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磁控溅射制备CZTS薄膜的研究 被引量:2
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作者 李志山 王书荣 +3 位作者 蒋志 杨敏 刘涛 郝瑞亭 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第S1期127-131,共5页
本文采用单周期和多周期磁控溅射ZnS-SnS-Cu制备CZST薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、高倍光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和热探针对所制备的CZTS薄膜的晶体结构、拉曼位移、表面形貌、化学组分和导电... 本文采用单周期和多周期磁控溅射ZnS-SnS-Cu制备CZST薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱仪(Raman)、高倍光学显微镜、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和热探针对所制备的CZTS薄膜的晶体结构、拉曼位移、表面形貌、化学组分和导电类型进行研究分析。分析结果表明所制备CZTS薄膜的粘附性和结晶质量随着溅射周期的增加得到很大的改善所制备的CZTS无Cu_(2-x)S等其它二次相,且薄膜表面光滑、晶粒均匀致密、无孔洞。所制备的CZTS薄膜在化学组分是贫铜富锌(Cu/Zn+Sn≈0.88,Zn/Sn≈1.09),符合高效率太阳能电池吸收层的要求。 展开更多
关键词 磁控溅射 CZTS 薄膜电池 硫化
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单质靶溅射制备CZTS薄膜及太阳电池 被引量:1
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作者 蒋志 李志山 +4 位作者 杨敏 刘思佳 刘涛 郝瑞亭 王书荣 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第12期3582-3587,3592,共7页
采用单质靶磁控溅射制备Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜,研究了薄膜的元素组分、升温速率、硫化温度对薄膜表面平整性以及晶粒尺寸的影响。通过SEM与AFM表征薄膜的表面形貌与表面粗糙度,用EDS检测薄膜的元素组分。所制备的样品的Cu/(Zn+Sn)、Zn... 采用单质靶磁控溅射制备Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜,研究了薄膜的元素组分、升温速率、硫化温度对薄膜表面平整性以及晶粒尺寸的影响。通过SEM与AFM表征薄膜的表面形貌与表面粗糙度,用EDS检测薄膜的元素组分。所制备的样品的Cu/(Zn+Sn)、Zn/Sn处于最优范围。通过XRD及Raman检测薄膜的结晶情况以及薄膜中的二次相,经上述测试分析判定CZTS薄膜品质良好。最终制备出以CZTS为吸收层的薄膜太阳电池,并用I^V特性检验了CZTS电池性能参数,得到效率为0.83%的CZTS薄膜太阳电池,并通过改进硫化退火工艺将效率提高至1.58%。 展开更多
关键词 CZTS薄膜 磁控溅射 硫化 转换效率
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磁控溅射法制备铜锌锡硫薄膜电池 被引量:1
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作者 杨敏 王书荣 +6 位作者 蒋志 李志山 刘思佳 郭任君 唐语 郝瑞亭 杨培志 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第S1期222-226,共5页
采用磁控溅射法,先在镀钼的钠钙玻璃衬底上共溅射Cu、Sn金属层后,然后在顶部溅射一层Zn S,制备出Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜的预制层。对预制层进行低温合金,然后以硫粉作为硫源在石英管中进行高温硫化,得到表面平整但晶粒较小的CZTS薄膜。... 采用磁控溅射法,先在镀钼的钠钙玻璃衬底上共溅射Cu、Sn金属层后,然后在顶部溅射一层Zn S,制备出Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜的预制层。对预制层进行低温合金,然后以硫粉作为硫源在石英管中进行高温硫化,得到表面平整但晶粒较小的CZTS薄膜。通过X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)及能谱仪(EDS)分别对薄膜的晶体结构、表面形貌和薄膜组分进行分析表征;并用拉曼光谱表征了CZTS相的纯度。最后用所得到的CZTS薄膜制备了太阳电池,其开路电压:Voc=442 m V,短路电流密度:Jsc=5.08 m A/cm^2,光电转换效率达到0.62%。 展开更多
关键词 铜锌锡硫(CZTS) 磁控溅射 硫化 薄膜太阳电池
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磁控溅射金属预置层后硒化制备Cu_2ZnSnSe_4薄膜
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作者 李志山 王书荣 +6 位作者 蒋志 杨敏 刘思佳 郭任君 唐语 郝瑞亭 杨培志 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2015年第S1期198-201,206,共5页
采用磁控溅射Zn-Cu-Sn-Cu金属预置层并后硒化的方法在镀钼玻璃衬底上制备了CZTSe薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱测试仪(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和热探针对所制备CZTSe薄膜的晶相结构、拉曼位移、表面形貌、化... 采用磁控溅射Zn-Cu-Sn-Cu金属预置层并后硒化的方法在镀钼玻璃衬底上制备了CZTSe薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、拉曼光谱测试仪(Raman)、扫描电子显微镜(SEM)、能谱仪(EDS)和热探针对所制备CZTSe薄膜的晶相结构、拉曼位移、表面形貌、化学组分和导电类型进行表征分析,分析结果表明:所制备CZTSe薄膜结晶质量好、无二次相、晶粒均匀致密、化学组分是贫铜富锌的,且导电类型为p型,符合高效率太阳电池吸收层的要求。将CZTSe吸收层制备成有效面积为0.35 cm2的Mo/CZTSe/Cd S/i-ZnO/Zn O:Al/Ni-Al电池,其效率为1.17%,开路电压为419 m V,短路电流密度为10.21 m A/cm^2,填充因子为27%。 展开更多
关键词 磁控溅射 CZTSe 硒化 开路电压
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硫化温度-时间曲线对铜锌锡硫薄膜性能的影响
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作者 李琦 蒋志 +5 位作者 杨剑 杨敏 陆熠磊 刘思佳 徐信 王书荣 《人工晶体学报》 CSCD 北大核心 2017年第9期1720-1727,共8页
采用溅射法制备含硫预制层,硫化时采用不同的升温速率对经过合金处理的含硫预制层进行退火硫化。通过表征薄膜的表面粗糙度,致密性,均匀性来研究硫化时升温速率对薄膜表面形貌的影响。结果表明当升温速率变慢时,薄膜中的CZTS颗粒逐渐增... 采用溅射法制备含硫预制层,硫化时采用不同的升温速率对经过合金处理的含硫预制层进行退火硫化。通过表征薄膜的表面粗糙度,致密性,均匀性来研究硫化时升温速率对薄膜表面形貌的影响。结果表明当升温速率变慢时,薄膜中的CZTS颗粒逐渐增大,虽然较大的颗粒能减少单位面积内的晶界,但是薄膜的表面粗糙度却随颗粒尺寸的增大而逐渐下降。通过对薄膜的元素组分、晶体结构、相成分进行了检测,确定出薄膜的成分为贫铜富锌的单相锌黄锡矿。再通过测量相应的没有Mo层的CZTS薄膜样品的光电特性来间接的反映拥有Mo层的CZTS薄膜的光电特性。最终制备出结构为SLG/Mo/CZTS/Cd S/i-Zn O/AZO/Ni/Al-grid的CZTS薄膜太阳电池,其中转换效率最高的电池为3.60%。 展开更多
关键词 CZTS薄膜 太阳电池 磁控溅射 硫化 转换效率
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