仿生矢量水听器透声帽的实验测试与研究

1

作者 赵鹏 张国军 +2 位作者 刘林仙 申辉 张文栋 《科学技术与工程》 北大核心 2014年第4期33-36,42,共5页

由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、小尺寸、灵敏度高等性能特点;但是由于受封装结构的影响,该水听器的灵敏度和频率响应还不太理想。为此,研究了聚氨酯透声帽封装对水听器性能的影响。首先,采用ANSYS对封装结构进行仿真,将... 由中北大学研制的MEMS仿生矢量水听器具有低频、小尺寸、灵敏度高等性能特点;但是由于受封装结构的影响,该水听器的灵敏度和频率响应还不太理想。为此,研究了聚氨酯透声帽封装对水听器性能的影响。首先,采用ANSYS对封装结构进行仿真,将仿真结果与自由场中液体质点的振动位移进行了对比分析。然后,通过实验对比有无封装两种情况下的水听器性能。最终得出:封装结构的固有机械特性耦合作用于水听器MEMS芯片上,导致水听器频率响应起伏较大,并在透声帽的共振频率处出现峰值;自由场中,透声帽随声波摆动的偏斜量与液体质点位移不相符导致水声衰减引起水听器灵敏度下降。 展开更多

关键词 矢量水听器 透声帽 封装 ANSYS

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基于存储测试技术的弹底压力测试技术 被引量：14

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作者 张瑜 祖静 +1 位作者 张红艳 沈大伟 《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2014年第1期172-175,179,共5页

提出了基于存储测试技术的弹底压力测试方法,采用微型化技术、微功耗技术、抗高过载技术设计了弹底压力测试仪,该仪器可随弹丸保温,能承受火炮发射时膛内高温高压高冲击、侵彻高过载等恶劣环境,具有精度高、可靠性高、操作简单等优点。... 提出了基于存储测试技术的弹底压力测试方法,采用微型化技术、微功耗技术、抗高过载技术设计了弹底压力测试仪,该仪器可随弹丸保温,能承受火炮发射时膛内高温高压高冲击、侵彻高过载等恶劣环境,具有精度高、可靠性高、操作简单等优点。对压电式压力传感器的加速度效应进行了理论分析,提出了试验修正方法。实弹测试中同时获得了弹底压力曲线和膛底压力曲线,为研究二者之间的关系提供了数据依据。实测结果表明:所提出的弹底压力测试方法可行,测试数据为身管武器设计、弹丸和引信设计提供了重要依据。 展开更多

关键词 存储测试 弹底压力 压力测试 弹载

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基于环境因子的火炮膛压测试仪校准装置 被引量：12

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作者 张瑜 祖静 +1 位作者 张红艳 马铁华 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2012年第6期35-39,44,共6页

针对现有模拟膛压校准装置存在的结构复杂、操作不便及压力量程小等缺点,对现有装置进行了改进,建立了校准系统。校准系统由模拟膛压校准装置、标准检测系统及高低温实验箱组成,采用环境因子校准方法,可对火炮膛压测试仪实施校准。改进... 针对现有模拟膛压校准装置存在的结构复杂、操作不便及压力量程小等缺点,对现有装置进行了改进,建立了校准系统。校准系统由模拟膛压校准装置、标准检测系统及高低温实验箱组成,采用环境因子校准方法,可对火炮膛压测试仪实施校准。改进后的校准装置能模拟火炮膛内高温高压环境,产生的压力信号幅值在80～800MPa,脉宽在10～20ms,上升时间小于2ms。理论分析与对比试验结果表明:火炮膛压测试仪在模拟应用环境下校准的方法是合理的,静态标定方法和模拟应用环境校准方法获得的测压器灵敏度系数不同,实炮测试数据表明经模拟应用环境校准后的测压器测试数据稳定性好,置信度高。 展开更多

关键词 膛压 动态测试 环境因子 模拟膛压 应用环境

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航天测试系统大容量数据处理方法研究 被引量：3

4

作者 马志刚 刘文怡 张文栋 《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2014年第10期74-77,共4页

