固化技术对OLED微型显示器玻璃封装可靠性影响

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作者 周芳 王光华 +7 位作者 周允红 段谦 谢虹忆 杨炜平 金景一 孙伟杰 左俐娜 施梅 《红外技术》 北大核心 2025年第6期779-784,共6页

本文以硅基有机电致发光OLED微型显示器生产中的玻璃片封装技术为研究对象,研究了热固化和紫外光固化两种固化技术对玻璃片封装技术可靠性的影响,并从玻璃片封装的效率、对齐精度、粘接强度、环境老化缺陷,光电性能等方面对两种封装技... 本文以硅基有机电致发光OLED微型显示器生产中的玻璃片封装技术为研究对象,研究了热固化和紫外光固化两种固化技术对玻璃片封装技术可靠性的影响,并从玻璃片封装的效率、对齐精度、粘接强度、环境老化缺陷,光电性能等方面对两种封装技术进行了对比。结果表明:紫外光固化玻璃片封装技术在生产效率、对齐精度、粘接强度、环境老化缺陷方面均优于热固化方式,而在光电性能方面差别较小。 展开更多

关键词 OLED显示器 玻璃封装 热固化 紫外光固化 可靠性

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顶发射绿光OLED器件制备及其光电性能研究 被引量：1

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作者 王光华 周芳 +9 位作者 陈雪梅 高思博 张杰 段瑜 段良飞 钱福丽 杨启鸣 武艳鸣 赵孟玲 季华夏 《红外技术》 CSCD 北大核心 2020年第9期817-822,共6页

实验制备了结构为多层阳极/EHI608/NPB/Alq3:ELL/ETL1/LiF/Mg:Ag/CPL的硅基绿光有机电致发光OLED器件,研究了不同掺杂浓度对器件驱动电压、亮度、发光效率和EL光谱影响。在此基础上,通过在阴极上制备了一定厚度的阴极耦合层CPL,并研究... 实验制备了结构为多层阳极/EHI608/NPB/Alq3:ELL/ETL1/LiF/Mg:Ag/CPL的硅基绿光有机电致发光OLED器件,研究了不同掺杂浓度对器件驱动电压、亮度、发光效率和EL光谱影响。在此基础上,通过在阴极上制备了一定厚度的阴极耦合层CPL,并研究了阴极耦合层对OLED器件微腔效应影响。结果表明,随着发光层掺杂浓度的增大,器件驱动电压、发光亮度和效率逐渐增加,并出现EL光谱发光峰位红移。同时,随着CPL厚度增加,多层膜系ETL/EIL/Mg:Ag/CPL透过率逐渐增加,当阴极耦合层CPL厚度在30 nm时候,多层膜系结构的透过率和透过频带较高,多层膜系透过率光谱坐标接近白光(0.33,0.33)等能点。此时,顶发射绿光OLED器件在不同视角下EL光谱的蓝移现象最大限度得到了抑制,且EL光谱半峰宽明显增加。 展开更多

关键词 有机发光二极管 转移矩阵 阴极耦合层 硅基

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阴极耦合层对顶发射白光OLED器件光电性能影响

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作者 王光华 段良飞 +10 位作者 郑晓东 段瑜 高思博 张杰 杨丽丽 杨炜平 陈雪梅 王灿 武艳鸣 周芳 施梅 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2020年第5期422-429,共8页

为了研究不同厚度C60阴极耦合层对顶发射白光OLED器件光电性能的影响,实验数值计算了半透明阴极组成的多层膜系(ETL/EIL/Mg∶Ag/C60)的透过率;同时,采用共阴极结构设计制备了顶发射白光OLED器件,并对不同厚度的C60折射率匹配层制备的顶... 为了研究不同厚度C60阴极耦合层对顶发射白光OLED器件光电性能的影响,实验数值计算了半透明阴极组成的多层膜系(ETL/EIL/Mg∶Ag/C60)的透过率;同时,采用共阴极结构设计制备了顶发射白光OLED器件,并对不同厚度的C60折射率匹配层制备的顶发射白光OLED器件的光电特性进行了研究。结果表明,不同C60厚度的多层膜系透过率差异较大,在C60膜层厚度为30~40 nm时,多层膜在较宽波段范围内均有高的透过率,且透过率光谱的色坐标最接近白光等能点;通过分析不同阴极耦合层制备的顶部发光OLED器件的光电性能,发现采用适当厚度的C60阴极耦合层材料,可以有效提高器件外量子效率,并在一定程度上能够有效改善器件的色坐标,实现接近等能白光的顶发光OLED器件制备。 展开更多

