157nm紫外光刻设备用光学材料研究进展

1

作者 臧春雨 曹望和 石春山 《材料导报》 EI CAS CSCD 2003年第6期34-36,共3页

介绍了半导体制进业专用设备,紫外光刻设备所使用的光学材料。介绍了该材料的选择,研究现状,该材料制造工艺技术的创新,以及与材料制造技术相配套的技术发展状况,同时分析了国际市场现状及该技术的发展趋势。

关键词 紫外光刻设备 光学材料 紫外光刻技术 半导体 制造 CaF2晶体 氟化钙单晶

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光纤光栅制作技术研究 被引量：7

2

作者 刘洋 王小兵 +3 位作者 孙斌 张玺 程勇 王立军 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2007年第4期348-350,354,共4页

光纤光栅在光纤通信、光纤传感及光纤光学等领域内具有重大的应用价值,近年来受到了人们的广泛关注和高度重视。文中介绍了光纤的增敏方法及常用的光纤光栅制作方法,分析了各种光纤光栅制作方法的优缺点,并通过实验成功制作了反射率达到... 光纤光栅在光纤通信、光纤传感及光纤光学等领域内具有重大的应用价值,近年来受到了人们的广泛关注和高度重视。文中介绍了光纤的增敏方法及常用的光纤光栅制作方法,分析了各种光纤光栅制作方法的优缺点,并通过实验成功制作了反射率达到99.96%的单模光纤光栅。 展开更多

关键词 光纤光栅 光敏性 全息 相位掩膜

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计算全息图检测大口径凹非球面系统的研究 被引量：7

3

作者 刘华 卢振武 +1 位作者 李凤有 张红鑫 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期312-315,共4页

根据圆形计算全息图的衍射特性,将曲面圆形计算全息图与补偿镜相结合,应用于凹非球面折射式零检测光学系统中。与传统的折射式零检测光学系统相比,该系统不仅可以简化光学系统的装调过程,还可以降低计算全息图与补偿镜的制作精度,减少... 根据圆形计算全息图的衍射特性,将曲面圆形计算全息图与补偿镜相结合,应用于凹非球面折射式零检测光学系统中。与传统的折射式零检测光学系统相比,该系统不仅可以简化光学系统的装调过程,还可以降低计算全息图与补偿镜的制作精度,减少制作成本。阐述了利用曲面计算全息图衍射特性的折射式零检测光学系统检测凹非球面的基本原理,给出了具体的设计实例。对于口径为950mm的抛物面,检测结果P!V值为0.024λ。 展开更多

关键词 光学设计 非球面检测 计算全息图

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中空组合式凸轮轴滚花连接强度研究 被引量：2

4

作者 寇淑清 乔健 +1 位作者 杨慎华 张弛 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期551-555,共5页

凸轮与轴体的连接强度是评价中空组合式凸轮轴的重要技术指标.本文介绍了中空组合式凸轮轴的技术优势和滚花连接的特点,通过有限元数值模拟并结合试验对滚花装配压装力和连接强度的影响因素进行了分析.结果表明,材料、过盈量、滚花连接... 凸轮与轴体的连接强度是评价中空组合式凸轮轴的重要技术指标.本文介绍了中空组合式凸轮轴的技术优势和滚花连接的特点,通过有限元数值模拟并结合试验对滚花装配压装力和连接强度的影响因素进行了分析.结果表明,材料、过盈量、滚花连接区长度、滚花齿形和齿间距都是影响滚花压装力和连接强度的主要因素;凸轮与轴体材料的优化匹配、滚花齿形的合理选取以及装配过盈量和连接区长度的增大,都可提高滚花连接中空组合式凸轮轴的连接强度. 展开更多

关键词 中空组合武凸轮轴 滚花连接 连接强度 有限元 数值模拟

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长距离红外激光照明主动成像系统研究 被引量：8

5

作者 杨玉兰 孙金霞 付国柱 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2009年第1期18-21,共4页

