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自封闭低电压真空微电子二极管阵列研究
1
作者 徐秋霞 柴淑敏 +3 位作者 赵玉印 李丽华 李卫宁 汪锁发 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第4期287-292,共6页
对真空微电子二极管阵列的结构及其制造工艺技术进行了研究,重点集中在该类器件的核心,即场致发射尖锥阵列的制造及自封闭真空空腔形成技术的研究。采用不同的阴极发射尖锥材料,在优化的几何结构和工艺条件下研制成功了性能良好的自... 对真空微电子二极管阵列的结构及其制造工艺技术进行了研究,重点集中在该类器件的核心,即场致发射尖锥阵列的制造及自封闭真空空腔形成技术的研究。采用不同的阴极发射尖锥材料,在优化的几何结构和工艺条件下研制成功了性能良好的自封闭低电压真空微电子二极管阵列,在U≤5V条件下,对Mo锥和Ti锥分别获得3.7μA每尖锥和9.5μA每尖锥的发射电流。同时对真空微电子二极管阵列的结构参数与电流-电压特性间的关系,影响场发射特性的各种因素进行了分析讨论。 展开更多
关键词 真空微电子器件 二极管 尖锥阴极 微电子器件
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SoC片上总线综述 被引量:8
2
作者 田泽 张怡浩 +2 位作者 于敦山 盛世敏 仇玉林 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2003年第11期11-15,共5页
随着以IP核复用为基础的SoC设计技术的发展,工业界及研究组织积极从事相关IP互联标准方案的制定工作,从目前的研究和发展看,影响力较大的有IBM公司的CoreConnect、ARM公司的AMBA和SilicoreCorp公司的Wishbone。基于现有IP互联接口标准... 随着以IP核复用为基础的SoC设计技术的发展,工业界及研究组织积极从事相关IP互联标准方案的制定工作,从目前的研究和发展看,影响力较大的有IBM公司的CoreConnect、ARM公司的AMBA和SilicoreCorp公司的Wishbone。基于现有IP互联接口标准技术的发展现状,本文对这三种SoC总线技术进行了详细介绍。 展开更多
关键词 片上总线 IP核 设计复用 SOC 集成电路 CoreConnect总线 AMBA总线
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定容法正压漏孔校准装置 被引量:15
3
作者 卢耀文 齐京 +5 位作者 陈旭 刘志宏 张明志 闫睿 徐天伟 查良镇 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第6期579-584,共6页
研制出定容法正压漏孔校准装置。采用满量程分别为133 Pa(差压式)、1.33×10^5Pa(绝压式)的两台高精度电容薄膜真空计测量压力变化,通过全金属密封结构减小定容室漏放气对测量结果的影响;采用高精度半导体双级恒温系统获得了296... 研制出定容法正压漏孔校准装置。采用满量程分别为133 Pa(差压式)、1.33×10^5Pa(绝压式)的两台高精度电容薄膜真空计测量压力变化,通过全金属密封结构减小定容室漏放气对测量结果的影响;采用高精度半导体双级恒温系统获得了296±0.02 K的恒温效果,减小温度对漏孔漏率的影响;通过三个不同的标准体积作为定容室,拓宽装置的校准范围。研究结果证实,研制的校准装置仅采用定容法实现了3×10^-1~4×10^-8Pa·m^3/s的校准范围,合成标准不确定度为1.2%~3.2%。 展开更多
关键词 正压漏孔 校准 检漏 定容法
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高光电探测效率CMOS单光子雪崩二极管器件 被引量:6
4
作者 王巍 陈婷 +5 位作者 李俊峰 何雍春 王冠宇 唐政维 袁军 王广 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第8期1-7,共7页
基于0.18μm CMOS工艺技术,制作了单光子雪崩二极管,可对650~950nm波段的微弱光进行有效探测.该器件采用P^+/N阱结构,P^+层深度较深,以提高对长光波的光子探测效率与响应度;采用低掺杂深N阱增大耗尽层厚度,可以提高探测灵敏度;深N阱与... 基于0.18μm CMOS工艺技术,制作了单光子雪崩二极管,可对650~950nm波段的微弱光进行有效探测.该器件采用P^+/N阱结构,P^+层深度较深,以提高对长光波的光子探测效率与响应度;采用低掺杂深N阱增大耗尽层厚度,可以提高探测灵敏度;深N阱与衬底形成的PN结可有效隔离衬底,降低衬底噪声;采用P阱保护环结构以预防过早边缘击穿现象.通过理论分析确定器件的基本结构参数及工艺参数,并对器件性能进行优化设计.实验结果表明,单光子雪崩二极管的窗口直径为10μm,器件的反向击穿电压为18.4V左右.用光强为0.001 W/cm^2的光照射,650nm处达到0.495A/W的响应度峰值;在2V的过偏压下,650~950nm波段范围内光子探测效率均高于30%,随着反向偏压的适当增大,探测效率有所提升. 展开更多