关键词 有机发光器件 顶部发光 转移矩阵 光萃取

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阴极耦合层对顶发射白光OLED器件光电性能的影响 被引量：4

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作者 王光华 季华夏 +6 位作者 张筱丹 段瑜 孙浩 杨炜平 李牧词 金景一 万锐敏 《液晶与显示》 CAS CSCD 北大核心 2015年第3期437-443,共7页

为了分析不同阴极耦合层对顶发射白光OLED器件光电性能的影响,数值计算了半透明阴极组成的多层膜系(ETL/EIL/Mg:Ag/折射率匹配层)的透过率和损耗;同时,采用共阴极结构设计制备了顶发射白光OLED器件,并对不同折射率匹配层制备的顶发射白... 为了分析不同阴极耦合层对顶发射白光OLED器件光电性能的影响,数值计算了半透明阴极组成的多层膜系(ETL/EIL/Mg:Ag/折射率匹配层)的透过率和损耗;同时,采用共阴极结构设计制备了顶发射白光OLED器件,并对不同折射率匹配层制备的顶发射白光OLED器件的光电特性进行了研究。结果表明:采用相同厚度LiF和Al2O3薄膜作为阴极耦合层时,多层膜系光学透过率和损耗曲线存在较大差异;在20mA/cm2电流密度下,随着观测角度的增大,采用LiF+Al2O3双层折射率匹配层制备的器件电致发光谱峰位发生蓝移,但在整个视角内,器件的色坐标均稳定在白光等能点附近,这表明顶发射白光器件的色坐标可以通过折射率匹配层调节,使得器件在较大视角范围均能实现白光发射。 展开更多

关键词 有机发光器件 顶部发光 转移矩阵 光萃取层

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镱银阴极对顶发射白光OLED器件光电性能的影响研究

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作者 杨启鸣 高思博 +7 位作者 王灿 段良飞 钱福丽 段谦 张杰 王光华 鲁朝宇 段瑜 《红外技术》 CSCD 北大核心 2021年第12期1207-1211,共5页

研制了以镱银合金为透明阴极的顶发射白光OLED器件。采用ITO/NPB:LiQ(5%)(10 nm)/TCTA(20 nm)/FIrpic+3.5%Ir(ppy)_(3)+0.5%Ir(MDQ)_(2)(acac)(25 nm)/TPBI(10 nm)/LiF(5 nm)/Yb:Ag(X%)(X nm)器件结构,在相同镱银比例下,蒸镀不同厚度的... 研制了以镱银合金为透明阴极的顶发射白光OLED器件。采用ITO/NPB:LiQ(5%)(10 nm)/TCTA(20 nm)/FIrpic+3.5%Ir(ppy)_(3)+0.5%Ir(MDQ)_(2)(acac)(25 nm)/TPBI(10 nm)/LiF(5 nm)/Yb:Ag(X%)(X nm)器件结构,在相同镱银比例下,蒸镀不同厚度的镱银合金阴极制备了新型顶发射白光OLED器件,获得了优化的镱银合金厚度为12 nm;固定镱银阴极厚度,蒸镀不同比例的镱银合金阴极制备了新型顶发射白光OLED器件,探究不同比例的镱银合金对有机电致发光器件的影响。结果表明,当镱银电极的掺杂比例为10:1时,器件的性能最佳,在20 mA/cm^(2)电流密度下,器件的驱动电压为2.3 V,亮度为1406 cd/m^(2),色坐标为(0.3407,0.3922)。 展开更多

关键词 Yb:Ag合金 阴极 顶发射白光OLED微型显示器 光电特性

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高亮绿光氮化镓基Micro-LED微型显示器制备 被引量：1

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作者 张杰 王光华 +10 位作者 邓枫 杨文运 高思博 鲁朝宇 孟泽阳 高树雄 常诚 曹坤宇 马赛江 刘颖琪 王丽琼 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第10期1186-1191,共6页

