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热障涂层后处理技术研究进展
被引量：
6
1
作者
李灿锋
张盼盼
+2 位作者
姚建华
张群莉
Volodymyr Kovalenko
《材料研究与应用》
CAS
2022年第1期48-56,共9页
热障涂层是一种降低航空发动机热端部件表面温度、提高发动机推力和效率的热防护技术,但其服役于高温、高压、高交变应力等恶劣环境而易脱落失效.对热障涂层的后处理技术进行了阐述,论述了真空热处理、热等静压处理、激光重熔、激光上...
热障涂层是一种降低航空发动机热端部件表面温度、提高发动机推力和效率的热防护技术,但其服役于高温、高压、高交变应力等恶劣环境而易脱落失效.对热障涂层的后处理技术进行了阐述,论述了真空热处理、热等静压处理、激光重熔、激光上釉、激光熔覆等后处理技术的方法和原理,并对比了不同工艺的优缺点.最后,展望了激光表面改性技术的应用前景和未来发展趋势.
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关键词
热障涂层
涂层后处理
真空热处理
激光重熔
激光表面改性技术
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职称材料
激光辅助化学气相沉积研究进展
被引量：
9
2
作者
范丽莎
刘帆
+2 位作者
吴国龙
Volodymyr S.Kovalenko
姚建华
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期1-29,共29页
激光化学气相沉积技术(LCVD)相较于传统化学气相沉积技术具有低沉积温度、高膜层纯度、高沉积效率等特点,在各类功能薄膜材料制备上有着巨大的应用前景。围绕激光化学气相沉积技术,本文详细阐述了激光热解离、激光光解离与激光共振激发...
激光化学气相沉积技术(LCVD)相较于传统化学气相沉积技术具有低沉积温度、高膜层纯度、高沉积效率等特点,在各类功能薄膜材料制备上有着巨大的应用前景。围绕激光化学气相沉积技术,本文详细阐述了激光热解离、激光光解离与激光共振激发解离作用机制,同时介绍了各类LCVD的常用设备,着重总结了LCVD在金属材料、碳基材料、氧化物材料以及半导体材料等各类材料制备应用上的最新研究进展,特别介绍了LCVD制备过程中常用的检测与分析方法,最后讨论了激光化学气相沉积技术目前所面临的挑战与机遇,并展望了该技术的发展前景。
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关键词
激光化学气相沉积
薄膜制备
热解离
光解离
共振激发解离
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职称材料
题名
热障涂层后处理技术研究进展
被引量：
6
1
作者
李灿锋
张盼盼
姚建华
张群莉
Volodymyr Kovalenko
机构
浙江工业
大学
激光
先进制造
研究
院
浙江工业
大学
高端
激光
制造装备省部共建协同创新中心
浙江工业
大学
机械工程学院
乌克兰国立科技大学激光技术研究所
出处
《材料研究与应用》
CAS
2022年第1期48-56,共9页
基金
浙江省自然科学基金探索项目(LQ21E010002)
高等学校学科创新引智计划资助(D16004)。
文摘
热障涂层是一种降低航空发动机热端部件表面温度、提高发动机推力和效率的热防护技术,但其服役于高温、高压、高交变应力等恶劣环境而易脱落失效.对热障涂层的后处理技术进行了阐述,论述了真空热处理、热等静压处理、激光重熔、激光上釉、激光熔覆等后处理技术的方法和原理,并对比了不同工艺的优缺点.最后,展望了激光表面改性技术的应用前景和未来发展趋势.
关键词
热障涂层
涂层后处理
真空热处理
激光重熔
激光表面改性技术
Keywords
thermal barrier coating
coating post-treatment
vacuum heat treatment
laser remelting
laser surface modification technology
分类号
TN205 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
激光辅助化学气相沉积研究进展
被引量：
9
2
作者
范丽莎
刘帆
吴国龙
Volodymyr S.Kovalenko
姚建华
机构
浙江工业
大学
激光
先进制造
研究
院
浙江工业
大学
机械工程学院
高端
激光
制造装备省部共建协同创新中心
乌克兰国立科技大学激光技术研究所
出处
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期1-29,共29页
基金
国家自然科学基金资助项目(51975533)
高等学校学科创新海外引智计划项目(国家“111计划”,D16004)。
文摘
激光化学气相沉积技术(LCVD)相较于传统化学气相沉积技术具有低沉积温度、高膜层纯度、高沉积效率等特点,在各类功能薄膜材料制备上有着巨大的应用前景。围绕激光化学气相沉积技术,本文详细阐述了激光热解离、激光光解离与激光共振激发解离作用机制,同时介绍了各类LCVD的常用设备,着重总结了LCVD在金属材料、碳基材料、氧化物材料以及半导体材料等各类材料制备应用上的最新研究进展,特别介绍了LCVD制备过程中常用的检测与分析方法,最后讨论了激光化学气相沉积技术目前所面临的挑战与机遇,并展望了该技术的发展前景。
关键词
激光化学气相沉积
薄膜制备
热解离
光解离
共振激发解离
Keywords
laser chemical vapor deposition
thin film preparation
laser pyrolysis
laser photolysis
laser resonance excitation sensitization
分类号
TB383.2 [一般工业技术—材料科学与工程]
TM26 [一般工业技术—材料科学与工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
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1
热障涂层后处理技术研究进展
李灿锋
张盼盼
姚建华
张群莉
Volodymyr Kovalenko
《材料研究与应用》
CAS
2022
6
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职称材料
2
激光辅助化学气相沉积研究进展
范丽莎
刘帆
吴国龙
Volodymyr S.Kovalenko
姚建华
《光电工程》
CAS
CSCD
北大核心
2022
9
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