关键词 单光子雪崩二极管 标准0.18μm CMOS工艺 深N阱 保护环 击穿特性 响应度 光子探测效率
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仿驾驶员多目标决策自适应巡航鲁棒控制 被引量:9
5
作者 章军辉 李庆 陈大鹏 《控制理论与应用》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期769-777,共9页
针对目前市场上自适应巡航(adaptive cruise control,ACC)用户使用率低与驾乘人员接受度差的问题,发展了一种多目标自适应巡航控制算法,基于模型预测控制(model predictive control,MPC)理论,综合协调动态追踪性、燃油经济性、驾乘舒适... 针对目前市场上自适应巡航(adaptive cruise control,ACC)用户使用率低与驾乘人员接受度差的问题,发展了一种多目标自适应巡航控制算法,基于模型预测控制(model predictive control,MPC)理论,综合协调动态追踪性、燃油经济性、驾乘舒适性以及跟车安全性四项存在着一定冲突的控制目标,采用二次型性能指标以及线性不等式约束的形式,将纵向期望加速度决策问题转化成带约束的在线二次规划问题.引入误差修正项,建立闭环反馈校正机制,以补偿模型失配带来的预测误差,同时采用松弛向量法扩展求解可行域,规避了硬约束下二次规划非可行解问题.进一步,各工况下所强化的性能指标与约束空间不同,采用性能指标权重微校与约束空间边界松弛的策略,设计出3种工作模式ACC,以适应熟练驾驶群体的跟驰习惯.仿真结果表明,前车组合工况下,多模式多目标ACC控制能够实现各工作模式之间的无缝切换,并实现良好的期望跟车目的,从而增强ACC系统对复杂道路交通环境的适应性. 展开更多
关键词 半自动驾驶 自适应巡航控制 模型预测控制 松弛向量 跟驰习惯
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氧化钇稳定氧化锆耐刻蚀涂层的研究现状 被引量:5
6
作者 纪箴 王聪瑜 +4 位作者 夏洋 贾成厂 张有茶 程诚 黄小泓 《粉末冶金技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第6期460-464,共5页
随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能。本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作... 随着热喷涂技术的发展,通过制备陶瓷涂层来提高等离子刻蚀机腔室的耐腐蚀性能已成为可能。本文主要论述了氧化钇稳定氧化锆(YSZ)陶瓷涂层及其主要制备技术大气等离子喷涂的工艺过程,介绍了粉末特性及不同喷涂工艺参数对涂层性能的影响作用,为实验研究奠定理论基础。 展开更多
关键词 YSZ涂层 等离子喷涂 涂层性能
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数字控制增益可配置的射频宽带放大器 被引量:4
7
作者 何晓丰 马成炎 +2 位作者 叶甜春 王良坤 莫太山 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第11期1985-1990,2096,共7页
针对数字电视射频接收机越来越宽的覆盖范围,更低的噪声系数要求以及更高的线性度,提出一种可用于UV频段数字电视射频接收的数字控制增益可配置的射频宽带放大器电路,引入噪声消除技术减少噪声系数,采用线性度改进技术提高中间电路的线... 针对数字电视射频接收机越来越宽的覆盖范围,更低的噪声系数要求以及更高的线性度,提出一种可用于UV频段数字电视射频接收的数字控制增益可配置的射频宽带放大器电路,引入噪声消除技术减少噪声系数,采用线性度改进技术提高中间电路的线性度,利用改进的源级跟随器结构实现更低的步进精度.电路采用0.18umCMOS工艺,1.8V供电电源,在170~870MHz频率信号输入下,可以实现最低3.8dB的噪声系数,最大增益下提供-12dBm的三阶交调点,55dB的动态范围,步进精度为0.8dB,消耗14.76mW的功耗,面积为800um×600um.测试结果表明所设计的射频宽带放大器,相比传统的设计,在覆盖UV频段的同时能够提供更低的噪声系数,且提供更高的线性度. 展开更多