Micro-LED作为一种新型的显示技术,具有对比度高、响应快及寿命长等优点,已成为当前研究的热点。然而,尽管潜力巨大,Micro-LED技术的商业化之路仍面临诸多技术上的挑战与瓶颈。本文旨在探讨高亮绿光氮化镓基Micro-LED微型显示器的制备... Micro-LED作为一种新型的显示技术,具有对比度高、响应快及寿命长等优点,已成为当前研究的热点。然而,尽管潜力巨大,Micro-LED技术的商业化之路仍面临诸多技术上的挑战与瓶颈。本文旨在探讨高亮绿光氮化镓基Micro-LED微型显示器的制备过程及其相关技术。基于WVGA041全数字信号电路CMOS硅基驱动电路,制作了0.41 inch、分辨率为800×480的主动式单色绿光Micro-LED微型显示器。利用高精度倒装焊接技术实现了CMOS驱动电路与LED发光芯片的电气连接。结果表明,制备出LED显示芯片正常启亮电压为2.8V,EL光谱峰值波长524nm;在硅基CMOS电路驱动范围内,Micro-LED微型显示器在5V电压下,器件亮度为108000cd/m^(2)(最大亮度可达250000 cd/m^(2)),电流密度达到0.61A/cm^(2)时色坐标为(0.175,0.756)。当电流密度从0.3A/cm^(2)增加到1.3A/cm^(2)时,色坐标从(0.178,0.757)变化到(0.175,0.746),器件的色稳定性能够满足实际应用要求。 展开更多

关键词 micro-LED 微型显示器 高亮单色绿光发光二级管

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顶发射白光OLED器件制备及其色坐标漂移机制研究（英文） 被引量：2

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作者 王光华 赵惠琼 +8 位作者 邓荣斌 段瑜 孙浩 张筱丹 周琴 钱金梅 万锐敏 季华夏 姬荣斌 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第11期3758-3763,共6页

采用了高反射率金属Al和电化学性能稳定的金属Mo,在硅基底上制备了多层结构的Al/Mo/MoO_3阳极,并研究了不同MoO_3厚度下多层阳极的反射率。在此基础上,通过发光层共掺杂制备了顶部发光OLED器件,并对器件发光机制进行了系统研究和分析。... 采用了高反射率金属Al和电化学性能稳定的金属Mo,在硅基底上制备了多层结构的Al/Mo/MoO_3阳极,并研究了不同MoO_3厚度下多层阳极的反射率。在此基础上,通过发光层共掺杂制备了顶部发光OLED器件,并对器件发光机制进行了系统研究和分析。实验结果表明:采用发光层共掺杂制备的顶部发光OLED器件的色坐标,随电流密度或电压的增加而发生漂移;OLED器件色坐标漂移的原因是三基色发光强度随电流密度的增加,逐渐偏离了形成白光(0.33,0.33)所需三基色强度比例值,导致了OLED器件的色坐标发生了漂移,其机制是发光层中主-客之间能量转移和陷阱共同作用的结果。进一步研究发现,在不同电压下,红光发光强度随驱动电压(或电流密度)增大而线性地减小。 展开更多

关键词 有机电致发光器件 色坐标漂移 能量转移 陷阱

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原位反应合成Ag/CuO复合材料中生成立方氧化铜的研究（英文） 被引量：3

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作者 郑忠 周晓龙 +4 位作者 周允红 于杰 周兆波 曹函星 胡日茗 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期1276-1281,共6页

本文通过对原位反应合成Ag/CuO复合材料中生成立方氧化铜的可能性进行了研究,对CuO和Ag/CuO分别进行热重-差热分析实验以及反应烧结实验。结果表明:原位反应合成法制备Ag/CuO复合材料中,生成立方氧化铜有三种方式:(1)Cu与O_2直接反应合... 本文通过对原位反应合成Ag/CuO复合材料中生成立方氧化铜的可能性进行了研究,对CuO和Ag/CuO分别进行热重-差热分析实验以及反应烧结实验。结果表明:原位反应合成法制备Ag/CuO复合材料中,生成立方氧化铜有三种方式:(1)Cu与O_2直接反应合成立方CuO可能性小,或者不发生;(2)以Cu与O_2反应合成单斜的CuO后,在后期烧结时发生相转变生成立方CuO为立方CuO的主要形成方式。实验也说明了1048 K(即775℃)左右的温度即是单斜CuO与立方CuO转变的温度;(3)通过实验与理论分析还发现,Ag的存在对形成立方CuO的相变以及形成量有一定的影响。 展开更多

