向(X,Y)三路电场测量单元和驱动单元以及电路单元组成,用于探测电场强度的三维方向矢量。在地面实际测试中,传感器输出信号与电场强度的理论关系得到了验证,证明了三维电场传感器结构设计和检测方法的合理性。 展开更多
关键词 电场 电场探测 三维电场传感器
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LBIC技术研究InGaAs线列探测器串音及光敏感区 被引量:5
10
作者 吕衍秋 乔辉 +4 位作者 韩冰 唐恒敬 吴小利 李雪 龚海梅 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第5期708-710,共3页
利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区。用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器。测试结果表明,InGaAs线列探测器相邻探测器... 利用激光诱导电流技术研究了InGaAs台面探测器的相邻探测器间的串音和光敏感区。用分子束外延方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,制备了256×1正照射台面InGaAs线列探测器。测试结果表明,InGaAs线列探测器相邻探测器间没有串音,虽然台面结构周围吸收层已被腐蚀,但因为少数载流子的侧向收集,扩大了有效光敏感区。 展开更多
关键词 激光诱导电流技术 INGAAS 探测器 串音 光敏感区
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电化学生物传感器在黄曲霉毒素检测中的研究进展 被引量:11
11
作者 马海华 张元 +2 位作者 甄彤 孙楫舟 夏善红 《中国粮油学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第2期132-140,共9页
黄曲霉毒素是黄曲霉和寄生曲霉的次级代谢产物,具有剧毒性和严重的致癌性、致畸性和致突变性,摄入受黄曲霉毒素污染的农作物和食品会对人类和动物的身体健康造成极其严重的危害。基于十年来国内外的研究成果,从电化学传感机理方面概述... 黄曲霉毒素是黄曲霉和寄生曲霉的次级代谢产物,具有剧毒性和严重的致癌性、致畸性和致突变性,摄入受黄曲霉毒素污染的农作物和食品会对人类和动物的身体健康造成极其严重的危害。基于十年来国内外的研究成果,从电化学传感机理方面概述了电化学生物传感器在黄曲霉毒素检测中的发展现状和应用前景,介绍了各类电化学生物传感器的工作原理、制备方法和检测性能。电化学生物传感器相比于传统的黄曲霉毒素检测方法,具有检测时间短、操作简单、成本低、便于微型化等优势。金纳米颗粒、碳纳米管等纳米材料的使用将进一步提高电化学生物传感器的灵敏度以及抗原或抗体的固定效率。超微电极技术、传感器阵列技术以及微流控技术的应用也将进一步提高电化学生物传感器在毒素检测中的性能。 展开更多
关键词 黄曲霉毒素 电化学 生物传感器 免疫分析 纳米材料
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基于光纤传感的生理参数监测系统研究 被引量:10
12
作者 赵荣建 汤敏芳 +4 位作者 陈贤祥 杜利东 曾华林 赵湛 方震 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第9期2182-2189,共8页
常规生理参数监测系统由于测量时接触皮肤,因此舒适感差、个体依从性差。为解决上述问题,该文基于生理的微弱运动可致光纤微弯曲变形进而致光强度发生变化的原理,研制了新型的基于光纤传感的生理参数监测系统。该系统通过光探测器自适... 常规生理参数监测系统由于测量时接触皮肤,因此舒适感差、个体依从性差。为解决上述问题,该文基于生理的微弱运动可致光纤微弯曲变形进而致光强度发生变化的原理,研制了新型的基于光纤传感的生理参数监测系统。该系统通过光探测器自适应地检测细小的光强变化获得心冲击图(BCG)信号,利用信号处理算法获取心率、呼吸率和体动等信息;把光纤嵌入床垫或坐垫设计为三明治结构,既保护了光纤又增强了系统的可靠性和稳定性;采用蛇形返折走线将光纤均匀地分布在垫子中间,使系统具有高灵敏度。通过多家医院临床标准方法对比测试可得在95%的置信区间(±1.96SD)内该系统心率均值误差为–0.26±2.80次/min,与标准值之间的相关性为0.9984;呼吸率均值误差为0.41±1.49次/min,与标准值之间的相关性为0.9971。实验表明,研制的系统可在零负荷的状态下无感进行生理参数测量,在健康医疗领域具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 光纤传感器 心冲击图 心率 呼吸率
