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教育技术学专业硕士学位论文评价系统研究 被引量：7
1
作者 欧阳明 饶钦焕 杨维 《电化教育研究》 CSSCI 北大核心 2010年第8期86-88,共3页
教育技术学专业硕士学位论文评价属于教育技术学中的一个评价问题,而评价活动包含着极其复杂的人为因素,又是一个复杂性问题。面对这样的问题,根据复杂系统理论,运用综合集成方法,建立起教育技术学专业硕士学位论文评价体系,并开发出计... 教育技术学专业硕士学位论文评价属于教育技术学中的一个评价问题,而评价活动包含着极其复杂的人为因素,又是一个复杂性问题。面对这样的问题,根据复杂系统理论,运用综合集成方法,建立起教育技术学专业硕士学位论文评价体系,并开发出计算机评价系统,使教育技术学专业硕士学位论文评价既科学又便捷,具有较强的操作性和推广价值。 展开更多
关键词 教育技术 学位论文 评价系统 复杂性系统理论
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高原深水湖泊水温日成层对溶解氧、酸碱度、总磷浓度和藻类密度的影响:以云南阳宗海为例 被引量：24
2
作者 袁琳娜 杨常亮 +5 位作者 李晓铭 李世玉 申时立 李智圆 刘仍兵 刘楷 《湖泊科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第1期161-168,共8页
弄清深水湖泊夏季水温分层及其对水体各理化指标的影响对于湖泊的保护和治理有重要意义.以云南阳宗海为例,在夏季选择湖泊内有代表性的6个样点,以1 m为间隔对每个样点不同水深的水温、藻蓝蛋白、DO、pH和叶绿素a含量进行同步测定,同时... 弄清深水湖泊夏季水温分层及其对水体各理化指标的影响对于湖泊的保护和治理有重要意义.以云南阳宗海为例,在夏季选择湖泊内有代表性的6个样点,以1 m为间隔对每个样点不同水深的水温、藻蓝蛋白、DO、pH和叶绿素a含量进行同步测定,同时在实验室测定TP.结果表明：（1）夏季晴天阳宗海上午没有明显的分层,中午开始慢慢形成4层,随后转化到3层,在14：00时达到分层相对稳定,稳定时温跃层出现在水深9~13 m处,湖表层与深水层的最大温差为7.8℃;（2）随着水温出现分层,DO和pH呈现出与水温分层相似的垂直分层结构,而这种分层过程基本上与水温成层过程同步;（3）藻类和浮游植物随水温分层而逐渐成层,但有迟滞性,迟滞时间约2 h;（4）TP对水温分层不敏感,只有接近湖底的水体总磷浓度才明显升高,9 m以上的水层总磷浓度分布均匀,水温的分层与消失过程不影响上层水的总磷浓度,全湖泊的总磷平均浓度为0.033±0.03 mg/L. 展开更多
关键词 水体理化指标 阳宗海 水温分层 叶绿素A 垂向分布
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化学-生物联合浸出次生硫化铜精矿的研究 被引量：9
3
作者 张婧 邹平 +3 位作者 孙珮石 赵思琪 李传宽 王洁 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期122-127,共6页
针对次生硫化铜精矿在传统火法炼铜工艺中存在的高能耗和环境污染严重等问题,以及单独生物法浸出存在的浸出周期长、浸出速度慢等缺点,创新性地提出了化学-生物联合浸出新工艺,即在生物浸出初期接种浸矿菌种的同时还加入适量化学氧化剂... 针对次生硫化铜精矿在传统火法炼铜工艺中存在的高能耗和环境污染严重等问题,以及单独生物法浸出存在的浸出周期长、浸出速度慢等缺点,创新性地提出了化学-生物联合浸出新工艺,即在生物浸出初期接种浸矿菌种的同时还加入适量化学氧化剂硫酸高铁。实验结果表明,浸出8 d,化学-生物联合浸出的铜浸出率达98.26%,比单独生物法高41.92个百分点,比单独化学氧化法高27.31个百分点。 展开更多
关键词 铜精矿 次生硫化铜矿 化学-生物联合浸出 生物法浸出 化学法浸出
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水体藻类磷代谢及藻体磷矿化研究进展 被引量：28
4
作者 张胜花 常军军 孙珮石 《生态环境学报》 CSCD 北大核心 2013年第7期1250-1254,共5页
