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因子分析法在Ta_2O_5/Ta俄歇深度剖析上的应用 被引量:2
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作者 李敏 张强基 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第1期13-20,共8页
将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar^+离子轰击Ta_2O_5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种可区别的不同化学态即Ta、Ta_2O_5和Ta_xO_y,并且能提高探... 将一种基于多元统计方法的因子分析法用于俄歇深度剖面分析,采用Ar^+离子轰击Ta_2O_5/Ta样品,俄歇峰采用具有高表面灵敏度和化学态灵敏的NOO俄歇跃迁,用因子分析可得到Ta的三种可区别的不同化学态即Ta、Ta_2O_5和Ta_xO_y,并且能提高探测灵敏度。 展开更多
关键词 俄歇电子谱法 氧化钽 因子分析
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薄膜形成的一种新理论 被引量:1
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作者 吴全德 薛增泉 《真空科学与技术》 CSCD 1992年第5期363-370,共8页
目前的理论还不能解释较多的薄膜形成的各种现象。在前文“原子团、超微粒子及其功能薄膜”的基础上,针对单个粒子的毛细作用理论加以推广,提出在单位基底表面上沉积外来原子所形成的成核和生长的统计热力学理论。它能较好地讨论成核生... 目前的理论还不能解释较多的薄膜形成的各种现象。在前文“原子团、超微粒子及其功能薄膜”的基础上,针对单个粒子的毛细作用理论加以推广,提出在单位基底表面上沉积外来原子所形成的成核和生长的统计热力学理论。它能较好地讨论成核生长和外延生长的物理条件,推导出有关公式;讨论的结论与文献积累的实验结果定性相符,能使有关现象得到解释。但薄膜的形成问题极其复杂,有关材料和工艺问题都有待深入研究。 展开更多
关键词 薄膜物理学 沉积 成核 生长
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用于制备金属超微粒子-有机薄膜的离子团束(ICB)镀-飞行时间质谱(TOFMS)系统
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作者 高鸿钧 刘惟敏 +3 位作者 赵兴珏 于洪滨 薛增泉 肖桂里 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第3期204-210,共7页
本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS... 本文描述了离子团束(ICB)镀薄膜装置与飞行时间质谱计(TOFMS)联合系统的研制,此系统不仅可以制备无机材料和有机聚合物薄膜而且还能制备金属超微粒子-有机聚合物薄膜。用TOFMS可对ICB镀的成膜过程进行原位分析和监控。对该系统中TOFMS部分的分辨本领和灵敏度进行了测试:选定质荷比为149的谱峰,得到该质谱计的分辨本领为165;该质谱计对Ar^(40)的最小可检分压强为4.0×10^(-6)Pa。本文也给出了ICB沉积聚乙烯薄膜的飞行时间质谱及其初步分析。 展开更多
关键词 ICB TOFMS 金属超微粒子 薄膜
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俄歇定量分析基体效应校正因子的获得
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作者 杨新菊 陆明 张强基 《真空科学与技术》 CSCD 1993年第3期180-185,共6页
本文探试了一种俄歇定量分析基体效应校正因子获取的新方法。通过测量淀积过程中的俄歇强度——时间曲线,并对此进行拟合,得到定量分析所需的相对背散射因子和相对非弹性碰撞平均自由程。将它们用于合金样品的定量分析,得到了较好的结... 本文探试了一种俄歇定量分析基体效应校正因子获取的新方法。通过测量淀积过程中的俄歇强度——时间曲线,并对此进行拟合,得到定量分析所需的相对背散射因子和相对非弹性碰撞平均自由程。将它们用于合金样品的定量分析,得到了较好的结果。实验表明,非弹性碰撞平均自由程效应的校正和背散射因子的校正对定量分析是同样重要的。 展开更多
关键词 俄歇电子谱法 定量分析 合金 表面
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验证键应弛豫模型的一个特例(英文)
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作者 赵玉峰 薛增泉 庞世瑾 《北京大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1999年第1期119-124,共6页
在绝热近似下利用两种独立的紧束缚模型计算了Si单晶(金刚石结构)沿其自然解理面(111)面解理所需的能量。结果表明,单位1×1面积所需的解理能正好等于晶体中Si原子之间紧束缚键能的一半。这一结果验证了本文作者最近... 在绝热近似下利用两种独立的紧束缚模型计算了Si单晶(金刚石结构)沿其自然解理面(111)面解理所需的能量。结果表明,单位1×1面积所需的解理能正好等于晶体中Si原子之间紧束缚键能的一半。这一结果验证了本文作者最近提出的键应弛豫模型。 展开更多
关键词 紧束缚 结合能 键应弛豫模型 单晶
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氧化锌纳米薄膜材料的制备及AES,XPS研究
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作者 文全胜 潘孝仁 +5 位作者 戴慕仉 陆元成 王声乐 张强基 张勇 庞世瑾 《真空科学与技术》 CSCD 1995年第5期356-362,共7页
利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ZnO纳米薄膜,运用多种分析手段(AES,XPS,SEM,XRD等)研究了ZnO纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质,讨论了ZnO纳米薄膜的AES和XPS谱线宽度与粒径之间的关系,解释谱线加宽的基本... 利用直流气体放电活化反应蒸发方法制备了ZnO纳米薄膜,运用多种分析手段(AES,XPS,SEM,XRD等)研究了ZnO纳米薄膜的表面形貌、组成、结构以及表面性质,讨论了ZnO纳米薄膜的AES和XPS谱线宽度与粒径之间的关系,解释谱线加宽的基本原因。 展开更多
关键词 纳米薄膜 俄歇电子能谱 氧化锌 制备
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