在航天测试系统中,经常需要处理大容量数据。讨论了C语言、C++语言、MFC中文件的操作方法。结合Win32 API相关函数,分析了大容量数据文件的读取、解包、分析等处理方法。在VisualC++6.0编程环境下,根据实际需求编写了数据分析处理软件... 在航天测试系统中,经常需要处理大容量数据。讨论了C语言、C++语言、MFC中文件的操作方法。结合Win32 API相关函数,分析了大容量数据文件的读取、解包、分析等处理方法。在VisualC++6.0编程环境下,根据实际需求编写了数据分析处理软件。经过实验验证和实际数据测试,提出的方法可以有效地对大容量数据文件进行分析、处理,且已成功应用于多个航天测试项目,取得了较为理想的分析结果,为相关测试、试验提供了依据。 展开更多

关键词 航天测试 大容量数据 数据处理 VISUAL C++6.0 应用程序接口

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内弹道多参数同步测试 被引量：2

5

作者 裴东兴 孙正席 +2 位作者 祖静 马铁华 张瑜 《火力与指挥控制》 CSCD 北大核心 2014年第3期155-158,共4页

针对内弹道单参量信息不能满足身管武器发展的问题,在已取得内弹道单参量测试成果的基础上,结合新概念动态测试,提出了基于光纤的多测试仪内弹道测试同步触发技术,该方法利用光纤传感器同步触发各测试仪以实现同时全面获取内弹道各参数... 针对内弹道单参量信息不能满足身管武器发展的问题,在已取得内弹道单参量测试成果的基础上,结合新概念动态测试,提出了基于光纤的多测试仪内弹道测试同步触发技术,该方法利用光纤传感器同步触发各测试仪以实现同时全面获取内弹道各参数(包括弹底压力、膛底压力、膛内温度和弹丸的三轴加速度以及转速等)的数据。实验表明:同步触发获得多参数后,可以分析各参量存在的固有关系,验证测试结果的可靠性和正确性,实现身管武器测评的信息化。 展开更多

关键词 测试 内弹道 同步

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角速度传感测试系统中锁频模块的应用研究 被引量：2

6

作者 张蔚云 闫树斌 +1 位作者 薛晨阳 甄国涌 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2014年第3期12-14,共3页

介绍了一种基于光纤环形腔的角速度传感测试系统,通过对几个重要电路模块的分析,描述了系统中用来实现对激光器反馈控制和对谐振点跟踪锁定的锁频电路模块。实验结果证明:该电路模块能够将透射峰锁定在最低点,将激光器中心频率始终锁定... 介绍了一种基于光纤环形腔的角速度传感测试系统,通过对几个重要电路模块的分析,描述了系统中用来实现对激光器反馈控制和对谐振点跟踪锁定的锁频电路模块。实验结果证明:该电路模块能够将透射峰锁定在最低点,将激光器中心频率始终锁定在谐振点处,一定时间内转台转速小于1 r/s时,锁频精细度高。 展开更多

关键词 光纤环 锁频电路 精细度

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航天测试系统大容量数据曲线绘制方法的研究 被引量：4

7

作者 马志刚 刘文怡 《图学学报》 CSCD 北大核心 2014年第4期623-629,共7页

在航天测试领域,为体现测试系统的变化情况或状态,经常需要以曲线形式再现测试数据。针对曲线绘制中的大容量数据处理问题,采用"分块读取"方式,可以满足超过4 GB的大容量数据文件的处理。当数据量较大时,一般的绘图方法会出... 在航天测试领域,为体现测试系统的变化情况或状态,经常需要以曲线形式再现测试数据。针对曲线绘制中的大容量数据处理问题,采用"分块读取"方式,可以满足超过4 GB的大容量数据文件的处理。当数据量较大时,一般的绘图方法会出现程序执行效率不高、显示区域闪烁的问题。分析了产生上述问题的原因,利用MFC中的API函数"Polyline"优化了绘图程序,进而提高了绘图程序的执行效率;采用双缓冲方法消除了曲线显示时绘图区闪烁的问题,同时进一步缩短了绘图时间。 展开更多