富营养化已成为我国大多数淡水水体面临的严重环境问题,水华形成是水生态系统对水体富营养化的响应。关于氮和磷导致湖泊富营养化和蓝藻水华暴发问题,一直是湖泊富营养化的研究热点。磷作为一种大多数湖泊富营养化的限制性因素,成为研... 富营养化已成为我国大多数淡水水体面临的严重环境问题,水华形成是水生态系统对水体富营养化的响应。关于氮和磷导致湖泊富营养化和蓝藻水华暴发问题,一直是湖泊富营养化的研究热点。磷作为一种大多数湖泊富营养化的限制性因素,成为研究湖泊富营养化所考虑的重点之一。环境中磷的浓度、形态、来源以及不同的配比等都会对藻类的生长、代谢活动造成一定的影响,同时磷对浮游植物种类组成,特别是蓝藻的丰度有着重要的作用。水华藻类爆发性生长时对磷的吸收及水华消亡时藻类残体中磷的矿化释放是富营养化湖泊磷物质循环不可忽视的一个组成部分,在磷的生物地球化学循环中起着非常重要的作用。鉴于此,该文综述了藻类对磷的吸收代谢及藻类残体磷矿化释放方面的研究进展,重点阐述了藻类对磷的吸收、对磷限制响应的生理机制、藻体碱性磷酸酶、磷吸收能力对藻类竞争的影响等和藻体磷的矿化释放规律及影响因素。最后在对已有研究分析的基础上,提出藻类磷代谢及藻体磷矿化方面研究的不足之处,并就藻类储磷位点、有机磷降解途径和利用方式、藻类死亡后无机磷和有机磷矿化释放机制及其对二次水华的贡献评估等方面进行了展望,以期为进一步探讨水华藻类之间的磷竞争机制和湖泊富营养化治理提供科学依据。 展开更多
关键词 水华蓝藻 磷代谢 碱性磷酸酶 磷矿化
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伊乐藻中有机酸的GC-MS分析及其抑藻作用研究 被引量：16
5
作者 王红强 朱慧杰 +5 位作者 张丽萍 张胜花 刘碧云 胡陈艳 葛芳杰 吴振斌 《环境科学与技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第7期23-26,174,共5页
防治湖泊富营养化和藻类水华是当代资源、环境、生态领域重大的科学和技术问题与热点之一。利用水生植物化感作用抑制藻类生长作为一种新型的生物抑藻技术在近年来开始受到研究者的重视,并取得了一定的研究成果。文章采用气相色谱-质谱(... 防治湖泊富营养化和藻类水华是当代资源、环境、生态领域重大的科学和技术问题与热点之一。利用水生植物化感作用抑制藻类生长作为一种新型的生物抑藻技术在近年来开始受到研究者的重视,并取得了一定的研究成果。文章采用气相色谱-质谱(GC-MS)联用技术分析了伊乐藻超纯水浸提液的乙酸乙酯萃取浸膏的化学成分,共鉴定出20种有机酸,还研究了其乙酸乙酯萃取浸膏对铜绿微囊藻的化感作用。结果表明,该总有机酸对铜绿微囊藻的生物量增长具有抑制作用。该结论为通过沉水植物恢复富营养化水体提供了重要依据。 展开更多
关键词 化感作用 伊乐藻 有机酸 铜绿微囊藻
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大生物量植物治理重金属重度污染废弃地可行性的研究 被引量：18
6
作者 申时立 黎华寿 +1 位作者 夏北成 杨常亮 《农业环境科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第3期572-578,共7页
研究在重金属Cd、Cu、Pb和Zn重度污染的矿山废弃地上种植天绿香和木薯,探讨利用天绿香和木薯治理重金属污染废弃农田的可行性。实验结果表明,通过种植天绿香和木薯均可实现对土壤中各重金属有效地提取。其中天绿香生物量可达10.07t·... 研究在重金属Cd、Cu、Pb和Zn重度污染的矿山废弃地上种植天绿香和木薯,探讨利用天绿香和木薯治理重金属污染废弃农田的可行性。实验结果表明,通过种植天绿香和木薯均可实现对土壤中各重金属有效地提取。其中天绿香生物量可达10.07t·hm-2,对4种重金属的提取每年每公顷可分别达到19710gZn,64.40gCd,144.52gCu和1760gPb;木薯生物量可达12.6t·hm-2,对4种重金属的提取每年每公顷可分别达到11095.45gZn,30.58gCd,712.07gCu和2174.69gPb。天绿香和木薯既可对重金属进行提取,同时还可作为能源植物实现对重金属污染废弃农田的复垦,天绿香和木薯是原位修复重金属污染农田的可行性材料。 展开更多
关键词 天绿香 木薯 重金属污染 植物修复