关键词 数字增益可控制 噪声系数 单端转差分 宽带放大
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鱼眼镜头的标定和畸变校正研究 被引量:9
8
作者 黄岩岩 李庆 张斌珍 《计算机工程与设计》 CSCD 北大核心 2014年第9期3132-3135,3212,共5页
为在使用鱼眼镜头得到大视野图像的同时得到正常的视觉效果,研究鱼眼镜头的成像模型及内外参数的标定过程。相比常用的标定算法,采用基于镜头模型的标定方法;针对Davide Scaramuzza提出的全方位相机标定工具箱,指出其不足之处,对角点坐... 为在使用鱼眼镜头得到大视野图像的同时得到正常的视觉效果,研究鱼眼镜头的成像模型及内外参数的标定过程。相比常用的标定算法,采用基于镜头模型的标定方法;针对Davide Scaramuzza提出的全方位相机标定工具箱,指出其不足之处,对角点坐标的精度、标定系数矩阵稳定性和角点范围随意性三方面进行优化和提高;根据标定结果对鱼眼畸变图像进行畸变校正,得到正常视觉的平面图。实验结果表明,优化后的方法实现简单、鲁棒性强、结果准确。 展开更多
关键词 鱼眼镜头 成像模型 内参标定 优化分析 畸变校正
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适用于剥离工艺的光刻胶图形的制作技术及其机理讨论 被引量:16
9
作者 韩阶平 侯豪情 邵逸凯 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第3期215-219,共5页
研究了AZ-1350胶的正、负转型和形成适用于剥离技术的倒台面图形的工艺技术,并对一些机理性问题进行了讨论。
关键词 剥离 光刻胶 集成电路 光刻
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一种电动车专家自诊断方法及系统 被引量:4
10
作者 章军辉 李庆 陈大鹏 《计算机科学》 CSCD 北大核心 2016年第S1期34-36 72,共4页
跨界与融合,用互联网思维提升传统行业,将会为传统行业开辟新的局面,而未来的汽车将是电子信息、软件主导的新能源智慧车辆。传统的OBD(On-Board Diagnostics)方案仍需要工程师来判断和分析问题,无法满足用户对智能化的需求。本方案借... 跨界与融合,用互联网思维提升传统行业,将会为传统行业开辟新的局面,而未来的汽车将是电子信息、软件主导的新能源智慧车辆。传统的OBD(On-Board Diagnostics)方案仍需要工程师来判断和分析问题,无法满足用户对智能化的需求。本方案借助车联网技术、数据库平台、数据挖掘与分析技术,最终实现了汽车CAN(Controller Area Network)总线故障智能化自诊断,可替代工程师快速定位出问题的根源,极大地减少了人力成本与时间成本。其还可对故障进行统计与归类,为工程师评估节点设备的可靠性、稳定性、抗干扰能力以及设备工作最适宜的环境需求等提供指导依据。基于本方案的产品已被投入到实际的工程应用中。 展开更多
关键词 车联网技术 数据挖掘 新能源汽车 人工智能
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Ta/NiFe和NiFe/Ta界面反应和“死层”现象的研究 被引量:3
11
作者 赵洪辰 于广华 司红 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第2期88-90,139,共4页
Ta/Ni81Fe19和Ni81Fe19/Ta被广泛应用于磁电阻多层膜结构中。我们发现 ,在Ta/Ni81Fe19/Ta薄膜结构中 ,磁性“死层”的厚度大约为 1 6± 0 2nm。用X射线光电子能谱和图谱拟合技术研究Ta/Ni81Fe19和Ni81Fe19/Ta的界面成分和化学状态... Ta/Ni81Fe19和Ni81Fe19/Ta被广泛应用于磁电阻多层膜结构中。我们发现 ,在Ta/Ni81Fe19/Ta薄膜结构中 ,磁性“死层”的厚度大约为 1 6± 0 2nm。用X射线光电子能谱和图谱拟合技术研究Ta/Ni81Fe19和Ni81Fe19/Ta的界面成分和化学状态发现 ,在两上界面处都发生了反应 :2Ta +Ni=NiTa2 ,因此NiFe的有效厚度减少。利用这个反应也可以合理解释用分子束外延制备的自旋阀多层膜比用磁控溅射制备的自旋阀多层膜的“死层” 展开更多
关键词 磁电阻多层膜 结构 Ta/NiFe NiFe/Ta 界面反应 X射线光电子能谱 镍铁软铁磁材料