关键词 航天测试 大容量数据 曲线绘制 MFC “Polyline”函数 双缓冲方法

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分布式FBG的粮仓温度监测系统实验研究 被引量：2

8

作者 刘少聪 原鹏飞 +4 位作者 侯晔星 赵辉 王高 赵宇 李仰军 《光通信技术》 CSCD 北大核心 2012年第11期50-52,共3页

提出了一种新型的粮仓温度监测系统,即利用分布式光纤布喇格光栅传感系统从整体上实现对温度的实时监测。在实验基础上,利用origin软件作出了温度与中心波长的关系图,同时与作为标准的K型热电偶测量数据进行对比,偏差曲线显示光纤布喇... 提出了一种新型的粮仓温度监测系统,即利用分布式光纤布喇格光栅传感系统从整体上实现对温度的实时监测。在实验基础上,利用origin软件作出了温度与中心波长的关系图,同时与作为标准的K型热电偶测量数据进行对比,偏差曲线显示光纤布喇格光栅测得温度与标准温度接近,偏差在±0.45℃的范围内,表明本监测系统的测量准确度较高,可以满足粮仓温度监测的要求。 展开更多

关键词 光纤布喇格光栅 粮仓温度 监测

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利用新设计磨具对铌酸锂晶片的减薄及减薄后的测试 被引量：3

9

作者 杜文龙 梁庭 +2 位作者 薛晨阳 唐建军 叶挺 《材料科学与工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期934-937,共4页

铌酸锂晶体具有较强的热释电效应,由铌酸锂制作的红外传感器敏感头受到科研人员的广泛关注。将晶片与硅衬底在200°C和压力100N的条件下键合,利用自行设计的磨具将铌酸锂减薄到40微米,磨料由水与刚玉以1∶1的比例制成。本文讨论了... 铌酸锂晶体具有较强的热释电效应,由铌酸锂制作的红外传感器敏感头受到科研人员的广泛关注。将晶片与硅衬底在200°C和压力100N的条件下键合,利用自行设计的磨具将铌酸锂减薄到40微米,磨料由水与刚玉以1∶1的比例制成。本文讨论了铌酸锂键合的过程,减薄的过程及厚度测试,通过拉曼光谱分析残余应力,通过原子力显微镜测试样品表面粗糙度。研究结果表明,通过自行设计的磨具研磨的晶片厚度最大差值7微米,较为均匀;研磨后晶片表面粗糙度为118纳米,较为粗糙;键合后存在一定的残余应力。制作好的铌酸锂晶片符合制作红外传感器敏感头的要求。 展开更多

关键词 铌酸锂 研磨 晶片 拉曼 原子力

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石墨烯晶体管的加工及测试研究 被引量：2

10

作者 王永存 薛晨阳 +3 位作者 刘耀英 田学东 张文栋 李铁 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第2期39-41,共3页

石墨烯晶体管因其超高响应频率和超小的体积成为新一代半导体基础器件的发展趋势。针对不同结构的石墨烯晶体管在电学特性上存在差异,通过化学气相沉积法(CVD)在铜箔上生长石墨烯薄膜,转移石墨烯薄膜到Si/SiO2基底上,经过光刻、等离子... 石墨烯晶体管因其超高响应频率和超小的体积成为新一代半导体基础器件的发展趋势。针对不同结构的石墨烯晶体管在电学特性上存在差异,通过化学气相沉积法(CVD)在铜箔上生长石墨烯薄膜,转移石墨烯薄膜到Si/SiO2基底上,经过光刻、等离子体刻蚀、电子束蒸发和ALD等工艺制备出顶栅结构的石墨烯晶体管和背栅结构的石墨烯晶体管,通过测试两种结构的石墨烯晶体管,比较了顶栅结构的晶体管和背栅结构的晶体管的栅调制效果和开关比。分析得到,顶栅结构的石墨烯晶体管的栅调制效果和开关比好于背栅结构的石墨烯晶体管。 展开更多