红外激光照明成像系统克服了被动热成像系统成像对比度低、作用距离短等缺点,在全天候目标探测和识别中有着广泛的应用潜力。本文阐述了主动照明成像系统的工作原理,详细分析了影响成像质量的因素及解决方法。

关键词 激光照明 主动成像 斑纹效应 后向散射 距离选通

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CdTe量子点标记铁蛋白的光谱研究 被引量：1

6

作者 庄红 张梅 +1 位作者 孔祥贵 刘静波 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第11期37-39,共3页

采用水相合成的CdTe量子点标记铁蛋白,利用荧光和飞秒技术系统地考察了标记前后体系的发射光谱和发光寿命的变化。与单独CdTe量子点相比,标记了铁蛋白的量子点发射光谱半峰宽不变,发光强度随着铁蛋白的量增加而降低,并且发光寿命没有改... 采用水相合成的CdTe量子点标记铁蛋白,利用荧光和飞秒技术系统地考察了标记前后体系的发射光谱和发光寿命的变化。与单独CdTe量子点相比,标记了铁蛋白的量子点发射光谱半峰宽不变,发光强度随着铁蛋白的量增加而降低,并且发光寿命没有改变。通过改变体系的pH值、铁蛋白量等各种条件验证了CdTe-Ferritin溶液发射光谱和发光寿命的变化确实是由于铁蛋白和CdTe量子点之间的结合反应引起的。 展开更多

关键词 铁蛋白 量子点 光谱

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相位掩膜法制作光纤布拉格光栅的研究 被引量：2

7

作者 王蓟 王国政 +1 位作者 赵崇光 刘洋 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2006年第1期89-91,共3页

光纤光栅是一种新型的光纤器件,在光纤通信和光纤传感等领域有重要的应用。本文介绍了光纤布拉格光栅的光学特性和光谱特性,介绍了相位掩膜法制作光纤光栅的相关实验。在激光脉冲能量300m J、激光脉冲重复频率8Hz、成栅时间160 s的实验... 光纤光栅是一种新型的光纤器件,在光纤通信和光纤传感等领域有重要的应用。本文介绍了光纤布拉格光栅的光学特性和光谱特性,介绍了相位掩膜法制作光纤光栅的相关实验。在激光脉冲能量300m J、激光脉冲重复频率8Hz、成栅时间160 s的实验条件下,获得了中心波长1083nm、带宽0.1nm、反射率99.96%的高质量光纤光栅。 展开更多

关键词 相位掩膜法 光敏光纤 布拉格光栅

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一种医学图像压缩方法的研究 被引量：1

8

作者 董光 师为礼 赵运隆 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2009年第3期475-477,共3页

通过对数字图像压缩算法的分析与研究,提出一种有损压缩与无损压缩相结合的方法,对感兴趣区域的医学图像进行无损压缩,其它部分图像进行有损压缩。并通过实验验证得到了较好压缩质量的医学图像,解决了医学图像对存储空间和传输速度的要... 通过对数字图像压缩算法的分析与研究,提出一种有损压缩与无损压缩相结合的方法,对感兴趣区域的医学图像进行无损压缩,其它部分图像进行有损压缩。并通过实验验证得到了较好压缩质量的医学图像,解决了医学图像对存储空间和传输速度的要求问题,节省了大量的医学图像的存储空间,提高了医学影像的传输速度。 展开更多

关键词 图像压缩 正交变换 小波变换 感兴趣区域 医学图像

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基于DFT的光纤准直器装配技术研究

9

作者 王智 金光 张树仁 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2004年第1期106-109,96,共5页

可检测性是衡量并确保产品功能质量的重要特征参量。运用DFA/M (DesignForAssem bly/DesignForManufacturability)的思想 ,进行了针对光纤准直器的基于DFT (DesignForTest)的装配技术的研究 ,并通过批量装配验证 ,这种基于DFT的装配方... 可检测性是衡量并确保产品功能质量的重要特征参量。运用DFA/M (DesignForAssem bly/DesignForManufacturability)的思想 ,进行了针对光纤准直器的基于DFT (DesignForTest)的装配技术的研究 ,并通过批量装配验证 ,这种基于DFT的装配方法可大大提高生产效率 ,保证产品的合格率。 展开更多