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不同激发剂激发建筑垃圾再生微粉活性研究 被引量：28
7
作者 李琴 张春红 孙可伟 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2016年第7期2187-2192,2197,共7页
本文选用五种不同的激发剂,在相同的条件下激发再生微粉的活性,以砂浆的抗压强度、孔隙率、平均孔径、SEM为指标,根据指标判断五种激发剂激发再生微粉的效果,实验结果表明:CaCl_2激发再生微粉效果最好,CaSO_4·2H_2O激发效果次之,N... 本文选用五种不同的激发剂,在相同的条件下激发再生微粉的活性,以砂浆的抗压强度、孔隙率、平均孔径、SEM为指标,根据指标判断五种激发剂激发再生微粉的效果,实验结果表明:CaCl_2激发再生微粉效果最好,CaSO_4·2H_2O激发效果次之,NaOH、Ca(OH)_2、Na_2SO_4激发效果稍差,但其再生微粉活性激发的效果都好于无激发剂作用的对比试样。 展开更多
关键词 活性激发剂 抗压强度 孔隙率 平均孔径
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某复杂铜镍矿的选矿试验研究 被引量：9
8
作者 赵晖 李永辉 +3 位作者 张汉平 李艳君 兰尧中 宋涛 《矿冶工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期50-53,共4页
某铜镍多金属矿含铜0.39%,含镍0.49%。为综合回收各有用矿物,采用"铜镍混合浮选-再磨分离"流程进行了详细的选矿工艺研究。闭路试验获得了铜品位19.02%、铜回收率60.47%的铜精矿,镍品位4.78%、镍回收率87.43%的镍精矿。
关键词 多金属矿 选矿 混合浮选 铜镍分离
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基于固态碳源强化作用下的反硝化系统应用研究进展 被引量：4
9
作者 董林 张胜花 +1 位作者 马璐瑶 常军军 《水处理技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第9期7-13,共7页
总结了天然生物质、合成有机多聚物等固态碳源在反硝化生物反应器、反硝化墙/床/栅、人工湿地3种常用硝氮去除工艺中的应用研究现状及其不足,分析了影响固态碳源作用下的反硝化系统脱氮效能的因素,并提出了固态碳源在反硝化系统应用中... 总结了天然生物质、合成有机多聚物等固态碳源在反硝化生物反应器、反硝化墙/床/栅、人工湿地3种常用硝氮去除工艺中的应用研究现状及其不足,分析了影响固态碳源作用下的反硝化系统脱氮效能的因素,并提出了固态碳源在反硝化系统应用中的研究发展趋势和方向,建议关注并着力解决天然植物质碳源可能带来的溶解性有机碳(DOC)和色度升高以及合成有机多聚物普遍成本较高等问题,优先选择废弃有机物质作为固态碳源,并对其作用下的不同反硝化系统进行工艺优化、固态碳源分解动力学及其与反硝化菌活性和数量变化的相关性等方面的研究。 展开更多
关键词 固态碳源 硝氮去除 反硝化生物反应器 反硝化墙/床/栅 人工湿地
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固化泥碳土无侧限抗压强度试验研究 被引量：7
10
作者 李琴 蒋卓吟 张春红 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期686-691,共6页
在水泥加固泥炭土研究基础上,选择几种不同的外加剂在不同用量下加固泥炭土。通过对加固泥炭土不同龄期抗压强度的分析,发现知水泥对泥炭土加固效果较好;石膏掺入量与固化泥炭土强度正相关;粉煤灰加固泥炭土在较长龄期效果明显;三乙醇... 在水泥加固泥炭土研究基础上,选择几种不同的外加剂在不同用量下加固泥炭土。通过对加固泥炭土不同龄期抗压强度的分析,发现知水泥对泥炭土加固效果较好;石膏掺入量与固化泥炭土强度正相关;粉煤灰加固泥炭土在较长龄期效果明显;三乙醇胺能提高固化泥炭土早期强度;固化泥炭土都随龄期延长而增加。并发现水泥、粉煤灰固化泥炭土的机理是生成更多的胶凝性物质胶结泥炭土颗粒;石灰、石膏固化泥炭土的机理是在胶凝的基础上生成针状钙矾石改善泥炭土微观孔隙结构,提高抗压强度。 展开更多
