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用透表法研究硅化钯二极管SBD与EBIC法的比较
1
作者
胡问国
肖玲
+7 位作者
林一平
梁竹关
李亚文
李萍
徐晓华
王建
周开邻
Rau E I
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2006年第B08期142-143,共2页
关键词
肖特基势垒二极管
IC法
硅化
SBD
无损检测方法
钯
结特性
P型硅
在线阅读
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职称材料
应用透表法透过Si_3N_4+SiO_2钝化层内窥透视成品IC的研究
2
作者
胡问国
肖玲
+7 位作者
林一平
梁竹关
李亚文
李萍
兰得春
王建
周开邻
Rau E I
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2006年第B08期183-183,共1页
关键词
钝化层
成品
内窥
IC
应用
集成电路
微结构
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职称材料
题名
用透表法研究硅化钯二极管SBD与EBIC法的比较
1
作者
胡问国
肖玲
林一平
梁竹关
李亚文
李萍
徐晓华
王建
周开邻
Rau E I
机构
云南大学物理技术学院
云南大学
信息
学院
昆明
物理
研究所
莫斯科
大学
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2006年第B08期142-143,共2页
基金
国家自然科学基金NSFC资助项目(No.60227102)
国家科学技术部973前期项目资助
关键词
肖特基势垒二极管
IC法
硅化
SBD
无损检测方法
钯
结特性
P型硅
分类号
TN315 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
应用透表法透过Si_3N_4+SiO_2钝化层内窥透视成品IC的研究
2
作者
胡问国
肖玲
林一平
梁竹关
李亚文
李萍
兰得春
王建
周开邻
Rau E I
机构
云南大学物理技术学院
云南大学
信息
学院
昆明
物理
研究所
莫斯科
大学
出处
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2006年第B08期183-183,共1页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.60227102)
国家科学技术部973前期项目资助
关键词
钝化层
成品
内窥
IC
应用
集成电路
微结构
分类号
TN407 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
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1
用透表法研究硅化钯二极管SBD与EBIC法的比较
胡问国
肖玲
林一平
梁竹关
李亚文
李萍
徐晓华
王建
周开邻
Rau E I
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2006
0
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职称材料
2
应用透表法透过Si_3N_4+SiO_2钝化层内窥透视成品IC的研究
胡问国
肖玲
林一平
梁竹关
李亚文
李萍
兰得春
王建
周开邻
Rau E I
《电子显微学报》
CAS
CSCD
2006
0
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职称材料
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