期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
1
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
丙烯酸配位有机锡光刻胶的制备及高分辨光刻研究
1
作者
赵英东
姬沛君
+4 位作者
丛日尧
付海超
张家龙
陈鹏忠
彭孝军
《化工学报》
北大核心
2025年第4期1820-1830,共11页
集成电路产业中光刻技术的迅速发展对光刻胶的性能提出了更高的要求。有机-锡配合物在光刻分辨率和线边缘粗糙度方面表现出优异的特性,但其光刻灵敏度和薄膜稳定性相对较差。本文报道了一种新型的丙烯酸配位的三苯基锡光刻材料Sn1Ac,该...
集成电路产业中光刻技术的迅速发展对光刻胶的性能提出了更高的要求。有机-锡配合物在光刻分辨率和线边缘粗糙度方面表现出优异的特性,但其光刻灵敏度和薄膜稳定性相对较差。本文报道了一种新型的丙烯酸配位的三苯基锡光刻材料Sn1Ac,该材料可同时用于深紫外光刻和电子束光刻。通过与四(3-巯基丙酸)季戊四醇酯(PETMP)形成氢键,成功克服了旋涂薄膜稳定性差的缺陷,其光刻留膜率超过93%。Sn1Ac与PETMP的混合薄膜显示出卓越的负性图案化性能。在电子束光刻条件下,该混合薄膜的分辨率优于15 nm,且线边缘粗糙度低于2 nm。通过X射线光电子能谱等测试手段,提出了锡-碳酸根和硫醇-烯点击反应的协同交联曝光机理。
展开更多
关键词
光刻胶
旋涂
表面
配合物
纳米材料
光响应材料
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
丙烯酸配位有机锡光刻胶的制备及高分辨光刻研究
1
作者
赵英东
姬沛君
丛日尧
付海超
张家龙
陈鹏忠
彭孝军
机构
大连理工大学智能材料化工前沿科学
中心
中
石化(上海)石油化工研究院
有限公司
中节能万润股份有限公司研发中心
出处
《化工学报》
北大核心
2025年第4期1820-1830,共11页
基金
国家自然科学基金项目(22378052,22090011)
山东省重点研发(重大科技创新工程)项目(2021CXGC010308)。
文摘
集成电路产业中光刻技术的迅速发展对光刻胶的性能提出了更高的要求。有机-锡配合物在光刻分辨率和线边缘粗糙度方面表现出优异的特性,但其光刻灵敏度和薄膜稳定性相对较差。本文报道了一种新型的丙烯酸配位的三苯基锡光刻材料Sn1Ac,该材料可同时用于深紫外光刻和电子束光刻。通过与四(3-巯基丙酸)季戊四醇酯(PETMP)形成氢键,成功克服了旋涂薄膜稳定性差的缺陷,其光刻留膜率超过93%。Sn1Ac与PETMP的混合薄膜显示出卓越的负性图案化性能。在电子束光刻条件下,该混合薄膜的分辨率优于15 nm,且线边缘粗糙度低于2 nm。通过X射线光电子能谱等测试手段,提出了锡-碳酸根和硫醇-烯点击反应的协同交联曝光机理。
关键词
光刻胶
旋涂
表面
配合物
纳米材料
光响应材料
Keywords
photoresist
spin-coating
surface
complexes
nanomaterials
photo-responsive materials
分类号
O644.1 [理学—物理化学]
O644.2 [理学—物理化学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
丙烯酸配位有机锡光刻胶的制备及高分辨光刻研究
赵英东
姬沛君
丛日尧
付海超
张家龙
陈鹏忠
彭孝军
《化工学报》
北大核心
2025
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
