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激光直写光刻中线条轮廓的分析被引量：20: 1; 作者李凤有谢永军 +3 位作者孙强曹召良卢振武王肇圻《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期136-139,共4页; 考虑了光刻胶对光吸收作用 ,在已有描述胶层内光场分布模型的基础上 ,较为准确地推导出光刻胶层内不同深度位置的光场分布使用迭代方法计算得到了胶层内曝光量空间分布曲线 ,分析了不同曝光量下胶层内的线条轮廓 ,为直写光刻中曝光量... 展开更多; 关键词激光直写光刻曝光量线条轮廓; 在线阅读下载PDF 职称材料

真空紫外铝+氟化镁膜偏振特性的研究被引量：4: 2; 作者刘颖李志刚李福田《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期724-727,共4页; 研究了铝 +氟化镁膜在真空紫外波段的偏振特性。理论上数值模拟计算了铝 +氟化镁膜在真空紫外波段的反射率及其与入射平面平行和垂直两方向的分量 ,分析了铝 +氟化镁膜反射率的两分量随入射条件和氟化镁膜厚度的变化规律 ,在此基础上研... 展开更多; 关键词铝+氟化镁膜真空紫外波段反射偏振反射膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

圆锥透镜对球面入射光的聚焦衍射特性被引量：7: 3; 作者刘华卢振武《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期126-128,共3页; 首次导出了圆锥透镜对球面入射波的聚焦衍射计算公式 ,分析了其轴上能量分布与横向场能量分布特性数值计算结果表明 ,选择合适的球面入射波可以扩展焦深 ,改善光强分布 ,同时保证横向场能量分布要求对于半径 2 0mm ,锥角θ =1×... 展开更多; 关键词衍射圆锥透镜无衍射光稳相位法; 在线阅读下载PDF 职称材料

氟化锂偏振器紫外真空紫外偏振特性的研究被引量：2: 4; 作者刘颖李福田《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期552-555,共4页; 介绍了一种研究偏振元件偏振特性的方法 ,利用这一方法研究了氟化锂偏振器紫外真空紫外偏振特征。一组氟化锂偏振器由对称放置的氟化锂晶片组成 ,各氟化锂片的入射角为 6 0°。利用真空紫外空心阴极光源和Seya Namioka型紫外真... 展开更多; 关键词偏振特性氟化锂偏振器紫外-真空紫外原理消光比双镜法; 在线阅读下载PDF 职称材料

用STM测量球面粗糙度的计算机程序设计: 5; 作者侯磊于劲 +1 位作者于骏一姚骏恩《电子显微学报》 CAS CSCD 1993年第2期199-199,共1页; 轴承滚动表面波纹、凹坑、划痕等是滚动表面产生疲劳破坏的重点原因之一。轴承行业乃至与轴承行业有关的其它行业普遍反映轴承中的钢球表面粗糙度评定方法不合理,也不规范,给质量评价和仲裁带来了困难。对于高精度、小曲率半径球面粗糙... 展开更多; 关键词轴承粗糙度 STM 计算机应用程序设计; 在线阅读下载PDF 职称材料

SiO_2-PMMA无机-有机复合材料的制备与结构研究被引量：6: 6; 作者李吉学付永启 +2 位作者赵晶丽张文芳单凤兰《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期427-428,共2页; 应用溶胶凝胶技术 ,采用预掺杂的方法 ,制备了SiO2 PMMA无机有机复合材料 (ORMOSILS)。应用红外光谱分析、广角X射线衍射、扫描电子显微镜分析、差示扫描分析和热失重分析 ,对SiO2 PMMA无机有机复合材料 (ORMOSILS)的显微结构... 展开更多; 关键词溶胶-凝胶无机-有机复合材料结构制备; 在线阅读下载PDF 职称材料