关键词 石墨烯 晶体管 氧等离子体刻蚀 狄拉克点 开关比 栅调制

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飞行体姿态惯性测量技术综述 被引量：12

11

作者 梁志剑 马铁华 +1 位作者 范锦彪 曹咏弘 《探测与控制学报》 CSCD 北大核心 2010年第5期11-15,共5页

为了研究弹道修正查阅了大量的惯性测量技术相关文献,收获颇丰。为了使读者也对惯性测量有较全面了解,特作综述。读者可从单种惯性器件测量技术及惯性测量组合技术两方面着手研究。从最早的刚体转子陀螺仪发展为光纤陀螺仪,从六加速度... 为了研究弹道修正查阅了大量的惯性测量技术相关文献,收获颇丰。为了使读者也对惯性测量有较全面了解,特作综述。读者可从单种惯性器件测量技术及惯性测量组合技术两方面着手研究。从最早的刚体转子陀螺仪发展为光纤陀螺仪,从六加速度计组合发展为目前较为广泛使用的九加速度计组合,无论单陀螺仪组合还是单加速度计组合都无法克服本身所固有的性能缺陷,如测量精度低、成本高、性能差;而不同惯性测量组合技术的提出,正是弥补了这一缺陷,它基于信息融合的技术,利用多种测量器件性能互补的特性,提高了测量精度,降低了成本、改善了性能。 展开更多

关键词 飞行体 飞行姿态 加速度计 惯性 测量组合

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光纤腔动态谐振响应特性 被引量：11

12

作者 徐鹏飞 张建辉 +5 位作者 孟祥然 马可贞 赵宇 张文栋 薛晨阳 闫树斌 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2013年第3期599-604,共6页

光纤环形谐振腔的动态响应特性对其传感应用具有重要影响。为了抑制动态响应,利用多光束干涉原理对其产生原因进行了分析;通过实验测试得到了动态响应的临界振荡条件,并进一步分析了光功率对该临界条件的影响,实验结果与理论分析一致。... 光纤环形谐振腔的动态响应特性对其传感应用具有重要影响。为了抑制动态响应,利用多光束干涉原理对其产生原因进行了分析;通过实验测试得到了动态响应的临界振荡条件,并进一步分析了光功率对该临界条件的影响,实验结果与理论分析一致。同时,针对动态响应对谐振特性的干扰问题,测试了激光器调制参数对动态响应下振荡强度的影响,为传感系统中的误差评估提供了参考依据。 展开更多

关键词 光纤环形谐振腔 动态响应 振荡现象 光纤传感

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谐振式陀螺检测信号调制技术研究 被引量：4

13

作者 张建辉 徐鹏飞 +3 位作者 马可贞 薛晨阳 张文栋 闫树斌 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期946-949,共4页

谐振式光纤陀螺R-FOG(Resonator Fiber Optic Gyro)是基于Sagnac效应产生的谐振频率差来测试旋转角速率的一种新型传感器。实验对比了三种调制波形对谐振信号信噪比的影响,分析了锯齿波调制中复位脉冲问题以及三角波调制中的瞬态响应问... 谐振式光纤陀螺R-FOG(Resonator Fiber Optic Gyro)是基于Sagnac效应产生的谐振频率差来测试旋转角速率的一种新型传感器。实验对比了三种调制波形对谐振信号信噪比的影响,分析了锯齿波调制中复位脉冲问题以及三角波调制中的瞬态响应问题,确定了正弦波为最佳调制波形,提高了谐振信号的信噪比。在陀螺系统的锁频环路中,通过正弦波调制、解调得到了用于边带锁频(PDH)技术稳频的解调曲线,验证了正弦波调制方法的可行性及优越性。 展开更多

关键词 光纤光学 谐振式陀螺 相位调制 信噪比 解调曲线

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银纳米颗粒的物理可控生长技术 被引量：2

14

作者 翟超 唐军 +4 位作者 温焕飞 薛晨阳 刘俊 丁宇凯 曹卫达 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第1期103-106,共4页

目前纳米颗粒的合成方法基本都无法实现纳米颗粒的高纯度可控生长,制约着纳米颗粒的应用发展需求,我们课题组采用全新技术,利用物理合成法——气相凝聚法,通过调节气相凝聚工艺中的工艺参数,制备了粒径可控、密度可控、可重复性的银纳... 目前纳米颗粒的合成方法基本都无法实现纳米颗粒的高纯度可控生长,制约着纳米颗粒的应用发展需求,我们课题组采用全新技术,利用物理合成法——气相凝聚法,通过调节气相凝聚工艺中的工艺参数,制备了粒径可控、密度可控、可重复性的银纳米颗粒,实现了物理方法对纳米颗粒生长的可控制,且该方法简单、有效、可重复操作。接着采用龙胆紫生物大分子作为探针,进一步研究了粒径、密度不同的银纳米颗粒薄膜的表面增强拉曼散射(SERS)和表面增强荧光(SEF)效应,结合理论,验证了该物理方法对纳米颗粒的可控生长,同时进行了纳米颗粒薄膜在生化传感方面的高灵敏检测应用探索。 展开更多

