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新型电子束物理气相沉积设备
1
作者
G.S.马林斯基
《航空工艺技术》
1998年第2期31-31,38,共2页
介绍了乌克兰巴顿电焊所电子束国际技术中心开发的３种不同型号的电子束物理气相沉积设备和工艺。
关键词
电子束
物理气相沉积
电子枪
真空室
EB
PVD
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
新型电子束物理气相沉积设备
1
作者
G.S.马林斯基
机构
乌克兰巴顿焊接研究所
出处
《航空工艺技术》
1998年第2期31-31,38,共2页
文摘
介绍了乌克兰巴顿电焊所电子束国际技术中心开发的３种不同型号的电子束物理气相沉积设备和工艺。
关键词
电子束
物理气相沉积
电子枪
真空室
EB
PVD
Keywords
EB_PVD Electron gun Vacuum chamber
分类号
TB43 [一般工业技术]
TG174.442 [金属学及工艺—金属表面处理]
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职称材料
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作者
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1
新型电子束物理气相沉积设备
G.S.马林斯基
《航空工艺技术》
1998
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