激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性被引量：1: 7; 作者林景全陈波 +2 位作者尼启良曹健林周忠源《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期429-432,共4页; 给出了用于软Ｘ射线投影光刻的激光等离子体源靶材的选择依据。计算了类锂氧离子的辐射跃迁波长和相应的跃迁速率值。并通过与常规金属靶的比较，给出了实验靶的一些特性。; 关键词激光等离子体靶材碎片软X射线光刻机; 在线阅读下载PDF 职称材料

200～350nm石英窗口氘灯光谱辐照度的绝对定标被引量：7: 8; 作者唐玉国李福田《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第4期7-10,共4页; 本文以合肥８００ＭｅＶ电子储存环同步辐射光源作为相对光谱辐射标准，标定了石英窗口氘灯２００～３５０ｎｍ波段的相对光谱分布，利用中国计量院石英卤钨灯光谱辐照度标准光源，完成了３００～３５０ｎｍ波段的绝对定标，并外推出２... 展开更多; 关键词同步辐射光谱辐照度石英窗口氘灯; 在线阅读下载PDF 职称材料

软X射线-真空紫外傅里叶变换光谱仪及其光谱分辨率研究被引量：6: 9; 作者李志刚齐文宗李福田《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1998年第5期84-90,共7页; 描述在研的软Ｘ射线－真空紫外傅立叶变换光谱仪原理样机预期结构和性能，讨论并分析了影响谱仪光谱分辨率及谱线位移的因素，结合大数据量ＦＦＴ数值算法给出实际仪器参数情况下的典型光谱线模拟曲线。; 关键词软X射线真空紫外光谱仪光谱分辨率; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光直写光刻中线条轮廓的分析被引量：20: 1; 作者李凤有谢永军孙强曹召良卢振武王肇圻; 机构南开大学现代光学研究所中科院长春光机所应用光学国家重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第2期136-139,共4页; 基金国家自然科学基金 (6 0 0 780 0 6 ) 中科院创新基金资助项目; 文摘考虑了光刻胶对光吸收作用 ,在已有描述胶层内光场分布模型的基础上 ,较为准确地推导出光刻胶层内不同深度位置的光场分布使用迭代方法计算得到了胶层内曝光量空间分布曲线 ,分析了不同曝光量下胶层内的线条轮廓 ,为直写光刻中曝光量的选择提供了依据; 关键词激光直写光刻曝光量线条轮廓; Keywords Laser direct writing lithography Exposure dose Line profile; 分类号 TN247 [电子电信—物理电子学] TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名真空紫外铝+氟化镁膜偏振特性的研究被引量：4: 2; 作者刘颖李志刚李福田; 机构中科院长春光机所应用光学国家重点实验室南开大学物理学院光子学中心; 出处《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第5期724-727,共4页; 文摘研究了铝 +氟化镁膜在真空紫外波段的偏振特性。理论上数值模拟计算了铝 +氟化镁膜在真空紫外波段的反射率及其与入射平面平行和垂直两方向的分量 ,分析了铝 +氟化镁膜反射率的两分量随入射条件和氟化镁膜厚度的变化规律 ,在此基础上研究了铝 +氟化镁膜的偏振特性 ,并与单层铝膜的相应特性作了比较。以氟化锂堆作偏振器 ,在Seya Namioka真空紫外反射率计上实验研究了铝 +氟化镁膜的偏振特性。研究结果表明 ,铝 +氟化镁膜的偏振特性由于受到氟化镁厚度的调制 ,存在反射率的垂直分量小于平行分量的情形 ,从而使铝 +氟化镁膜的消光比在非正入射的条件下接近 1。; 关键词铝+氟化镁膜真空紫外波段反射偏振反射膜; Keywords VUV reflectance polarization; 分类号 O484.41 [理学—固体物理] O436.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名圆锥透镜对球面入射光的聚焦衍射特性被引量：7: 3; 作者刘华卢振武; 机构中科院长春光机所应用光学国家重点实验室; 出处《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期126-128,共3页; 基金中科院创新课题 (2 0 0 2LQ .0 4 )资助项目; 文摘首次导出了圆锥透镜对球面入射波的聚焦衍射计算公式 ,分析了其轴上能量分布与横向场能量分布特性数值计算结果表明 ,选择合适的球面入射波可以扩展焦深 ,改善光强分布 ,同时保证横向场能量分布要求对于半径 2 0mm ,锥角θ =1× 10 - 2 的圆锥透镜 ,采用曲率半径为 12 0 0～14 0 0mm的球面入射波 ,可扩展焦深 2 0 0mm到 12 0mm ,光强的均匀性有明显改善 ,横向场能量分布形状改变量不超过 15 μm 。