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空中三维电场传感器及其标定方法研究 被引量:7
13
作者 郑凤杰 白强 +2 位作者 张星 汪祖民 夏善红 《微纳电子技术》 CAS 2007年第7期238-241,共4页
空中电场是以三维矢量形式存在的,以往用于空中电场探测的电场传感器主要实现矢量电场的一个或两个分量的探测。介绍了一种新型的空中三维电场传感器,可实现空中矢量电场的三维检测,并对该三维电场传感器的标定方法进行了仿真分析,设计... 空中电场是以三维矢量形式存在的,以往用于空中电场探测的电场传感器主要实现矢量电场的一个或两个分量的探测。介绍了一种新型的空中三维电场传感器,可实现空中矢量电场的三维检测,并对该三维电场传感器的标定方法进行了仿真分析,设计出该传感器的专用标定装置。测试数据表明该传感器的输出与外部电场呈良好的线性关系,与理论分析一致,证明了该电场传感器结构设计和标定方法的合理性。 展开更多
关键词 三维 电场传感器 标定
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电化学生物传感器 被引量:4
14
作者 蔡新霞 李华清 +2 位作者 饶能高 王利 崔大付 《微纳电子技术》 CAS 2003年第7期359-361,共3页
介绍了电化学生物传感器的分类、基本测试原理和研究进展 ,该类传感器可对多种生化参数进行直接实时动态检测 ,基于微机电系统 (MEMS)加工技术和微电子IC制造技术 ,电化学传感器在向着微型化。
关键词 电化学生物传感器 测试原理 生化参数 动态检测 微机电系统 集成化
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微机械陀螺传感器模型与接口电路的混合模拟 被引量:5
15
作者 车录锋 熊斌 +1 位作者 黄小振 王跃林 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期496-499,共4页
根据微机械陀螺的动力学方程建立了组合微机械陀螺振动特性和电学特性的传感器等效电路模型 ,并通过电路模拟工具 PSPICE对模型进行验证。利用该模型与接口电路的混合模拟 ,可以分析陀螺整个系统的工作性能。
关键词 微机械陀螺 传感器 接口电路 振动特性 工作性能 优化设计
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一种新型生物化学图象传感器的研究 被引量:5
16
作者 李蓉 王平 +4 位作者 张钦涛 李全政 崔大付 韩泾鸿 陈德勇 《中国生物医学工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第4期382-386,431,共6页
本文介绍了一种新型的光寻址生物和化学图象传感器的基本原理、结构及特点 ,并着重介绍了我们开发研制的生物化学图象传感器和有关的测试实验结果。完成了半导体硅器件的制作、生物化学敏感膜的制备、以激光器为主的光学扫描和机械定位... 本文介绍了一种新型的光寻址生物和化学图象传感器的基本原理、结构及特点 ,并着重介绍了我们开发研制的生物化学图象传感器和有关的测试实验结果。完成了半导体硅器件的制作、生物化学敏感膜的制备、以激光器为主的光学扫描和机械定位系统以及基于微机系统的测量控制系统的设计制作。该传感器可以检测不同的生物和化学物质的静态及动态响应图象。实验结果表明 :该光寻址生物化学传感器系统具有较高灵敏度和分辨率以及较好的光寻址成象能力。利用该传感器可望开发出新一代的集成生物化学图象传感器。 展开更多
关键词 生物传感器 化学传感器 光寻址电位传感器 图象传感器
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纳米多孔金薄膜的表面等离子体共振传感特性 被引量:5
17
作者 张喆 逯丹凤 祁志美 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2013年第4期867-873,共7页
对淀积在玻璃衬底上厚度约60nm的金银合金溅射薄膜进行硝酸腐蚀脱银处理,得到纳米多孔金薄膜.利用自建的波长检测型表面等离子体共振(SPR)传感装置研究了腐蚀时间对纳米多孔金薄膜SPR特性的影响,结果发现纳米多孔金薄膜与水溶液接触后在... 对淀积在玻璃衬底上厚度约60nm的金银合金溅射薄膜进行硝酸腐蚀脱银处理,得到纳米多孔金薄膜.利用自建的波长检测型表面等离子体共振(SPR)传感装置研究了腐蚀时间对纳米多孔金薄膜SPR特性的影响,结果发现纳米多孔金薄膜与水溶液接触后在400-900nm光谱范围内不具有SPR效应,而当薄膜置于空气中时会产生明显的传播等离子体共振吸收峰,其共振波长随腐蚀时间增加逐渐红移.纳米多孔金薄膜在空气气氛中的SPR效应使其能够用于原位监测气相分子在孔内的吸附,还可对在液相中吸附的生化分子进行离位测试.本文对L-谷胱甘肽、L-半胱氨酸、2-氨基乙硫醇三种含巯基的生化小分子在纳米多孔金薄膜内的吸附进行了离位分析,结果表明与传统的致密金薄膜SPR芯片比较,纳米多孔金薄膜对这些分子显示出更高的灵敏度和更低的检测下限,这归功于多孔金的大比表面积使其能够吸附大量的生化小分子.实验还对乙醇蒸气在纳米多孔金薄膜内的吸附进行了原位监测,发现吸附平衡所用时间较长,约为160min. 展开更多