关键词 光纤准直器 DFT 装配 可检测性 并行工程

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卫星试验用小型地球模拟器研究 被引量：2

10

作者 赵蕊 张国玉 +1 位作者 陈吉 高玉军 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2008年第1期74-76,共3页

针对卫星同步轨道高度,研制了卫星试验用小型地球模拟器,解决了红外地球敏感器地面模拟试验测试和精度标定问题。介绍了准直式红外地球模拟器总体方案。采用红外光学系统设计与计算技术,设计了锗准直透镜,通过理论分析和光学计算,得出... 针对卫星同步轨道高度,研制了卫星试验用小型地球模拟器,解决了红外地球敏感器地面模拟试验测试和精度标定问题。介绍了准直式红外地球模拟器总体方案。采用红外光学系统设计与计算技术,设计了锗准直透镜,通过理论分析和光学计算,得出地球光阑、热地球位置和大小与地球张角、锗准直透镜光学参数之间的关系,分析了地球张角偏差和光束平行度偏差对地球模拟器张角的影响,为地球模拟器的研制提供了设计依据。 展开更多

关键词 地球模拟器 红外地球敏感器 锗准直透

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CCD视频信号处理电路应用分析 被引量：16

11

作者 佟首峰 刘金国 +1 位作者 阮锦 郝志航 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2000年第6期373-375,共3页

首先对 CCD输出信号特性进行简要描述 ,然后针对 CCD信号存在复位噪声 ,对相关双采样法进行细致分析。为了改善视频图像 ,需要对图像的对比度和亮度进行调节 ,提出了可编程增益控制和数字化偏置控制方法。另外 ,对暗电平自动校正和 A/D... 首先对 CCD输出信号特性进行简要描述 ,然后针对 CCD信号存在复位噪声 ,对相关双采样法进行细致分析。为了改善视频图像 ,需要对图像的对比度和亮度进行调节 ,提出了可编程增益控制和数字化偏置控制方法。另外 ,对暗电平自动校正和 A/D模数转换也进行比较深入的研究。XRD4460是 CCD视频处理专用集成芯片 ,它包含了上面所述的所有功能。本文已成功地将 XRD4460 CCD视频信号处理专用芯片应用于遥感 CCD相机中 ,并且得到比较理想的视频图像。 展开更多

关键词 电荷耦合器件 专用集成电路 视频信号处理电路

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微通道热沉冷却大功率半导体激光器 被引量：6

12

作者 曹志峰 唐裕霞 +3 位作者 刘景和 廖新胜 王立军 刘云 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2003年第4期33-36,共4页

大功率半导体激光器研制的关键问题之一就是散热冷却技术。本文对当前半导体激光器冷却技术的热点之一—微通道热沉作了一个概述 ,就热沉材料的选择、微通道热沉的结构及封装等进行了介绍。微通道热沉因其低的热阻 ,在冷却输出功率数十... 大功率半导体激光器研制的关键问题之一就是散热冷却技术。本文对当前半导体激光器冷却技术的热点之一—微通道热沉作了一个概述 ,就热沉材料的选择、微通道热沉的结构及封装等进行了介绍。微通道热沉因其低的热阻 ,在冷却输出功率数十瓦以上的大功率激光器具有很好的散热效果。 展开更多

关键词 半导体激光器 微通道 热沉 散热 冷却

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基于MATLAB/Simulink的纵向质点外弹道仿真 被引量：4

