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半导体生产含砷废水处理回用工程
被引量：
1
1
作者
柳廷龙
肖祥江
+5 位作者
单吉云
李苏滨
惠峰
李雪峰
田东
卢纪军
《工业水处理》
CSCD
北大核心
2017年第4期96-98,共3页
采用沉淀法—电絮凝法—气浮法—膜分离法四段组合工艺对含砷废水进行处理,原水含砷180~230mg/L,经该工艺处理后出水含砷<0.03 mg/L,去除率>99.9%。工程运行实践证明:该系统运行稳定、处理效果高,产出的清水用作生产用循环冷却水...
采用沉淀法—电絮凝法—气浮法—膜分离法四段组合工艺对含砷废水进行处理,原水含砷180~230mg/L,经该工艺处理后出水含砷<0.03 mg/L,去除率>99.9%。工程运行实践证明:该系统运行稳定、处理效果高,产出的清水用作生产用循环冷却水,大大降低了生产成本。
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关键词
含砷废水
回用
半导体材料
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职称材料
生长4H-SiC单晶用粉料的合成
2
作者
刘得伟
杨海平
+2 位作者
段金炽
王美春
普世坤
《稀有金属与硬质合金》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期71-76,共6页
采用自蔓延法分别在竖直式反应腔室和水平滚筒式腔室中合成单晶生长用高纯SiC粉料,并使用所合成的高纯SiC粉料进行4H-SiC单晶生长。采用堆积密度测试、XRD、Raman和GDMS检测的方式研究了粉料晶向、晶型和纯度等特性,并对生长的4H-SiC单...
采用自蔓延法分别在竖直式反应腔室和水平滚筒式腔室中合成单晶生长用高纯SiC粉料,并使用所合成的高纯SiC粉料进行4H-SiC单晶生长。采用堆积密度测试、XRD、Raman和GDMS检测的方式研究了粉料晶向、晶型和纯度等特性,并对生长的4H-SiC单晶形貌和晶型进行表征,验证合成粉料的适用性。结果表明,将高纯SiC粉料合成过程放在水平滚筒式腔室中进行,合成的SiC粉料晶型稳定,结晶质量好,符合生长4H-SiC单晶的需求;对比竖直式反应腔室,水平滚筒式腔室的合成效率由87.8%提升到98.7%。
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关键词
自蔓延法
水平滚筒式腔室
4H-SIC
晶体生长
SiC粉料
合成效率
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职称材料
题名
半导体生产含砷废水处理回用工程
被引量：
1
1
作者
柳廷龙
肖祥江
单吉云
李苏滨
惠峰
李雪峰
田东
卢纪军
机构
云南中科鑫圆晶体材料有限公司
出处
《工业水处理》
CSCD
北大核心
2017年第4期96-98,共3页
文摘
采用沉淀法—电絮凝法—气浮法—膜分离法四段组合工艺对含砷废水进行处理,原水含砷180~230mg/L,经该工艺处理后出水含砷<0.03 mg/L,去除率>99.9%。工程运行实践证明:该系统运行稳定、处理效果高,产出的清水用作生产用循环冷却水,大大降低了生产成本。
关键词
含砷废水
回用
半导体材料
Keywords
arsenic-containing wastewater
reuse
semiconductor materials
分类号
X703 [环境科学与工程—环境工程]
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职称材料
题名
生长4H-SiC单晶用粉料的合成
2
作者
刘得伟
杨海平
段金炽
王美春
普世坤
机构
云南
临沧
鑫
圆
锗业股份
有限公司
昆明云锗高新技术
有限公司
云南中科鑫圆晶体材料有限公司
云南
鑫
耀半导体
材料
有限公司
出处
《稀有金属与硬质合金》
CAS
CSCD
北大核心
2021年第5期71-76,共6页
基金
云南省重大科技专项(2019ZE00704)。
文摘
采用自蔓延法分别在竖直式反应腔室和水平滚筒式腔室中合成单晶生长用高纯SiC粉料,并使用所合成的高纯SiC粉料进行4H-SiC单晶生长。采用堆积密度测试、XRD、Raman和GDMS检测的方式研究了粉料晶向、晶型和纯度等特性,并对生长的4H-SiC单晶形貌和晶型进行表征,验证合成粉料的适用性。结果表明,将高纯SiC粉料合成过程放在水平滚筒式腔室中进行,合成的SiC粉料晶型稳定,结晶质量好,符合生长4H-SiC单晶的需求;对比竖直式反应腔室,水平滚筒式腔室的合成效率由87.8%提升到98.7%。
关键词
自蔓延法
水平滚筒式腔室
4H-SIC
晶体生长
SiC粉料
合成效率
Keywords
self propagating method
horizontal rotating drum chamber
4H-SiC
crystal growth
SiC powder
synthesis efficiency
分类号
O78 [理学—晶体学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
半导体生产含砷废水处理回用工程
柳廷龙
肖祥江
单吉云
李苏滨
惠峰
李雪峰
田东
卢纪军
《工业水处理》
CSCD
北大核心
2017
1
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职称材料
2
生长4H-SiC单晶用粉料的合成
刘得伟
杨海平
段金炽
王美春
普世坤
《稀有金属与硬质合金》
CAS
CSCD
北大核心
2021
0
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职称材料
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