关键词 物理气相凝聚 可控制备 银纳米颗粒 表面增强拉曼散射 表面增强荧光 生化传感

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斜入射引入动态多重散射机制的激光散斑抑制 被引量：2

15

作者 徐美芳 高文宏 +2 位作者 石云波 王浩全 杜彬彬 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期1716-1721,共6页

散斑抑制一直是激光显示技术的研究热点。对激光光束经SiO2溶液所形成散斑的特性分析,建立了多重散射与散斑颗粒大小的联系。结合动态光散射理论,提出利用斜入射引入动态多重散射机制的激光散斑抑制方法,并构建由静态散射片和装有粒径为... 散斑抑制一直是激光显示技术的研究热点。对激光光束经SiO2溶液所形成散斑的特性分析,建立了多重散射与散斑颗粒大小的联系。结合动态光散射理论,提出利用斜入射引入动态多重散射机制的激光散斑抑制方法,并构建由静态散射片和装有粒径为300nm、摩尔浓度为3.0×10-4μm-3的SiO2悬浮液的光通管组成的散斑抑制装置,将其置入激光显示系统的光源部分。针对光束以不同入射角进入SiO2悬浮液对散斑图像对比度影响进行了系统实验分析。结果表明,光束以约8°进入SiO2悬浮液能将散斑图像的对比度从0.43降低至0.067。通过该方法实现了散斑颗粒的空间平均和散斑图像的时间平均,提高了散斑抑制的效果。散斑抑制单元无需振动装置且便于集成到激光投影系统中,不仅提高了系统的可靠性也减小了成本。 展开更多

关键词 激光显示 激光散斑 动态多重散射 散斑抑制

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谐振式光学陀螺的快速锁频技术 被引量：1

16

作者 任勇峰 于淼 +1 位作者 焦新泉 郑永秋 《实验室研究与探索》 CAS 北大核心 2018年第4期35-37,44,共4页

通过搭建谐振式光学陀螺(R-MOG)测试系统,对光纤环形谐振腔(FRR)的谐振特性及其一次谐波特性进行分析,提出一种数字比例(PI)闭环反馈控制的方法,将光源的输出频率精确锁定在环路的谐振频率点处。采用数字锁频方式应用于R-MOG中,优化锁... 通过搭建谐振式光学陀螺(R-MOG)测试系统,对光纤环形谐振腔(FRR)的谐振特性及其一次谐波特性进行分析,提出一种数字比例(PI)闭环反馈控制的方法,将光源的输出频率精确锁定在环路的谐振频率点处。采用数字锁频方式应用于R-MOG中,优化锁频技术,实现谐振频率在4 000 s的锁定,稳定度优于9×10^(-12)。测试表明,该数字锁频技术提高了陀螺的灵敏度和输出稳定度,具有快速、准确及适用范围广等优点,为R-MOG提供了新的检测方法,具有较高的工程应用价值。 展开更多

关键词 谐振式光学陀螺 锁频 光纤环形谐振腔 数字比例积分反馈控制

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外界环境对微球腔品质因数的影响 被引量：13

17

作者 张宇光 李鹏 +4 位作者 王丽 马培娇 严英占 刘俊 闫树斌 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期803-806,共4页

光学微腔由于其高品质因子（Q）特性具有广泛的应用前景.本文以光学微球腔为例分析了影响Q的各种因素,并通过实验研究分析了光学微球腔所处环境对Q的影响.选用直径约为260μm的典型微球腔与锥形光纤进行耦合,通过透射谱的变化来反应Q的... 光学微腔由于其高品质因子（Q）特性具有广泛的应用前景.本文以光学微球腔为例分析了影响Q的各种因素,并通过实验研究分析了光学微球腔所处环境对Q的影响.选用直径约为260μm的典型微球腔与锥形光纤进行耦合,通过透射谱的变化来反应Q的变化,结果表明,微球腔周围水蒸气的光吸收损耗和粉尘的散射损耗对微球腔的Q影响较大,能够导致Q降低1~2个数量级. 展开更多