13

作者 杨秀丽 黄浦 张维君 《弹箭与制导学报》 CSCD 北大核心 2009年第6期180-182,共3页

为了在设计初期能得到导弹的可能飞行弹道和飞行特性,采用MATLAB/Simulink软件建立了系统的仿真模型并进行仿真计算,给出了相应的仿真结果及其分析,为其它系统的设计提供了依据和参考。此种仿真方法比传统编程语言仿真周期短,使动态系... 为了在设计初期能得到导弹的可能飞行弹道和飞行特性,采用MATLAB/Simulink软件建立了系统的仿真模型并进行仿真计算,给出了相应的仿真结果及其分析,为其它系统的设计提供了依据和参考。此种仿真方法比传统编程语言仿真周期短,使动态系统的仿真变得容易且直观。 展开更多

关键词 SIMULINK 仿真 纵向运动 弹道

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激光主动照明成像技术 被引量：17

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作者 王智 杨简 金光 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2004年第2期31-34,共4页

激光主动照明成像是主动成像系统 ,它是将激光技术、成像传感器的距离选通技术、微弱目标的成像处理技术结合在一起而发展的新技术。以近红外激光作为照明光源 ,对低照度情况下 ,远距离目标进行探测成像。文中详细阐述了激光主动成像技... 激光主动照明成像是主动成像系统 ,它是将激光技术、成像传感器的距离选通技术、微弱目标的成像处理技术结合在一起而发展的新技术。以近红外激光作为照明光源 ,对低照度情况下 ,远距离目标进行探测成像。文中详细阐述了激光主动成像技术的原理、激光发射装置和接收机技术 ,同时详细阐述了同步控制技术、同步扫描技术和图像处理技术等影响成像距离和质量的关键技术 。 展开更多

关键词 激光主动成像 距离选通 CCD相机

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径向基网络在编码器误差补偿中的应用 被引量：5

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作者 续志军 洪喜 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2008年第S1期87-89,共3页

利用神经网络进行光电轴角编码器的误差补偿,是一种新的编码器误差修正技术。在利用径向基函数网络(RBF)建立非线性模型对编码器的长周期误差进行修正时,实验数据中的随机噪声会造成过拟合现象的产生,影响模型的补偿效果。针对RBF网络... 利用神经网络进行光电轴角编码器的误差补偿,是一种新的编码器误差修正技术。在利用径向基函数网络(RBF)建立非线性模型对编码器的长周期误差进行修正时,实验数据中的随机噪声会造成过拟合现象的产生,影响模型的补偿效果。针对RBF网络的过拟合现象,分别采用滑动平均法与异常点剔除法对实验数据进行预处理以减小随机噪声的影响。实验表明,使用径向基神经网络进行误差补差可以将编码器的系统精度提高至3倍以上,在此基础上对建模数据进行预处理,可以进一步优化网络性能,使得编码器的系统精度在原有基础上得到进一步的改善,验证了方法的有效性。 展开更多

关键词 光电编码器 径向基网络 过拟合 精度

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衍射光栅制造技术的发展 被引量：20

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作者 李燕青 郝德阜 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2003年第1期66-68,共3页

衍射光栅已广泛应用于国防、科研和国民经济的许多领域,因此跟踪世界先进的衍射光栅制造技术具有十分重要的意义。文中对衍射光栅制取的两个重要方法—刻划光栅与全息光栅的原理和技术发展进行了阐述,并指出了衍射光栅制造技术的发展趋势。

关键词 衍射光栅 制造技术 刻划光栅 全息光栅 发展趋势 光谱仪器

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基于边缘特征的相位相关简化方法在空间目标运动估值中的应用 被引量：2

17

作者 赵丹培 姜志国 王延杰 《宇航学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期1107-1112,共6页

提出利用基于图像边缘特征的相位相关简化方法来进行空间目标平移运动的检测。为了能有效抑制噪声和亮度变化的影响,在传统互相关方法的基础上提出一种先提取目标的边缘特征,再利用傅里叶平移特性进行归一化相位相关处理的检测方法,从... 提出利用基于图像边缘特征的相位相关简化方法来进行空间目标平移运动的检测。为了能有效抑制噪声和亮度变化的影响,在传统互相关方法的基础上提出一种先提取目标的边缘特征,再利用傅里叶平移特性进行归一化相位相关处理的检测方法,从而实现两幅相似图像间的相对平移矢量的准确估计,它较比时域方法和基于灰度信息的互相关方法能获得更准确的检测结果和更强的噪声抑制能力。同时,为满足系统实时性的要求,还采用了将二维图像映射为一维信号的简化方法,将程序执行时间缩短了4倍。仿真实验结果显示,利用边缘特征的简化方法对于受到严重噪声干扰的空间运动目标具有很好的检测结果,进一步证明了算法的有效性和实用性。 展开更多