; 关键词衍射圆锥透镜无衍射光稳相位法; Keywords Diffraction Axicons Nondiffracting beams Stationary-phase method; 分类号 O435 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名氟化锂偏振器紫外真空紫外偏振特性的研究被引量：2: 4; 作者刘颖李福田; 机构中科院长春光机所应用光学国家重点实验室; 出处《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2002年第4期552-555,共4页; 文摘介绍了一种研究偏振元件偏振特性的方法 ,利用这一方法研究了氟化锂偏振器紫外真空紫外偏振特征。一组氟化锂偏振器由对称放置的氟化锂晶片组成 ,各氟化锂片的入射角为 6 0°。利用真空紫外空心阴极光源和Seya Namioka型紫外真空紫外单色仪提供单色辐射 ,测得两片组、四片组和八片组氟化锂偏振器的消光比 ,与用菲涅尔公式计算的氟化锂偏振器的偏振度在误差范围内一致。利用氟化锂偏振器产生的偏振辐射 ,初步研究了铝; 关键词偏振特性氟化锂偏振器紫外-真空紫外原理消光比双镜法; Keywords LiF polarizer polarization UV-VUV; 分类号 TH744.2 [机械工程—光学工程] O436.3 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用STM测量球面粗糙度的计算机程序设计: 5; 作者侯磊于劲于骏一姚骏恩; 机构吉林工业大学中科院长春光机所应用光学国家重点实验室中科院北京电镜室; 出处《电子显微学报》 CAS CSCD 1993年第2期199-199,共1页; 文摘轴承滚动表面波纹、凹坑、划痕等是滚动表面产生疲劳破坏的重点原因之一。轴承行业乃至与轴承行业有关的其它行业普遍反映轴承中的钢球表面粗糙度评定方法不合理,也不规范,给质量评价和仲裁带来了困难。对于高精度、小曲率半径球面粗糙度的测量,目前仍未很好解决。使用TALYSURF 5型触针式轮廓仪测量钢球表面粗糙度,受仪器测量原理的限制,不能测量直径小于3mm球面的粗糙度,加之轮廓仪触针对被测量面的作用所产生的弹塑性变形,影响表面粗糙度的测量精度。利用光学方法对于平面粗糙度测量来说是比较容易实现的,但对于球面。; 关键词轴承粗糙度 STM 计算机应用程序设计; 分类号 TH133.3 [机械工程—机械制造及自动化] TN16 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名SiO_2-PMMA无机-有机复合材料的制备与结构研究被引量：6: 6; 作者李吉学付永启赵晶丽张文芳单凤兰; 机构中科院长春光机所应用光学国家重点实验室吉林大学材料科学系; 出处《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期427-428,共2页; 基金国家自然科学基金资助项目吉林省科委基金资助项目; 文摘应用溶胶凝胶技术 ,采用预掺杂的方法 ,制备了SiO2 PMMA无机有机复合材料 (ORMOSILS)。应用红外光谱分析、广角X射线衍射、扫描电子显微镜分析、差示扫描分析和热失重分析 ,对SiO2 PMMA无机有机复合材料 (ORMOSILS)的显微结构进行了研究。结果表明 :这种方法制备的SiO2 PM MA无机有机复合材料 (ORMOSILS) ,有机物均匀分布在无机物基体中 ,非晶基体SiO2 短程有序畴的大小与一般非晶玻璃短程有序畴的大小基本一致等结论。; 关键词溶胶-凝胶无机-有机复合材料结构制备; Keywords Dispersions Scanning electron microscopy Silica Sol gels Structure (composition); 分类号 TB333 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性被引量：1: 7; 作者林景全陈波尼启良曹健林周忠源; 机构中科院长春光机所应用光学国家重点实验室吉林大学原子分子所; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第3期429-432,共4页; 基金应用光学国家重点实验室基金; 文摘给出了用于软Ｘ射线投影光刻的激光等离子体源靶材的选择依据。