关键词 金银合金溅射膜 纳米多孔金薄膜 表面等离子体共振 共振波长 小分子 高灵敏度
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新型三维电场传感器原理及试验结果 被引量:6
18
作者 张星 白强 +2 位作者 夏善红 郑凤杰 陈绍凤 《电子器件》 EI CAS 2006年第1期118-120,共3页
目前电场传感器只能探测电场强度矢量一维或者二维方向分量,尚无法精确地反映空中及地面电场强度大小。本文介绍一种新型三维电场传感器,由轴向、径向电场测量单元、驱动单元、电路单元、保温单元组成,用于探测空中及地面环境电场强度... 目前电场传感器只能探测电场强度矢量一维或者二维方向分量,尚无法精确地反映空中及地面电场强度大小。本文介绍一种新型三维电场传感器,由轴向、径向电场测量单元、驱动单元、电路单元、保温单元组成,用于探测空中及地面环境电场强度的三维方向矢量,克服了目前电场传感器探测电场强度时局限在一维或二维方向矢量的缺陷。在高空低温环境模拟试验中,当环境温度降到-50℃以下时,该传感器的保温单元使传感器内部温度一直处于零上,符合了电路板工作温度范围。在实际电场测试试验中,该传感器的电场测量单元验证了输出信号与电场之间的线性关系,与理论分析相符,证明了三维电场传感器的合理性。 展开更多
关键词 电场 电场探测 三维电场传感器
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痕量镉离子在原位铋修饰掺硼金刚石电极上的传感分析 被引量:4
19
作者 高成耀 佟建华 +6 位作者 边超 孙楫舟 李洋 王晋芬 龚顺 惠允 夏善红 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第3期447-454,共8页
以原位铋修饰掺硼金刚石电极为工作电极,利用方波脉冲阳极溶出伏安法对重金属镉离子进行检测.考察了扫描方式、铋离子浓度、电极硼掺杂浓度、支持电解液p H值、富集电位、脉冲参数和富集时间等因素对镉溶出峰电流的影响并进行了优化.结... 以原位铋修饰掺硼金刚石电极为工作电极,利用方波脉冲阳极溶出伏安法对重金属镉离子进行检测.考察了扫描方式、铋离子浓度、电极硼掺杂浓度、支持电解液p H值、富集电位、脉冲参数和富集时间等因素对镉溶出峰电流的影响并进行了优化.结果表明,原位铋修饰能有效提高检测的灵敏度,镉离子浓度与溶出峰电流值在1~10μg/L范围内呈线性关系,相关系数为0.9979,检出限为0.15μg/L.干扰实验结果表明,相邻溶出电位干扰离子铅和锌对镉的检测影响相对较小,而铜有较大干扰.实际水样测试结果表明,回收率在96%~107%之间. 展开更多
关键词 掺硼金刚石薄膜电极 阳极溶出伏安 镉离子分析 电化学分析 原位铋修饰电极
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新型的ISFET微传感器读出电路单芯片集成研究 被引量:3
20
作者 魏金宝 杨海钢 +2 位作者 韩泾鸿 孙红光 夏善红 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期224-227,共4页
生化微传感集成系统是目前的研究焦点,本文以在线性区和饱和区两种模式下工作的pH-ISFET作为研究对象,提出ISFET微传感器与其信号读出电路的单芯片集成,并深入研究传感机理以及与标准CMOS兼容的敏感材料制备技术.整个芯片包含ISFET/REFE... 生化微传感集成系统是目前的研究焦点,本文以在线性区和饱和区两种模式下工作的pH-ISFET作为研究对象,提出ISFET微传感器与其信号读出电路的单芯片集成,并深入研究传感机理以及与标准CMOS兼容的敏感材料制备技术.整个芯片包含ISFET/REFET微传感差分对、双模式ISFET/REFET放大器、次级差分放大、参比电极Pt、恒流源等,采用新加坡Chartered半导体集成电路公司3.3V标准CMOS工艺流片.同时进行传感器芯片的pH响应实验测试,获得53mV/pH灵敏度. 展开更多
关键词 微传感器 读取电路 单芯片 集成系统
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