关键词 原位反应合成 Ag/CuO 立方CuO 热重-差热分析 温度

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高亮度顶发射单色绿光OLED微显示器件制备 被引量：2

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作者 段瑜 张筱丹 +7 位作者 孙浩 朱亚安 王光华 宋立媛 于晓辉 万锐敏 季华夏 李亚文 《红外技术》 CSCD 北大核心 2015年第12期1022-1026,共5页

通过采用高效磷光体系材料和顶发射有机发光结构,配合自有的SVGA060全数字信号电路系统架构CMOS硅基驱动电路,获得了发光峰位于535 nm的高亮度单色绿光、0.6英寸、800×600分辨率OLED微显示器件,最大亮度可达20000 cd/m^2。其起亮... 通过采用高效磷光体系材料和顶发射有机发光结构,配合自有的SVGA060全数字信号电路系统架构CMOS硅基驱动电路,获得了发光峰位于535 nm的高亮度单色绿光、0.6英寸、800×600分辨率OLED微显示器件,最大亮度可达20000 cd/m^2。其起亮电压为2.6 V,亮度从20 cd/m^2到20000 cd/m^2的驱动电压摆幅为2.7 V,最大电流效率为24.43 cd/A。电流密度为20 m A/cm^2时,色坐标CIEX=0.286、CIEY=0.665。该器件在1000 cd/m^2和500 cd/m^2亮度下的半衰期为42559 h和186208 h。 展开更多

关键词 高亮度绿光 OLED 微显示器件

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单斜与立方CuO热力学性质模拟计算与分析

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作者 郑忠 周晓龙 +3 位作者 周允红 张浩 陶麒鹦 周兆波 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期142-146,153,共6页

通过对单斜与立方氧化铜两种晶体结构的模型建立、几何优化、声子谱以及热力学计算与分析,发现单斜和立方两种结构的氧化铜的热力学不稳定性主要是由O原子造成的,其中单斜氧化铜的热力学性质无论是低温时还是高温时都由Cu原子和O原子共... 通过对单斜与立方氧化铜两种晶体结构的模型建立、几何优化、声子谱以及热力学计算与分析,发现单斜和立方两种结构的氧化铜的热力学不稳定性主要是由O原子造成的,其中单斜氧化铜的热力学性质无论是低温时还是高温时都由Cu原子和O原子共同主导,而立方氧化铜的热力学性质在低温时由Cu原子主导,高温时由O原子主导;从声子态密度的计算分析获得了两种结构氧化铜的热力学性质;同时得出了单斜氧化铜晶体和立方氧化铜晶体之间的相转变热力学温度为1 013.28K。 展开更多

关键词 CUO 晶体结构 模拟计算 热力学性质 相变

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顶发射白光OLED微型显示器的蓝光掺杂特性研究 被引量：3

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作者 段良飞 王光华 +4 位作者 钱福丽 高思博 段瑜 季华夏 范恒 《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第8期2630-2633,共4页

白光OLED微型显示器在信息显示领域具有重要的应用。采用真空镀膜系统,依次蒸镀Ag/ITO复合薄膜作为阳极结构,共蒸制备Mg∶Ag复合膜作为半透明阴极结构, NPB作为空穴传输材料和黄光主体材料, rubrene作为黄光掺杂料, AND作为蓝光主体料, ... 白光OLED微型显示器在信息显示领域具有重要的应用。采用真空镀膜系统,依次蒸镀Ag/ITO复合薄膜作为阳极结构,共蒸制备Mg∶Ag复合膜作为半透明阴极结构, NPB作为空穴传输材料和黄光主体材料, rubrene作为黄光掺杂料, AND作为蓝光主体料, DSA-Ph作为蓝光掺杂料, Alq3作为电子传输材料,以结构和工艺简化的蓝、黄光互补色来实现白光,通过共蒸发形式制备了结构为Ag/ITO/NPB/NPB∶rubrene(1.5%)/ADN∶DSA-Ph( x %/ x =2, 5, 8)/Alq3/Mg∶Ag的白光OLED微型显示器,利用由Photo Research PR655光谱仪、 Keithley 2400程控电源组成的光谱测试系统对器件的光电性能进行表征,研究了蓝光掺杂比对白光OLED微型显器性能的影响。结果表明,随着蓝光掺杂比的增加,白光OLED微型显示器的亮度先增加后降低,蓝光、黄光峰位有所偏移,色坐标发生一定的漂移,蓝光色纯度增加,可通过调控发光材料掺杂比实现白光OLED微型显示器性能的可控制备。初步优化获得的蓝、黄混合白光OLED微型显示器的器件,当驱动电压为5.0 V时,器件亮度达到3 679 cd·m^-2 , CIE坐标为(0.263, 0.355)。 展开更多