计算了类锂氧离子的辐射跃迁波长和相应的跃迁速率值。并通过与常规金属靶的比较，给出了实验靶的一些特性。; 关键词激光等离子体靶材碎片软X射线光刻机; Keywords laserplasma, target material, debris; 分类号 TN305.7 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名200～350nm石英窗口氘灯光谱辐照度的绝对定标被引量：7: 8; 作者唐玉国李福田; 机构中科院长春光机所应用光学国家重点实验室; 出处《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1996年第4期7-10,共4页; 文摘本文以合肥８００ＭｅＶ电子储存环同步辐射光源作为相对光谱辐射标准，标定了石英窗口氘灯２００～３５０ｎｍ波段的相对光谱分布，利用中国计量院石英卤钨灯光谱辐照度标准光源，完成了３００～３５０ｎｍ波段的绝对定标，并外推出２００～３５０ｎｍ石英窗口氘灯的绝对光谱辐照度，建立了实验室用紫外光谱辐照度传递标准。; 关键词同步辐射光谱辐照度石英窗口氘灯; Keywords Synchrotron radiation, Spectral irradiance; 分类号 O432.1 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名软X射线-真空紫外傅里叶变换光谱仪及其光谱分辨率研究被引量：6: 9; 作者李志刚齐文宗李福田; 机构中科院长春光机所应用光学国家重点实验室; 出处《光学精密工程》 EI CAS CSCD 1998年第5期84-90,共7页; 基金应用光学国家重点实验室资助课题; 文摘描述在研的软Ｘ射线－真空紫外傅立叶变换光谱仪原理样机预期结构和性能，讨论并分析了影响谱仪光谱分辨率及谱线位移的因素，结合大数据量ＦＦＴ数值算法给出实际仪器参数情况下的典型光谱线模拟曲线。; 关键词软X射线真空紫外光谱仪光谱分辨率; Keywords Soft X ray and VUV Fourier transform spectrometer,Spectral resolution,Shifts of line position; 分类号 TH744.12 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	激光直写光刻中线条轮廓的分析	李凤有谢永军孙强曹召良卢振武王肇圻	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2004	20	在线阅读下载PDF 职称材料
2	真空紫外铝+氟化镁膜偏振特性的研究	刘颖李志刚李福田	《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2002	4	在线阅读下载PDF 职称材料
3	圆锥透镜对球面入射光的聚焦衍射特性	刘华卢振武	《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	7	在线阅读下载PDF 职称材料
4	氟化锂偏振器紫外真空紫外偏振特性的研究	刘颖李福田	《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	2002	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	用STM测量球面粗糙度的计算机程序设计	侯磊于劲于骏一姚骏恩	《电子显微学报》 CAS CSCD	1993	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	SiO_2-PMMA无机-有机复合材料的制备与结构研究	李吉学付永启赵晶丽张文芳单凤兰	《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心	2001	6	在线阅读下载PDF 职称材料
7	激光等离子体软X射线源靶材的选择及特性	林景全陈波尼启良曹健林周忠源	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	1998	1	在线阅读下载PDF 职称材料
8	200～350nm石英窗口氘灯光谱辐照度的绝对定标	唐玉国李福田	《光谱学与光谱分析》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心	1996	7	在线阅读下载PDF 职称材料
9	软X射线-真空紫外傅里叶变换光谱仪及其光谱分辨率研究	李志刚齐文宗李福田	《光学精密工程》 EI CAS CSCD	1998	6	在线阅读下载PDF 职称材料