关键词 泥炭土 固化剂 水泥 抗压强度
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二次纤维的微波强化碱预处理及其氰乙基化改性研究 被引量：3
11
作者 张春红 孙可伟 +1 位作者 陈秋玲 孙珮石 《林产化学与工业》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第4期107-112,共6页
对二次纤维(SF)的微波强化碱预处理及其氰乙基化反应工艺及反应产物氰乙基化二次纤维(CSF)结构、性能和热塑化机理进行探讨。结果表明,在微波辐射功率200、400和600 W的作用条件下,辐射特定时间都能明显提高SF的反应程度、缩短反应时间... 对二次纤维(SF)的微波强化碱预处理及其氰乙基化反应工艺及反应产物氰乙基化二次纤维(CSF)结构、性能和热塑化机理进行探讨。结果表明,在微波辐射功率200、400和600 W的作用条件下,辐射特定时间都能明显提高SF的反应程度、缩短反应时间,微波连续辐射比间歇辐射更有利于提高SF的氰乙基化反应程度;SF的氰乙基化有消晶效果,CSF的结晶度降低随着含氮量的增加而不断降低、晶面间距增大;CSF具有热塑性,可热压成形;SF氰乙基化反应程度越高,CSF的热塑性能和力学性能越好;CSF之所以具有热塑化性,与SF引入取代基团—CH2CH2CN,纤维素的结晶结构遭到破坏而促进纤维素大分子或链段的运动有关。 展开更多
关键词 氰乙基化反应 微波强化 二次纤维 碱预处理 改性 辐射功率 反应产物 反应时间
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柠檬酸钾对选择性降低卷烟烟气中稠环芳烃释放量的研究 被引量：4
12
作者 李春 向能军 +2 位作者 王乃定 杨红艳 赵逸云 《应用化工》 CAS CSCD 2010年第1期90-92,95,共4页
为研究柠檬酸钾对主流烟气中稠环芳烃的选择性降低效果，采用湿法添加将不同量的柠檬酸钾溶液加到烟丝中，研究了不同添加量对焦油和烟气中稠环芳烃（PAHs）的影响。结果表明：①柠檬酸钾添加量在2‰—15‰范围内，随着添加量的增加，... 为研究柠檬酸钾对主流烟气中稠环芳烃的选择性降低效果，采用湿法添加将不同量的柠檬酸钾溶液加到烟丝中，研究了不同添加量对焦油和烟气中稠环芳烃（PAHs）的影响。结果表明：①柠檬酸钾添加量在2‰—15‰范围内，随着添加量的增加，焦油含量呈下降趋势；②苯并[α]蒽、屈、苯并[α]芘的含量随着添加量的增加而减少，当柠檬酸钾添加量为8‰时，3种稠环芳烃的含量达到最低值，降低率分别达到25.89％，29.71％，23.76％，随后随着添加量增加，含量也增加。 展开更多
关键词 柠檬酸钾 选择性降低 稠环芳烃 卷烟
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硫铁矿烧渣微生物脱硫试验研究 被引量：5
13
作者 周文博 邹平 孙珮石 《湿法冶金》 CAS 北大核心 2013年第4期270-273,共4页
研究了从高硫硫铁矿烧渣中微生物脱硫,考察了培养基种类、矿浆固液质量体积比、pH、细菌接种量、表面活性剂、温度及粒度等因素对微生物脱硫的影响。试验结果表明:在菌种接种量3%、矿浆pH=1.5、温度30℃条件下对固液质量体积比3∶10的... 研究了从高硫硫铁矿烧渣中微生物脱硫,考察了培养基种类、矿浆固液质量体积比、pH、细菌接种量、表面活性剂、温度及粒度等因素对微生物脱硫的影响。试验结果表明:在菌种接种量3%、矿浆pH=1.5、温度30℃条件下对固液质量体积比3∶10的硫酸渣矿浆进行脱硫,72h内,烧渣的硫质量分数由1.78%降至0.28%,脱硫率达86.02%,铁品位由53.78%提高到59.56%;脱硫后的烧渣符合铁精矿要求。 展开更多
关键词 生物氧化 嗜酸微生物 硫酸渣 脱硫 铁精矿
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生物质聚氨酯制备中微波预处理对液化的影响研究 被引量：5
14
作者 陈秋玲 孙可伟 张春红 《林产化学与工业》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期43-46,共4页