关键词 白光 OLED微型显示器 掺杂结构 器件性能

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单片晶圆兆声清洗的仿真模型研究 被引量：1

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作者 朱亚安 段瑜 +5 位作者 宋立媛 孙琪艳 殷艳娥 杨炜平 万锐敏 季华夏 《红外技术》 CSCD 北大核心 2015年第1期48-53,共6页

通过研究单片晶圆兆声清洗过程中兆声头在晶圆表面的运动轨迹和能量积累过程,构建了单晶圆清洗的兆声能量分布和颗粒去除过程的数学模型。通过Mathematica 9.0对模型进行了运算和简化,经过离散化处理后,运用MATLAB对几种硅片转速和兆声... 通过研究单片晶圆兆声清洗过程中兆声头在晶圆表面的运动轨迹和能量积累过程,构建了单晶圆清洗的兆声能量分布和颗粒去除过程的数学模型。通过Mathematica 9.0对模型进行了运算和简化,经过离散化处理后,运用MATLAB对几种硅片转速和兆声臂转速的组合在硅片上的能量分布和颗粒分布进行了模拟仿真。发现简单组合比例下清洗效果与转速比例和清洗轨迹复杂程度密切相关,而固定半径扫描可以使能量分布更均匀,减少局部能量集中对晶圆IC的破坏,并且可以缩短清洗时间。 展开更多

关键词 单片晶圆 兆声清洗 仿真模型

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有机发光二极管器件白光实现及其色坐标计算 被引量：1

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作者 王光华 张杰 +7 位作者 高思博 段良飞 武艳鸣 周芳 尹莉 段登辉 王丽琼 季华夏 《红外技术》 CSCD 北大核心 2020年第10期958-962,共5页

白光有机发光二极管可以作为照明、全彩色显示器的光源,成为显示领域研发的重点方向。但白光有机发光二极管的实现还存在性能控制较难,色坐标易漂移等问题。本文通过有机发光二极管器件白光实现及其色坐标计算,初步获得实现白光OLED器... 白光有机发光二极管可以作为照明、全彩色显示器的光源,成为显示领域研发的重点方向。但白光有机发光二极管的实现还存在性能控制较难,色坐标易漂移等问题。本文通过有机发光二极管器件白光实现及其色坐标计算,初步获得实现白光OLED器件红、绿、蓝三基色的优化比,通过实验验证制备了色坐标为(0.31,0.35)的白光OLED器件,进一步通过理论计算和实验优化,减少红光掺杂浓度和增加绿光掺杂比例,实现接近标准白光(0.33,0.33)的有机发光二极管器件制备。 展开更多

关键词 有机发光器件 白光 色坐标计算 器件制备

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覆盖层对顶发射白光微型OLED性能的影响研究 被引量：1

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作者 杨启鸣 钱福丽 +8 位作者 苟国汝 王体炉 鲁朝宇 周允红 段谦 于晓辉 段瑜 王光华 杨文运 《红外技术》 CSCD 北大核心 2023年第3期303-307,共5页

采用两种覆盖层CPL(Capping layer)材料Alq3和ZnSe制备了顶发射白光有机电致发光器件TE-OLEDs(Top emitting white organic light-emitting diodes),器件结构为ITO/NPB:LiQ(5%)(10 nm)/TCTA(20nm)/FIrpic+3.5%Ir(ppy)3+0.5%Ir(MDQ)2(aca... 采用两种覆盖层CPL(Capping layer)材料Alq3和ZnSe制备了顶发射白光有机电致发光器件TE-OLEDs(Top emitting white organic light-emitting diodes),器件结构为ITO/NPB:LiQ(5%)(10 nm)/TCTA(20nm)/FIrpic+3.5%Ir(ppy)3+0.5%Ir(MDQ)2(acac)(25nm)/TPBI(10nm)/LiF(5nm)/Mg:Ag(10%)(12 nm)/CPL。实验结果表明,Alq3和ZnSe作为CPL可以增强TE-OLED器件的出光和调制光谱特性,并且ZnSe作为覆盖层制备的TE-OLED器件色坐标(CIEX,CIEY)随亮度变化更平稳,表现出良好的色稳定性。进一步,通过改变ZnSe厚度来优化器件,当ZnSe为45 nm时,器件获得了最佳的亮度和电流效率,分别为1461 cd/cm2和7.38 cd/A,色坐标为(0.30,0.33)。 展开更多