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GNSS软件接收机中匹配滤波器算法研究(英文) 被引量:2
12
作者 何秋生 程亚奇 +2 位作者 宋仁旺 孙前来 金坤善 《系统仿真学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期827-829,共3页
为了适应全球卫星导航定位系统接收机的发展趋势,针对GNSS系统不同信号,研究了一种联合多个星座卫星信号的匹配滤波器捕获算法。通过对算法的分析,给出了影响算法复杂性的两个因素:接收序列伪码长度和本地复现序列数,并通过仿真给出了捕... 为了适应全球卫星导航定位系统接收机的发展趋势,针对GNSS系统不同信号,研究了一种联合多个星座卫星信号的匹配滤波器捕获算法。通过对算法的分析,给出了影响算法复杂性的两个因素:接收序列伪码长度和本地复现序列数,并通过仿真给出了捕获GPS粗码信号和伽利略系统E1频段开放信号可以参考的最佳复现序列数。仿真结果表明,对不同的GNSS信号,只要通过软件配置算法中的复现序列数,就可以以最小的计算复杂性来捕获相应信号。这个结论对软件接收机中匹配捕获算法的设计有重要的指导意义。 展开更多
关键词 全球卫星导航定位系统 软件接收机 匹配滤波器 全球定位系统
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CMMB系统中RSSI电路设计 被引量:2
13
作者 庄海孝 马成炎 +3 位作者 叶甜春 潘文光 黄伟 何晓丰 《浙江大学学报(工学版)》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第5期840-845,906,共7页
为了设计一款应用于中国移动多媒体广播标准(CMMB)系统射频前端的限幅器电路及场强指示器电路,提出一种新的直流失调补偿方案,该方案采用分段反馈原理实现限幅器内抵消直流失调部分电路的片内集成并且对直流失调量能起到有效抑制.该电... 为了设计一款应用于中国移动多媒体广播标准(CMMB)系统射频前端的限幅器电路及场强指示器电路,提出一种新的直流失调补偿方案,该方案采用分段反馈原理实现限幅器内抵消直流失调部分电路的片内集成并且对直流失调量能起到有效抑制.该电路采用台集电(TSMC)0.18μm互补金属氧化物半导体(CMOS)工艺实现,测试结果表明,该限幅器达到64 dB的电压增益,可以对载波为5 MHz、带宽为9.9 MHz的中频信号进行放大;场强指示器的动态范围大于70 dB,场强检测的误差小于3 dB,符合CMMB标准接收机系统对信号强度指示电路(RSSI)电路的设计要求. 展开更多
关键词 RSSI 限幅器 非平衡源耦合对 分段反馈 直流失调抑制
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HBT结构的新进展 被引量:4
14
作者 石瑞英 刘训春 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2002年第6期69-72,76,共5页
介绍了以In0.03Ga0.97As0.99N0.01材料为基区的GaAs异质结双极型晶体管和 以GaAs0.51Sb0.49材料为基区的InP HBT。讨论了GaAs和InP HBT结构的新进展及其对性能的改善,并对各结构的适用范围和优缺点进行了比较。
关键词 结构 异质结双极型 晶体管 INP GAAS
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光学邻近校正改善亚微米光刻图形质量 被引量:5
15
作者 石瑞英 郭永康 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2001年第3期20-26,共7页
论述了近年来光学邻近校正技术的进展,讨论了各种行之有效的改善光刻图形质量的校正方法,并分析了邻近效应校正在未来光刻技术中的地位和作用。
关键词 亚微米光刻 光学邻近效应 光学邻近校正 图形质量
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射频与基带参考时钟不同源对GPS载波相位平滑伪距定位的影响 被引量:2
16
作者 吴向宇 欧钢 +2 位作者 孟繁智 王瑛 陈杰 《信号处理》 CSCD 北大核心 2010年第8期1132-1136,共5页