为提高液化效率,以水为介质,将麦秆纤维在不同的微波条件下进行预处理,研究微波处理对液化效率的影响,利用FT-IR、SEM、XRD等仪器分析方法对微波处理前后的麦秆化学结构、纤维形貌和聚集态结构等进行对比分析,研究了微波加速液化反应的... 为提高液化效率,以水为介质,将麦秆纤维在不同的微波条件下进行预处理,研究微波处理对液化效率的影响,利用FT-IR、SEM、XRD等仪器分析方法对微波处理前后的麦秆化学结构、纤维形貌和聚集态结构等进行对比分析,研究了微波加速液化反应的机理。结果表明:其他条件相同时,微波预处理3 min可将液化反应时间由未处理时的60 min降低至处理后的40 min,效果明显;研究发现微波预处理不会改变液化反应的历程,但适当的微波作用使麦秆纤维的结晶度由未处理前的46.35%下降到30.7%,麦秆纤维表面变得疏松,可及度变大,因此反应活性增强。 展开更多
关键词 麦秆 微波 预处理 机理
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溅射Si／Ge多层膜及其发光誊性研究 被引量：2
15
作者 陈寒娴 杨瑞东 +3 位作者 王茺 邓荣斌 孔令德 杨宇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第5期730-732,736,共4页
采用离子束溅射技术，在玻璃衬底上制备了不同周期数的Si／Ge多层膜样品。利用X射线小角衍射、Raman散射光谱和室温光致发光（PL）对样品进行表征。结果表明，2．0～2．3eV之间的发光带是由薄膜中的各种缺陷形成的；1．77～1．84eV之间... 采用离子束溅射技术，在玻璃衬底上制备了不同周期数的Si／Ge多层膜样品。利用X射线小角衍射、Raman散射光谱和室温光致发光（PL）对样品进行表征。结果表明，2．0～2．3eV之间的发光带是由薄膜中的各种缺陷形成的；1．77～1．84eV之间的发光带来自薄膜中的非晶结构和晶粒间的缺陷；1．53eV发光峰则可能源于纳米Ge晶粒发光。 展开更多
关键词 Si/Ge多层膜 可见光致发光 离子束溅射
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斜切基片上溅射生长高密度小尺寸Ge纳米点的研究 被引量：2
16
作者 杨杰 王茺 +1 位作者 陶东平 杨宇 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第10期1292-1294,共3页
采用离子束溅射技术,在斜切的单晶Si基底上生长了高密度的小尺寸Ge纳米点。系统研究了斜切基底上的表面台阶对Ge纳米点生长初期表面原子吸附行为的影响,以及斜切基片上Ge纳米点随原子沉积量的演变规律。实验结果表明,在斜切基片上原子... 采用离子束溅射技术,在斜切的单晶Si基底上生长了高密度的小尺寸Ge纳米点。系统研究了斜切基底上的表面台阶对Ge纳米点生长初期表面原子吸附行为的影响,以及斜切基片上Ge纳米点随原子沉积量的演变规律。实验结果表明,在斜切基片上原子级的表面台阶能有效地抑制吸附原子的表面扩散。因此,有利于Ge纳米点的形核,并抑制纳米点的过度长大,从而获得高密度、小尺寸的Ge纳米点。 展开更多
关键词 Ge纳米点 离子束溅射 斜切基片
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滇池流域城市型河流盘龙江总磷水环境容量测算研究 被引量：4
17
作者 杨桐 杨常亮 +3 位作者 刘卫红 毛永杨 杨亮秀 袁琳娜 《环境监测管理与技术》 2011年第6期26-29,共4页
为了水体污染物容量总量控制,将盘龙江水环境容量划分为4个控制单元,采用两点示踪法确定盘龙江总磷(TP)综合降解系数,并采用一维水质模型对其进行了验证,在此基础上利用模型计算了盘龙江各控制单元的TP水环境容量。结果表明,盘龙江TP综... 为了水体污染物容量总量控制,将盘龙江水环境容量划分为4个控制单元,采用两点示踪法确定盘龙江总磷(TP)综合降解系数,并采用一维水质模型对其进行了验证,在此基础上利用模型计算了盘龙江各控制单元的TP水环境容量。结果表明,盘龙江TP综合降解系数的区间值为0.016 d-1±0.002 d-1,盘龙江4个控制单元(Ⅰ段、Ⅱ段、Ⅲ段、Ⅳ段)的TP水环境容量分别为1.60 t/a～1.61 t/a、10.00 t/a～10.02 t/a、14.52 t/a～14.60 t/a、22.23 t/a～22.28 t/a,这有助于滇池水质污染的防治。 展开更多