关键词 顶发射白光微型OLED 覆盖层 光电特性 色坐标

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高性能顶发光OLED器件复合阳极的研究

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作者 段良飞 段瑜 +3 位作者 王光华 张筱丹 邓荣斌 季华夏 《红外技术》 CSCD 北大核心 2017年第5期457-462,共6页

顶发光OLED器件是有机光电显示领域的重要组成部分,其阳极结构及性能对OLED器件的性能具有至关重要的影响。本文介绍了近年来顶发光OLED器件阳极的结构、材料及性能改善等领域的研究进展。结合顶发光OLED器件阳极的工作原理和器件质量要... 顶发光OLED器件是有机光电显示领域的重要组成部分,其阳极结构及性能对OLED器件的性能具有至关重要的影响。本文介绍了近年来顶发光OLED器件阳极的结构、材料及性能改善等领域的研究进展。结合顶发光OLED器件阳极的工作原理和器件质量要求,设计了不同结构的顶发光OLED器件复合阳极,并采用TFCalc光学模拟软件和SimOLED模拟软件对不同结构复合阳极的光学性能及其器件性能进行模拟分析,获得了较优的顶发光OLED复合阳极结构,其结构为Al/ITO/MoO_3,Al/Co/MoO_3,Al/Ni/MoO_3,Al/MoO_3。 展开更多

关键词 顶发光 OLED 复合阳极 模拟

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顶发光单色绿光OLED微型显示器件发光层掺杂特性研究

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作者 钱福丽 王光华 +6 位作者 杨启鸣 段良飞 高思博 王灿 周允红 段瑜 季华夏 《红外技术》 CSCD 北大核心 2019年第10期913-917,共5页

本文设计了一种磷光顶发射结构制备单色高亮绿光OLED微型显示器件,器件结构为:ITO/2-TNATA/NPB/MCP:Ir(ppy)3/Bphen/LiF/Mg:Ag。为获得低功耗、高亮度的绿光OLED微型显示器件,采用开口率大、益于集成的顶发射结构器件,并对发光层掺杂机... 本文设计了一种磷光顶发射结构制备单色高亮绿光OLED微型显示器件,器件结构为:ITO/2-TNATA/NPB/MCP:Ir(ppy)3/Bphen/LiF/Mg:Ag。为获得低功耗、高亮度的绿光OLED微型显示器件,采用开口率大、益于集成的顶发射结构器件,并对发光层掺杂机制进行实验研究,通过改变掺杂比例获得较佳的器件性能。研究表明,在掺杂比分别为1.0%、1.5%、1.8%、2.0%、2.3%、2.5%的绿光OLED器件中,2.0%的掺杂器件较其他比例的性能更优,通过进一步优化掺杂研究显示,发光层主体材料MCP与掺杂料Ir(ppy)3的最佳掺杂比例为1:0.02,主体材料薄膜厚度为250A。在20mA/cm^2的电流密度下,得到器件电压为3.62V,亮度为4622cd/cm^2,色坐标(X,Y)为(0.33,0.61)。 展开更多

关键词 单色绿光 顶发射OLED微型显示器 发光层 光电特性

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单片晶圆气液混合流清洗技术研究

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作者 刘佰红 杨炜平 +7 位作者 梁翔 杨丽丽 杜浩楠 保加兵 石春明 马跃霞 殷艳娥 段瑜 《红外技术》 CSCD 北大核心 2022年第12期1332-1337,共6页