无论GPS接收机的射频和基带参考时钟是否同源,都不会影响伪距定位。然而,对于载波相位平滑伪距定位,本文的理论分析表明:在新增卫星时,射频和基带参考时钟不同源将使新增星和原有星的平滑伪距钟差产生偏差,进而导致大幅度定位误差。在... 无论GPS接收机的射频和基带参考时钟是否同源,都不会影响伪距定位。然而,对于载波相位平滑伪距定位,本文的理论分析表明:在新增卫星时,射频和基带参考时钟不同源将使新增星和原有星的平滑伪距钟差产生偏差,进而导致大幅度定位误差。在时钟同源和不同源两种条件下,利用自研的GPS基带芯片"航芯2E",开展了大量硬件实验,验证了理论分析的正确性。论文得出的载波相位平滑伪距定位的接收机其射频和基带参考时钟必须同源的结论,对于GPS射频和基带芯片的模块化、系列化的规划和设计具有指导意义。 展开更多
关键词 载波相位平滑伪距定位 钟差 同源参考时钟 新增卫星
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多介质工艺X射线光刻制作T形栅 被引量:1
17
作者 孙加兴 叶甜春 +2 位作者 谢常青 申云琴 刘刚 《真空科学与技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期239-241,共3页
半导体器件日益向高频、高速方向发展 ,赝质结高电子迁移率晶体管以其高频、高速、低噪声受到人们重视而发展迅速。在PHEMT的制作工艺中 ,栅线条的制作是至关重要而又极为困难的。采用X射线多介质工艺制作T形栅 ,其形貌清晰 ,线条基本可... 半导体器件日益向高频、高速方向发展 ,赝质结高电子迁移率晶体管以其高频、高速、低噪声受到人们重视而发展迅速。在PHEMT的制作工艺中 ,栅线条的制作是至关重要而又极为困难的。采用X射线多介质工艺制作T形栅 ,其形貌清晰 ,线条基本可控 。 展开更多
关键词 光刻 X射线 赝质吉高电子迁移率晶体管 T形栅 多介质工艺 半导体器件
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基于稀疏字典学习和核稀疏表示的激光遥感图像超分辨重建 被引量:6
18
作者 范文兵 方堃 杨潇楠 《激光杂志》 北大核心 2015年第6期52-58,共7页
针对激光遥感图像的超分辨重建问题,提出了基于稀疏字典学习和核稀疏表示的单幅图像超分辨重建算法。该算法首先利用已有的高分辨图像,通过预处理得到高低分辨样本集;然后利用稀疏字典学习技术训练得到稀疏的高低分辨字典对;最后提出了... 针对激光遥感图像的超分辨重建问题,提出了基于稀疏字典学习和核稀疏表示的单幅图像超分辨重建算法。该算法首先利用已有的高分辨图像,通过预处理得到高低分辨样本集;然后利用稀疏字典学习技术训练得到稀疏的高低分辨字典对;最后提出了核正交匹配追踪算法求解核稀疏表示问题得到稀疏表示系数,结合高分辨字典重建高分辨图像。相比较现有同类的超分辨重建算法,由于采用了稀疏字典学习技术,该算法训练字典时需要较少的样本数和计算量,同时由于核稀疏表示能够描述图像的细节信息,使得重建效果得到了进一步的提高。实验结果验证了算法的有效性。 展开更多
关键词 稀疏字典学习 核稀疏表示 超分辨重建 激光遥感
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基于统计学的无线Mesh网络路由协议 被引量:1
19
作者 王宏飞 牟荣增 阎跃鹏 《计算机科学》 CSCD 北大核心 2013年第5期118-121,共4页
传统的无线Mesh网络(WMN)路由协议利用路由管理帧携带的路由信息来维护路由。无线环境的不稳定性可能导致路由管理帧丢失,使路由协议无法及时获取正确的路由信息,从而降低网络性能。介绍了一种基于统计学原理的无线Mesh网络路由协议B.A.... 传统的无线Mesh网络(WMN)路由协议利用路由管理帧携带的路由信息来维护路由。无线环境的不稳定性可能导致路由管理帧丢失,使路由协议无法及时获取正确的路由信息,从而降低网络性能。介绍了一种基于统计学原理的无线Mesh网络路由协议B.A.T.M.A.N.(Better Approach To Mobile Ad-hoc Networking)。该协议通过统计路由管理帧的投递成功率来选择最优路径,消除了路由管理帧丢失对路由协议的影响。通过与OLSR的测试对比表明,B.A.T.M.A.N.在无线Mesh网络中有更好的性能表现,更适用于移动网络。 展开更多
关键词 路由协议 无线MESH网络 B.A.T.M.A.N. OLSR
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同步辐射X线光刻 被引量:5
20
作者 陈梦真 《物理学进展》 CSCD 北大核心 1992年第3期359-374,共16页
X线光刻是未来亚微米应用的重要微光刻技术、近年来,同步辐射X线光源的应用是技术上一个重要发展,本文叙述了同步辐射X线光刻在微电子技术未来发展中的作用、现状及其基本技术问题。并介绍了我国同步辐射X线光刻的发展情况。
关键词 同步辐射 X射线源 光刻技术
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