关键词 水污染 总磷 水环境容量 盘龙江
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外延GaNAs薄膜价带分裂随温度变化的研究 被引量：1
18
作者 陈雪梅 唐利斌 +2 位作者 万锐敏 王茺 杨宇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第20期31-34,共4页
利用分子束外延(MBE)技术在GaAs(001)衬底上生长了GaN0.01As0.99薄膜,然后使用光调制反射(PR)光谱研究了薄膜的光学性质和能带结构。PR光谱实验表明GaN0.01As0.99/GaAs薄膜价带在Γ点发生轻、重空穴分裂,且分裂的轻、重空穴带到导带边的... 利用分子束外延(MBE)技术在GaAs(001)衬底上生长了GaN0.01As0.99薄膜,然后使用光调制反射(PR)光谱研究了薄膜的光学性质和能带结构。PR光谱实验表明GaN0.01As0.99/GaAs薄膜价带在Γ点发生轻、重空穴分裂,且分裂的轻、重空穴带到导带边的2个跃迁峰随着温度的升高均发生红移。采用Varshni法则、Bose-Einstein关系和BAC模型分别对轻、重空穴的能隙分裂和红移特征进行了拟合。分析结果表明,随着温度的升高,Ga-NAs外延层与GaAs衬底间晶格失配的减少可能是导致应变能和价带分裂能量减少的主要因素。 展开更多
关键词 GaNxAs1-x薄膜 价带分裂 晶格膨胀 温度
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利用第一性原理研究Ge∶Si电子结构与光学性质 被引量：1
19
作者 刘芳 王茺 +3 位作者 杨瑞东 李亮 熊飞 杨宇 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第14期75-79,共5页
采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势方法和广义梯度近似,计算了掺杂Ge前后单晶Si中Si-Ge键的布居值、键长以及能带结构和态密度。计算结果表明,Ge掺杂后体系晶格常数发生变化,Ge-Si键变长,布居值及带隙宽度减小。还进一步研究了掺杂G... 采用基于密度泛函理论的平面波超软赝势方法和广义梯度近似,计算了掺杂Ge前后单晶Si中Si-Ge键的布居值、键长以及能带结构和态密度。计算结果表明,Ge掺杂后体系晶格常数发生变化,Ge-Si键变长,布居值及带隙宽度减小。还进一步研究了掺杂Ge后的光学性质,掺杂后静态介电常数值与纯Si相比有所增大,且吸收带宽变窄、吸收带边明显红移,并对这些掺杂诱导的材料物性变化进行了解释。 展开更多
关键词 第一性原理 SIGE 电子结构 光学性质
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金属Ta缓冲层上生长微晶Si薄膜的结晶性研究 被引量：1
20
作者 邓荣斌 王茺 +1 位作者 陈寒娴 杨宇 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期657-661,665,共6页
利用射频磁控溅射技术,在生长了Ta缓冲层的石英玻璃衬底上采用不同溅射功率下制备了一系列的硅薄膜样品,用拉曼光谱和X射线衍射表征了薄膜的结晶性随溅射功率的变化情况。实验结果表明:随着溅射功率的增加,薄膜逐渐由非晶向微晶过渡,晶... 利用射频磁控溅射技术,在生长了Ta缓冲层的石英玻璃衬底上采用不同溅射功率下制备了一系列的硅薄膜样品,用拉曼光谱和X射线衍射表征了薄膜的结晶性随溅射功率的变化情况。实验结果表明:随着溅射功率的增加,薄膜逐渐由非晶向微晶过渡,晶粒沿Si(311)面呈柱状生长,功率升高到80W时薄膜的晶化率达到75.4%,薄膜为典型的微晶结构。继续增加功率,薄膜的结晶性变差,晶化率下降,在60～120W之间存在一个优化理想的射频溅射功率,在此功率下生长的薄膜样品的结晶性最高。本文还尝试解释了Ta缓冲层在Si晶化过程中的作用。 展开更多
关键词 硅晶化 溅射功率 Ta缓冲层 晶化率
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