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基于反射光谱的薄膜光学常数和厚度测试
被引量：
1
1
作者
吕永林
郑万祥
+7 位作者
李汝劼
张友良
唐莹娟
张伟涛
陈奕君
王贵全
李彦生
王乔方
《红外技术》
CSCD
北大核心
2024年第8期965-973,共9页
薄膜的光学常数(折射率、消光系数)和厚度决定了镀膜零件的光学性能,因此根据实际条件掌握薄膜的光学常数和厚度是膜系结构设计和性能优化的重要环节。本文采用傅里叶红外光谱仪测试薄膜样品的反射光谱曲线,通过单纯形优化算法拟合反射...
薄膜的光学常数(折射率、消光系数)和厚度决定了镀膜零件的光学性能,因此根据实际条件掌握薄膜的光学常数和厚度是膜系结构设计和性能优化的重要环节。本文采用傅里叶红外光谱仪测试薄膜样品的反射光谱曲线,通过单纯形优化算法拟合反射光谱曲线,借助不同色散模型,构建目标优化函数,获得薄膜光学常数和厚度,拟合结果与采用椭偏仪测试的结果具有较好的一致性。将拟合得到的薄膜光学参数及厚度代入反射率理论计算模型,通过理论计算模型得到的反射率曲线和实验测试曲线吻合良好,折射率测试结果与计算结果的最大相对误差小于1.8%,厚度测试结果的相对误差不大于0.4%,考虑消光系数的反射光谱拟合曲线与测试曲线相对误差的最大值小于2%。该方法只需测量薄膜的反射光谱曲线,通过计算就能得到薄膜的光学常数及厚度。该方法测试计算简单、精度高、适用范围广,对光学薄膜结构设计、优化和加工具有一定的实际应用价值。
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关键词
光学薄膜
反射光谱
折射率
薄膜厚度
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职称材料
基于红外激光干涉仪的非球面面形测试技术研究
被引量：
1
2
作者
李彦生
唐莹娟
+6 位作者
李汝劼
许红
苏斌
何雨纯
程敬辉
陈奕君
王乔方
《红外技术》
CSCD
北大核心
2022年第11期1243-1247,共5页
本文提出了一种基于红外激光干涉仪检测非球面面形的新方法,分为3个步骤:首先,利用红外激光干涉仪测量分析出非球面与标准球面之间的波像差;然后,根据非球面方程得出非球面与标准球面之间波像差的理论值;最后通过计算得出非球面的面形...
本文提出了一种基于红外激光干涉仪检测非球面面形的新方法,分为3个步骤:首先,利用红外激光干涉仪测量分析出非球面与标准球面之间的波像差;然后,根据非球面方程得出非球面与标准球面之间波像差的理论值;最后通过计算得出非球面的面形偏差。为验证这一方法的正确性和可靠性,采用ZYGO可见光干涉仪,使用补偿镜法测量了同一块抛物面反射镜的面形误差。结果表明,两种测量方法结果吻合。本新方法方便快捷,具有较强的通用性,可以用于非球面在加工过程中的面形测试。
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关键词
红外激光干涉仪
非球面面形
波像差
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职称材料
题名
基于反射光谱的薄膜光学常数和厚度测试
被引量：
1
1
作者
吕永林
郑万祥
李汝劼
张友良
唐莹娟
张伟涛
陈奕君
王贵全
李彦生
王乔方
机构
楚雄师范
学院
数学与计算机科学
学院
昆明物理研究所
云南开放大学光电与通信工程学院
昆明北方红外技术股份有限公司
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2024年第8期965-973,共9页
文摘
薄膜的光学常数(折射率、消光系数)和厚度决定了镀膜零件的光学性能,因此根据实际条件掌握薄膜的光学常数和厚度是膜系结构设计和性能优化的重要环节。本文采用傅里叶红外光谱仪测试薄膜样品的反射光谱曲线,通过单纯形优化算法拟合反射光谱曲线,借助不同色散模型,构建目标优化函数,获得薄膜光学常数和厚度,拟合结果与采用椭偏仪测试的结果具有较好的一致性。将拟合得到的薄膜光学参数及厚度代入反射率理论计算模型,通过理论计算模型得到的反射率曲线和实验测试曲线吻合良好,折射率测试结果与计算结果的最大相对误差小于1.8%,厚度测试结果的相对误差不大于0.4%,考虑消光系数的反射光谱拟合曲线与测试曲线相对误差的最大值小于2%。该方法只需测量薄膜的反射光谱曲线,通过计算就能得到薄膜的光学常数及厚度。该方法测试计算简单、精度高、适用范围广,对光学薄膜结构设计、优化和加工具有一定的实际应用价值。
关键词
光学薄膜
反射光谱
折射率
薄膜厚度
Keywords
optical thin film
reflection spectrum
refractive index
thin film thickness
分类号
O436 [机械工程—光学工程]
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职称材料
题名
基于红外激光干涉仪的非球面面形测试技术研究
被引量：
1
2
作者
李彦生
唐莹娟
李汝劼
许红
苏斌
何雨纯
程敬辉
陈奕君
王乔方
机构
昆明北方红外技术股份有限公司
昆明物理研究所
云南开放大学光电与通信工程学院
陆军装备部驻重庆地区军事代表局驻昆明地区第二军事代表室
出处
《红外技术》
CSCD
北大核心
2022年第11期1243-1247,共5页
文摘
本文提出了一种基于红外激光干涉仪检测非球面面形的新方法,分为3个步骤:首先,利用红外激光干涉仪测量分析出非球面与标准球面之间的波像差;然后,根据非球面方程得出非球面与标准球面之间波像差的理论值;最后通过计算得出非球面的面形偏差。为验证这一方法的正确性和可靠性,采用ZYGO可见光干涉仪,使用补偿镜法测量了同一块抛物面反射镜的面形误差。结果表明,两种测量方法结果吻合。本新方法方便快捷,具有较强的通用性,可以用于非球面在加工过程中的面形测试。
关键词
红外激光干涉仪
非球面面形
波像差
Keywords
infrared laser interferometer
aspheric surface
wave front aberration
分类号
TN219 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于反射光谱的薄膜光学常数和厚度测试
吕永林
郑万祥
李汝劼
张友良
唐莹娟
张伟涛
陈奕君
王贵全
李彦生
王乔方
《红外技术》
CSCD
北大核心
2024
1
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于红外激光干涉仪的非球面面形测试技术研究
李彦生
唐莹娟
李汝劼
许红
苏斌
何雨纯
程敬辉
陈奕君
王乔方
《红外技术》
CSCD
北大核心
2022
1
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职称材料
已选择
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