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静电计检测微位移的原理和实验
1
作者
陆德仁
鲍海飞
刘民
《上海计量测试》
2008年第2期8-11,共4页
该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法。该方法中,静电计测量的可变电容两电极间电位差可直接转换为位移,其原理,最终公式和测试电路相当简单,而分辨率,预期能达到nm量级。用静电计——平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移...
该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法。该方法中,静电计测量的可变电容两电极间电位差可直接转换为位移,其原理,最终公式和测试电路相当简单,而分辨率,预期能达到nm量级。用静电计——平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移进行测量的实验结果验证了上述结论。
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关键词
微位移
静电计
电容
可动电极
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职称材料
题名
静电计检测微位移的原理和实验
1
作者
陆德仁
鲍海飞
刘民
机构
传感技术国家联合重点实验室中国科学院上海微系统与信息技术研究所
出处
《上海计量测试》
2008年第2期8-11,共4页
文摘
该文叙述一种电容式微位移静电计测量方法。该方法中,静电计测量的可变电容两电极间电位差可直接转换为位移,其原理,最终公式和测试电路相当简单,而分辨率,预期能达到nm量级。用静电计——平行板电容测量装置对振动或冲击引起的微位移进行测量的实验结果验证了上述结论。
关键词
微位移
静电计
电容
可动电极
Keywords
displacement
electrometer
capacitor
shock
分类号
TH822 [机械工程—精密仪器及机械]
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题名
作者
出处
发文年
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1
静电计检测微位移的原理和实验
陆德仁
鲍海飞
刘民
《上海计量测试》
2008
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