关键词 运动估值 频域 傅里叶变换 相位相关 边缘提取

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基于中值滤波与灰度级形态学的综合去除椒盐噪声方法 被引量：4

18

作者 岳俊华 李岩 +1 位作者 纪玉波 郭立红 《长春理工大学学报（自然科学版）》 2004年第3期70-73,共4页

为了消除图像上的椒盐噪声 ,并尽量保持图像的清晰度 ,提出了一种在中值滤波基础上 ,经过灰度直方图的分析 ,再采用合适的灰度级形态学运算去除图像中的椒盐噪声的新方法。该方法 ,既弥补了中值滤波在椒盐噪声概率高的情况下滤噪能力下... 为了消除图像上的椒盐噪声 ,并尽量保持图像的清晰度 ,提出了一种在中值滤波基础上 ,经过灰度直方图的分析 ,再采用合适的灰度级形态学运算去除图像中的椒盐噪声的新方法。该方法 ,既弥补了中值滤波在椒盐噪声概率高的情况下滤噪能力下降快的缺点 ,又改善了灰度级形态学在椒盐噪声概率高的时候 ,达不到有效滤噪的不足。实验表明 ,该方法滤除椒盐噪声效果优于单独使用中值滤波或形态学滤噪 ,在椒盐噪声概率超过 0 2时 ,这种优势尤为明显。 展开更多

关键词 椒盐噪声 中值滤波 直方图 灰度级形态学

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全固态黄光激光器的实现方法 被引量：1

19

作者 郝二娟 李特 +3 位作者 张里荃 张岩 马艳梅 檀惠明 《激光与红外》 CAS CSCD 北大核心 2009年第7期731-734,共4页

黄光激光器在生物医学、空间目标探测和识别、激光显示、化学等领域有着广泛的应用前景,已经成为激光领域的一个研究热点。文中对黄光激光器的工作方式进行了讨论,重点讨论了三种获得黄光激光器的方法:和频、受激拉曼散射效应和倍频。... 黄光激光器在生物医学、空间目标探测和识别、激光显示、化学等领域有着广泛的应用前景,已经成为激光领域的一个研究热点。文中对黄光激光器的工作方式进行了讨论,重点讨论了三种获得黄光激光器的方法:和频、受激拉曼散射效应和倍频。最后指出了全固态黄光激光器的发展方向。 展开更多

关键词 全固态黄光激光器 和频 拉曼频移 倍频

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基于Driver Studio的PCI设备WDM驱动程序的设计 被引量：4

20

作者 陈宇 张小艳 《电子器件》 CAS 2008年第3期1069-1072,共4页

为了实现PCI数据采集卡的数据传输,必须开发PCI设备的驱动程序。介绍了以DriverStudio中的Driver Works为工具,开发PCI设备WDM驱动程序的方法。探讨了PCI设备的I/O端口访问、中断处理、驱动程序与应用程序之间的通信等主要问题,重点对... 为了实现PCI数据采集卡的数据传输,必须开发PCI设备的驱动程序。介绍了以DriverStudio中的Driver Works为工具,开发PCI设备WDM驱动程序的方法。探讨了PCI设备的I/O端口访问、中断处理、驱动程序与应用程序之间的通信等主要问题,重点对编写驱动程序的过程和主要例程的代码进行了说明,并实现了驱动程序的安装与调试。最后对实际中遇到的问题及解决方法做了总结,实践证明该驱动程序调试通过,运行稳定。 展开更多

关键词 PCI总线 WDM驱动程序 DRIVERSTUDIO 驱动程序模型

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