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溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究
被引量：
8
1
作者
姜永睿
胡雄伟
+4 位作者
杨沁清
王红杰
杨澜
郑金红
谢二庆
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第9期1140-1143,共4页
采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶 -凝胶 ,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料 ;用该凝胶在硅片上提拉成膜 .为了增加薄膜与硅片的粘附性 ,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为 15 0 0 的二氧化硅 ;样品...
采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶 -凝胶 ,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料 ;用该凝胶在硅片上提拉成膜 .为了增加薄膜与硅片的粘附性 ,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为 15 0 0 的二氧化硅 ;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整 ,在 5× 5 μm2 的范围内最大表面起伏只有 0 .6 5 7nm 利用波导阵列掩膜版 ,对制备的薄膜在紫外光波段下曝光 ,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列 研究发现 :紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大 .通过对样品红外吸收谱的分析 。
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关键词
光敏性溶胶一凝胶
SIO2薄膜
折射率
红外光谱
波导
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职称材料
题名
溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究
被引量：
8
1
作者
姜永睿
胡雄伟
杨沁清
王红杰
杨澜
郑金红
谢二庆
机构
中科院半导体研究所光电子研究发展中心
北京化学试剂
研究所
兰州大学物理科学与技术学院
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第9期1140-1143,共4页
基金
国家自然科学基金 (批准号 :6 988970 1)
国家重点基础研究发展规划 (No.G2 0 0 0 0 36 6 0 2 )资助项目
文摘
采用有机改性硅酸盐制备了光敏性溶胶 -凝胶 ,并在凝胶中加入四丙氧基锆作为调节折射率的材料 ;用该凝胶在硅片上提拉成膜 .为了增加薄膜与硅片的粘附性 ,成膜前先用干氧热氧化法在硅片上生长了一层厚度约为 15 0 0 的二氧化硅 ;样品的原子力相片表明薄膜的表面非常平整 ,在 5× 5 μm2 的范围内最大表面起伏只有 0 .6 5 7nm 利用波导阵列掩膜版 ,对制备的薄膜在紫外光波段下曝光 ,得到了表面平坦、侧墙光滑、陡直的沟道波导阵列 研究发现 :紫外曝光时间和坚膜时的后烘温度都会使薄膜的折射率增大 .通过对样品红外吸收谱的分析 。
关键词
光敏性溶胶一凝胶
SIO2薄膜
折射率
红外光谱
波导
Keywords
Photosensitive sol-gel
SiO 2 film
Refractive index
FT-IR spectra
Waveguide
分类号
TN252 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
溶胶-凝胶法制备光波导薄膜及性质的研究
姜永睿
胡雄伟
杨沁清
王红杰
杨澜
郑金红
谢二庆
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
8
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