关键词 微球腔 品质因数 吸收 散射

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高g值加速度传感器的窄脉冲校准理论与方法 被引量：15

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作者 范锦彪 王燕 +2 位作者 徐鹏 祖静 林祖森 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2012年第9期1242-1245,共4页

针对高g值加速度传感器动态特性校准中遇到的激励窄脉冲的宽度问题,提出了适用于高g值加速度传感器动态特性的窄脉冲校准准则。该准则给出了对不同谐振频率的高g值加速度传感器的动态特性进行校准时,校准所需的激励窄脉冲的最大脉冲宽... 针对高g值加速度传感器动态特性校准中遇到的激励窄脉冲的宽度问题,提出了适用于高g值加速度传感器动态特性的窄脉冲校准准则。该准则给出了对不同谐振频率的高g值加速度传感器的动态特性进行校准时,校准所需的激励窄脉冲的最大脉冲宽度与传感器谐振频率的关系。依据该准则设计了窄脉冲校准系统,并对8309型高g值加速度传感器进行了校准实验。实验结果表明,该准则对于高g值加速度传感器频率响应特性的校准是有效的,按照该准则所定脉宽的脉冲能够激起被较准的高g值加速度传感器的各阶谐振频率。 展开更多

关键词 测试计量技术及仪器 动态校准 窄脉冲激励 高g值加速度传感器

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标矢量水听器阵列的定向性能对比研究 被引量：5

19

作者 陈桂英 刘慧敏 +2 位作者 邢丽萍 张国军 张文栋 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2014年第4期91-93,97,共4页

随着信号频率的不断降低,标量水听器阵列在保持一定增益、束宽的条件下,阵列孔径越来越大;而且,标量水听器阵列的方位分辨存在左右舷模糊的问题。而矢量水听器阵列能够解决上述问题。文中采用三元均匀线阵进行实验,分别从阵列单频信号... 随着信号频率的不断降低,标量水听器阵列在保持一定增益、束宽的条件下,阵列孔径越来越大;而且,标量水听器阵列的方位分辨存在左右舷模糊的问题。而矢量水听器阵列能够解决上述问题。文中采用三元均匀线阵进行实验,分别从阵列单频信号定向、阵列增益和阵列的静、动态目标方位历程估计三个方面对标量水听器阵列和矢量水听器阵列的定向性能进行了比较。实验结果表明:矢量水听器阵列的灵敏度更高,定向和定位更精确,能够克服左右舷模糊问题,能够获得更高的信噪比,不仅能对静态目标进行方位估计,而且还能对动态目标进行方位估计,表明矢量水听器阵列在提取信号方面具有更大的优势。 展开更多

关键词 标量水听器阵列 矢量水听器阵列 信噪比 定向 方位估计

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高Q值环形波导微谐振腔研究进展 被引量：4

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作者 晋玉剑 薛晨阳 +2 位作者 丑修建 刘俊 张文栋 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第13期65-69,共5页

基于高Q值环形波导微谐振腔和微加工工艺的微光机电器件及系统是当前微纳制造科学和量子光学技术领域的研究热点。主要分析了环形波导微谐振腔的物理作用及应用价值,系统综述了环形波导微谐振腔Q值的测量方法,重点讨论了硅基环形波导微... 基于高Q值环形波导微谐振腔和微加工工艺的微光机电器件及系统是当前微纳制造科学和量子光学技术领域的研究热点。主要分析了环形波导微谐振腔的物理作用及应用价值,系统综述了环形波导微谐振腔Q值的测量方法,重点讨论了硅基环形波导微谐振腔Q值的影响因素,从材料、结构设计、加工工艺方面分析了提高环形波导微谐振腔Q值的技术途径,指出了当前高Q值环形波导微谐振腔研究存在的技术瓶颈问题,并展望了未来的发展趋势。 展开更多

关键词 光波导 微谐振腔 高Q值 微光机电系统

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