期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
AFM悬臂定位系统中光干涉误差及减小方法研究(英文)
被引量：
3
1
作者
黄强先
万耿华
+4 位作者
谢鸿
权太聪
三隅伊知子
金泰皓
黑泽富藏
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期217-223,共7页
光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法。由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露。被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针—试样接近曲线中产生光干涉误差。基于...
光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法。由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露。被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针—试样接近曲线中产生光干涉误差。基于轻触模式AFM,分析了光干涉误差的产生原因,并对其引起的AFM测量误差进行了数学分析和仿真、提出了减小光干涉误差的方法。实验结果和理论分析表明,为了进一步提高AFM的测量精度,有必要克服定位系统中的光干涉误差。
展开更多
关键词
干涉误差
光杠杆法
悬臂
原子力显微镜
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
AFM悬臂定位系统中光干涉误差及减小方法研究(英文)
被引量：
3
1
作者
黄强先
万耿华
谢鸿
权太聪
三隅伊知子
金泰皓
黑泽富藏
机构
合肥工业大学仪器科学与光电工程学
院
产业技术综合研究所日本国家计量院筑波
合肥工业大学计算机与信息学
院
产业
技术
综合
研究所
日本
国家
计量
院
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007年第2期217-223,共7页
基金
Supported by the Foundation of Creating Research Group Programme, Hefei University of Technology, and Provincial Key Labora-tory "Quality Engineering of Modern Test and Manufacture" Foundation of Anhui
文摘
光杠杆法是原子力显微镜(AFM)悬臂定位的主要方法。由于悬臂自身的尺寸和材料特性、检测光路系统等因素制约,悬臂弯曲测量时存在光泄露。被试样表面反射的部分泄露光与悬臂反射光产生干涉,在探针—试样接近曲线中产生光干涉误差。基于轻触模式AFM,分析了光干涉误差的产生原因,并对其引起的AFM测量误差进行了数学分析和仿真、提出了减小光干涉误差的方法。实验结果和理论分析表明,为了进一步提高AFM的测量精度,有必要克服定位系统中的光干涉误差。
关键词
干涉误差
光杠杆法
悬臂
原子力显微镜
Keywords
interference error
optical lever method
cantilever
AFM
分类号
TH71 [机械工程—测试计量技术及仪器]
TH89 [机械工程—精密仪器及机械]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
AFM悬臂定位系统中光干涉误差及减小方法研究(英文)
黄强先
万耿华
谢鸿
权太聪
三隅伊知子
金泰皓
黑泽富藏
《仪器仪表学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2007
3
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