研究了气液混合流清洗方法对单片晶圆表面颗粒的去除效果,引入无量纲参数移径比(H/D)讨论其对单片晶圆表面颗粒去除效率的影响。此外,还讨论了冲洗时间、冲洗压力对颗粒去除效率的影响。结果表明:晶圆表面颗粒去除效率随着冲洗时间、冲... 研究了气液混合流清洗方法对单片晶圆表面颗粒的去除效果,引入无量纲参数移径比(H/D)讨论其对单片晶圆表面颗粒去除效率的影响。此外,还讨论了冲洗时间、冲洗压力对颗粒去除效率的影响。结果表明:晶圆表面颗粒去除效率随着冲洗时间、冲洗压力的增大而提高。移径比为1时晶圆表面颗粒去除效率最高;当移径比小于1时,晶圆表面颗粒去除效率随移径比增大而提高;当移径比大于1时,晶圆表面开始出现未被冲洗的区域,颗粒去除效率随移径比增大而迅速降低。采用气液混合流清洗技术,可以实现颗粒直径为0.2~0.3μm范围的颗粒去除效率达99%以上,颗粒直径为0.1~0.5μm范围的颗粒去除效率达96%以上。 展开更多

关键词 气液混合流清洗 冲洗时间 移径比 冲洗压力 颗粒去除效率

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光学微腔调节顶发射单色绿光OLED微显示器件色纯度研究

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作者 秦国辉 于晓辉 +3 位作者 钱福丽 段瑜 杨启鸣 芶国汝 《红外技术》 CSCD 北大核心 2022年第7期652-658,共7页

有机电致发光器件的发光颜色与色纯度在很大程度上受限于有机材料本身特性,而通过光学微腔效应可以从器件结构的改变来进行色纯度的调节。本文介绍了一种通过调节有机结构中空穴传输层和电子阻挡层厚度,从而改变器件微腔腔长,获得高纯... 有机电致发光器件的发光颜色与色纯度在很大程度上受限于有机材料本身特性,而通过光学微腔效应可以从器件结构的改变来进行色纯度的调节。本文介绍了一种通过调节有机结构中空穴传输层和电子阻挡层厚度,从而改变器件微腔腔长,获得高纯度顶发射单色发光器件的方法。利用这种方法制作的有机顶发射绿色磷光器件结构为Si Substrate/Ag/ITO/NPB:F16CuPc(10 nm,3%)/NPB(x nm)/TCTA(y nm)/mCP:Ir(ppy)3(40 nm,6%)/Bphen:Liq(30 nm,40%)/Mg:Ag(12 nm,10%)/Alq3(35 nm),改变NPB和TCTA的厚度,获得了高色纯度发光器件,正向出射绿光的色坐标达到(0.2092,0.7167),接近标准绿光(0.21,0.71)。 展开更多

关键词 OLED微显示器 绿光 色纯度 光学微腔

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高效叠层OLED白光器件进展

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作者 常诚 钱福丽 +12 位作者 芶国汝 唐锐 王体炉 高思博 张韦晨曦 何阳阳 李理 杨启鸣 张杰 刘颖琪 段瑜 杨文运 王光华 《红外技术》 CSCD 北大核心 2023年第11期1141-1152,共12页

叠层有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)白光器件具备低功耗、高亮度、高色域等性能优势。然而,由于效率、寿命及驱动电压等性能仍有较大改进空间,叠层结构的材料及电学结构仍需进一步优化。本文重点介绍叠层OLED白光... 叠层有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)白光器件具备低功耗、高亮度、高色域等性能优势。然而,由于效率、寿命及驱动电压等性能仍有较大改进空间,叠层结构的材料及电学结构仍需进一步优化。本文重点介绍叠层OLED白光器件的最新研究进展,总结了三类电荷产生层(Charge Generation Layer,CGL)在工程化应用中存在的问题以及其非破坏性检测方法;综述高效叠层OLED白光器件的“全磷光体系”、“并行通道激子收集”及“混合磷光热活性型延迟荧光(Thermally Activated Delayed Fluorescence,TADF)体系”最新研究成果,对器件寿命问题进行总结,探讨分析“分级掺杂”、“四色混合TADF体系”等从结构方面提出优化方案,并针对不同发光材料体系中的CGL材料及结构综述叠层OLED白光器件实现较低工作电压的技术方法,最后对叠层OLED白光器件的材料和结构提出改进建议。 展开更多

关键词 叠层白光有机发光二极管 电荷产生层 有机发光单元 功能层结构 有机发光材料

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